د سیمیکمډکټر په تولید کې دقیق چیلرونه: ولې د تودوخې ثبات مهم دی

د نن ورځې د سیمیکمډکټر تولید چاپیریال کې، د تودوخې ثبات د پروسې کنټرول لپاره بنسټیز دی. لکه څنګه چې د وسیلو جوړښتونه د نانومیټر پیمانه ته ځي، حتی لږ حرارتي بدلونونه کولی شي په مهمو ابعادو، د فلم یووالي، او د سمون دقت اغیزه وکړي. د ایچینګ او ډیپوزیشن څخه تر لیتوګرافي او تفتیش پورې، دقیق حرارتي مدیریت په مستقیم ډول حاصل، فعالیت، او د تجهیزاتو اوږدمهاله اعتبار اغیزه کوي.

ولې د ویفر جوړولو کې دقیق یخ کول اړین دي؟
۱. د پروسې دوام او د حاصلاتو ساتنه
د سیمیکمډکټر وسایل د کلک کنټرول شوي پیرامیټرو لاندې کار کوي. د لوړ دقت صنعتي چیلر د اوبو دوامداره تودوخه ساتي، ډاډ ترلاسه کوي چې هر ویفر ورته تودوخې شرایط تجربه کوي. دا ثبات د بیچ توپیر کموي او د باثباته تولید ملاتړ کوي.
۲. د لوړ حرارت بار ضایع کول
د پلازما ایچنګ، CVD/PVD زیرمه کول، او د ایون امپلانټیشن سیسټمونه د عملیاتو په جریان کې د پام وړ تودوخه تولیدوي. د تړلو حلقو اغیزمن یخولو سیسټمونه په چټکۍ سره اضافي حرارتي انرژي لرې کوي، د څرخیدو مخه نیسي، د تجهیزاتو اجزا ساتي، او د تولید دوامداره ثبات ساتي.
۳. د نظري او حرکت سیسټم ساتنه
د لیتوګرافي او تفتیش پلیټ فارمونه د نانومیټر کچې دقت پورې اړه لري. د نظري مجلسونو یا حرکت مرحلو کې د تودوخې له امله رامینځته شوی پراختیا کولی شي سمون له خطر سره مخ کړي. دقیق چلونکي د دې حساس فرعي سیسټمونو ثبات کې مرسته کوي، د اندازه کولو دقت او تکرار وړتیا ساتي.
۴. د تجهیزاتو د ژوند موده غځول
د تودوخې ثابت تنظیم په چیمبرونو، پمپونو او میخانیکي جوړښتونو باندې د تودوخې فشار کموي. د وخت په تیریدو سره، دا د ساتنې فریکونسۍ کمولو او د تجهیزاتو عمومي اغیزمنتوب (OEE) ښه کولو کې مرسته کوي، کوم چې د لوړ حجم سیمیکمډکټر فابریکو کې خورا مهم دی.

په سیمیکمډکټر-ګریډ پریسیشن چیلر کې څه باید وګورو
د سیمیکمډکټر تولید معمولا اړتیا لري:
* د تودوخې د کنټرول لوړ دقت (ډیری وختونه ±0.1°C یا ډیر سخت)
* د تړل شوي حلقې مستحکم گردش
* ټیټ وایبریشن او ټیټ شور عملیات
* هوښیار څارنه او څو کچې الارم ساتنه
* د باور وړ، اوږدمهاله دوامداره عملیات

د پرمختللي تولیدي چاپیریال لپاره انجینر شوي دقیق چلر سیسټمونه د دې سختو غوښتنو پوره کولو لپاره د یخچال مستحکم کنټرول، د لوړ کیفیت اصلي برخې، او د تودوخې هوښیار تنظیم سره یوځای کوي.

د مثال په توګه، د TEYU CWUP او RMUP لړۍ په څیر دقیق چلر حلونه د لوړ کنټرول دقت، کمپیکټ جوړښتونو، او مستحکم فعالیت سره ډیزاین شوي چې د هغو غوښتنلیکونو لپاره مناسب دي چې ښه حرارتي مدیریت ته اړتیا لري. دا سیسټمونه په پراخه کچه په صنعتونو کې کارول کیږي چیرې چې د تودوخې ثبات په مستقیم ډول د پروسې دقت اغیزه کوي، دوی د سیمیکمډکټر پورې اړوند یخولو سناریوګانو سره د تطبیق وړ کوي.

په نیمه سیمیکمډکټر جوړولو کې، یخ کول د مرستندویه ملاتړ څخه ډیر څه دي؛ دا د پروسې ډاډمن کولو کې یو لازمي رول لوبوي. د ثبات، اعتبار او اوږدمهاله فعالیت لپاره جوړ شوی دقیق چیلر غوره کول کولی شي تولید کونکو سره د حاصلاتو ساتلو او د سیالۍ تولید معیارونو ساتلو کې مرسته وکړي.