Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл дэх нарийвчлалтай хөргөгч: Температурын тогтвортой байдал яагаад чухал вэ

Өнөөгийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд температурын тогтвортой байдал нь процессын хяналтын үндэс суурь болдог. Төхөөрөмжийн бүтэц нанометрийн хэмжээс рүү шилжих үед бага зэргийн дулааны хэлбэлзэл нь чухал хэмжээс, хальсны жигд байдал, тэгшлэлтийн нарийвчлалд нөлөөлж болно. Сийлбэр болон тунадасжуулалтаас эхлээд литографи, үзлэг хүртэл нарийн дулааны менежмент нь гарц, гүйцэтгэл, тоног төхөөрөмжийн урт хугацааны найдвартай байдалд шууд нөлөөлдөг.

Вафли үйлдвэрлэхэд нарийвчлалтай хөргөлт яагаад чухал вэ
1. Үйл явцын тогтвортой байдал ба ургацын хамгаалалт
Хагас дамжуулагч багажууд нь хатуу хяналттай параметрүүдийн дор ажилладаг. Өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрийн хөргөгч нь усны температурыг тогтмол байлгаж, вафли бүр ижил дулааны нөхцөлд байх боломжийг олгодог. Энэхүү тогтвортой байдал нь багцын хэлбэлзлийг бууруулж, үйлдвэрлэлийн тогтвортой гаралтыг дэмждэг.
2. Өндөр дулааны ачааллын тархалт
Плазмын сийлбэр, CVD/PVD тунадасжуулалт, ионы суулгацын системүүд нь ашиглалтын явцад ихээхэн хэмжээний дулаан ялгаруулдаг. Үр ашигтай битүү гогцоотой хөргөлтийн системүүд нь илүүдэл дулааны энергийг хурдан арилгаж, шилжилт хөдөлгөөнөөс сэргийлж, тоног төхөөрөмжийн эд ангиудыг хамгаалж, үйлдвэрлэлийн тасралтгүй тогтвортой байдлыг хангадаг.
3. Оптик болон хөдөлгөөний системийн хамгаалалт
Литографи болон үзлэгийн платформууд нь нанометрийн түвшний нарийвчлалаас хамаардаг. Оптик угсралт эсвэл хөдөлгөөний үе шатуудын температураас үүдэлтэй тэлэлт нь уялдаа холбоог алдагдуулж болзошгүй. Нарийвчлалтай хөргөгч нь эдгээр мэдрэмтгий дэд системийг тогтворжуулахад тусалдаг бөгөөд хэмжилтийн нарийвчлал болон давтагдах чадварыг хадгалдаг.
4. Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгах
Тогтвортой температурын зохицуулалт нь камер, шахуурга болон механик байгууламж дахь дулааны стрессийг бууруулдаг. Цаг хугацаа өнгөрөхөд энэ нь засвар үйлчилгээний давтамжийг бууруулж, тоног төхөөрөмжийн нийт үр ашгийг (OEE) сайжруулахад хувь нэмэр оруулдаг бөгөөд энэ нь их хэмжээний хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдэд чухал ач холбогдолтой юм.

Хагас дамжуулагч зэрэглэлийн нарийвчлалтай хөргөгчинд юу хайх хэрэгтэй вэ
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл нь ихэвчлэн дараахь зүйлийг шаарддаг.
* Өндөр температурын хяналтын нарийвчлал (ихэвчлэн ±0.1°C эсвэл түүнээс чанга)
* Тогтвортой битүү гогцооны эргэлт
* Бага чичиргээ болон бага дуу чимээтэй ажиллагаа
* Ухаалаг хяналт болон олон түвшний дохиоллын хамгаалалт
* Найдвартай, урт хугацааны тасралтгүй ажиллагаатай

Дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн орчинд зориулан бүтээгдсэн нарийн хөргөлтийн системүүд нь эдгээр хатуу шаардлагыг хангахын тулд тогтвортой хөргөлтийн хяналт, өндөр чанартай гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон ухаалаг температурын зохицуулалтыг нэгтгэдэг.

Жишээлбэл, TEYU CWUP болон RMUP цуврал зэрэг нарийн хөргөлтийн шийдлүүдийг өндөр хяналтын нарийвчлал, авсаархан бүтэц, нарийн дулааны менежмент шаарддаг хэрэглээнд тохиромжтой тогтвортой гүйцэтгэлээр бүтээсэн. Эдгээр системүүдийг температурын тогтвортой байдал нь процессын нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг салбаруудад өргөн ашигладаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагчтай холбоотой хөргөлтийн хувилбаруудад дасан зохицох боломжийг олгодог.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд хөргөлт нь зөвхөн туслах дэмжлэгээс илүү зүйл юм; энэ нь үйл явцын баталгааны салшгүй хэсэг болдог. Тогтвортой байдал, найдвартай байдал, урт хугацааны гүйцэтгэлд зориулагдсан нарийн хөргөгч сонгох нь үйлдвэрлэгчдэд ургацыг хамгаалах, өрсөлдөх чадвартай үйлдвэрлэлийн стандартыг хадгалахад тусалдаг.