අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ නිරවද්‍ය චිලර්: උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව වැදගත් වන්නේ ඇයි?

අද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පරිසරය තුළ, උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව ක්‍රියාවලි පාලනය සඳහා මූලික වේ. උපාංග ව්‍යුහයන් නැනෝමීටර පරිමාණයන් කරා ගමන් කරන විට, සුළු තාප උච්චාවචනයන් පවා තීරණාත්මක මානයන්, පටල ඒකාකාරිත්වය සහ පෙළගැස්වීමේ නිරවද්‍යතාවයට බලපෑම් කළ හැකිය. කැටයම් කිරීම සහ තැන්පත් කිරීමේ සිට ලිතෝග්‍රැෆි සහ පරීක්ෂාව දක්වා, නිරවද්‍ය තාප කළමනාකරණය අස්වැන්න, කාර්ය සාධනය සහ දිගුකාලීන උපකරණ විශ්වසනීයත්වයට සෘජුවම බලපායි.

වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී නිරවද්‍ය සිසිලනය අත්‍යවශ්‍ය වන්නේ ඇයි?
1. ක්‍රියාවලි අනුකූලතාව සහ අස්වැන්න ආරක්ෂාව
අර්ධ සන්නායක මෙවලම් තදින් පාලනය කරන ලද පරාමිතීන් යටතේ ක්‍රියාත්මක වේ. ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් කාර්මික සිසිලන යන්ත්‍රයක් නියත ජල උෂ්ණත්වය පවත්වා ගෙන යන අතර, සෑම වේෆරයක්ම සමාන තාප තත්වයන් අත්විඳීම සහතික කරයි. මෙම අනුකූලතාව කාණ්ඩ විචලනය අඩු කරන අතර ස්ථාවර නිෂ්පාදන ප්‍රතිදානයට සහාය වේ.
2. අධික තාප බර විසුරුවා හැරීම
ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම, CVD/PVD තැන්පත් කිරීම සහ අයන බද්ධ කිරීමේ පද්ධති ක්‍රියාත්මක වන විට සැලකිය යුතු තාපයක් ජනනය කරයි. කාර්යක්ෂම සංවෘත-ලූප් සිසිලන පද්ධති ඉක්මනින් අතිරික්ත තාප ශක්තිය ඉවත් කරයි, ප්ලාවිතය වැළැක්වීම, උපකරණ සංරචක ආරක්ෂා කිරීම සහ අඛණ්ඩ නිෂ්පාදන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී.
3. දෘශ්‍ය සහ චලන පද්ධති ආරක්ෂාව
ලිතෝග්‍රැෆි සහ පරීක්ෂණ වේදිකා නැනෝමීටර මට්ටමේ නිරවද්‍යතාවය මත රඳා පවතී. දෘශ්‍ය එකලස්කිරීම් හෝ චලන අවධිවල උෂ්ණත්වය-ප්‍රේරිත ප්‍රසාරණය පෙළගැස්ම අඩාල කළ හැකිය. නිරවද්‍ය සිසිලන යන්ත්‍ර මෙම සංවේදී උප පද්ධති ස්ථාවර කිරීමට උපකාරී වන අතර, මිනුම් නිරවද්‍යතාවය සහ පුනරාවර්තන හැකියාව ආරක්ෂා කරයි.
4. දීර්ඝ කරන ලද උපකරණ ආයු කාලය
ස්ථායී උෂ්ණත්ව නියාමනය කුටි, පොම්ප සහ යාන්ත්‍රික ව්‍යුහයන් මත තාප ආතතිය අඩු කරයි. කාලයත් සමඟ, මෙය නඩත්තු සංඛ්‍යාතය අඩු කිරීමට සහ සමස්ත උපකරණ කාර්යක්ෂමතාව (OEE) වැඩිදියුණු කිරීමට දායක වන අතර, එය ඉහළ පරිමාවකින් යුත් අර්ධ සන්නායක ෆැබ් වල ඉතා වැදගත් වේ.

අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ නිරවද්‍ය චිලර් එකක සොයා බැලිය යුතු දේ
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා සාමාන්‍යයෙන් අවශ්‍ය වන්නේ:
* ඉහළ උෂ්ණත්ව පාලන නිරවද්‍යතාවය (බොහෝ විට ± 0.1°C හෝ ඊට වඩා තද)
* ස්ථාවර සංවෘත ලූප සංසරණය
* අඩු කම්පනය සහ අඩු ශබ්ද ක්‍රියාකාරිත්වය
* බුද්ධිමත් අධීක්ෂණය සහ බහු මට්ටමේ අනතුරු ඇඟවීමේ ආරක්ෂාව
* විශ්වාසනීය, දිගුකාලීන අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය

උසස් නිෂ්පාදන පරිසරයන් සඳහා නිර්මාණය කර ඇති නිරවද්‍ය චිලර් පද්ධති, මෙම දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා ස්ථාවර ශීතකරණ පාලනය, උසස් තත්ත්වයේ මූලික සංරචක සහ බුද්ධිමත් උෂ්ණත්ව නියාමනය ඒකාබද්ධ කරයි.

උදාහරණයක් ලෙස, TEYU CWUP සහ RMUP ශ්‍රේණි වැනි නිරවද්‍ය චිලර් විසඳුම්, සියුම් තාප කළමනාකරණය අවශ්‍ය යෙදුම් සඳහා සුදුසු ඉහළ පාලන නිරවද්‍යතාවය, සංයුක්ත ව්‍යුහයන් සහ ස්ථාවර කාර්ය සාධනය සමඟ නිර්මාණය කර ඇත. උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව ක්‍රියාවලි නිරවද්‍යතාවයට සෘජුවම බලපාන කර්මාන්තවල මෙම පද්ධති බහුලව භාවිතා වන අතර එමඟින් ඒවා අර්ධ සන්නායක ආශ්‍රිත සිසිලන අවස්ථා වලට අනුවර්තනය වේ.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, සිසිලනය සහායක ආධාරකයකට වඩා වැඩි ය; එය ක්‍රියාවලි සහතික කිරීමේදී අත්‍යවශ්‍ය කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ස්ථාවරත්වය, විශ්වසනීයත්වය සහ දිගුකාලීන කාර්ය සාධනය සඳහා ගොඩනගා ඇති නිරවද්‍ය සිසිලන යන්ත්‍රයක් තෝරා ගැනීම නිෂ්පාදකයින්ට අස්වැන්න ආරක්ෂා කර ගැනීමට සහ තරඟකාරී නිෂ්පාදන ප්‍රමිතීන් පවත්වා ගැනීමට උපකාරී වේ.