Zvidziviriri Zvekupisa Zvakanyanya Mukugadzira Semiconductor: Nei Kugadzikana Kwetembiricha Kuchikosha

Munzvimbo yanhasi yekugadzira Semiconductor, kugadzikana kwekushisa kwakakosha pakudzora mashandiro. Sezvo zvimiro zvemidziyo zvichifamba muzvikamu zve nanometer, kunyangwe kuchinja kudiki kwekupisa kunogona kukanganisa zviyero zvakakosha, kufanana kwefirimu, uye kurongeka kwekurongeka. Kubva pakucheka nekuisa zvinhu kusvika pa lithography nekutarisa, kutonga kwakanyatsojeka kwekupisa kunokanganisa zvakananga goho, mashandiro, uye kuvimbika kwemidziyo kwenguva refu.

Nei Kutonhodza Kwakanyatsonaka Kwakakosha Mukugadzira Wafer
1. Kuenderana Kwemaitiro uye Dziviriro Yekubereka
Zvishandiso zveSemiconductor zvinoshanda pasi pematanho akanyatsodzorwa. Chiller cheindasitiri chakanyatsogadzirwa chinochengetedza tembiricha yemvura nguva dzose, zvichiita kuti wafer yega yega iwane mamiriro ekupisa akafanana. Kugadzikana uku kunoderedza kusiyana kwebatch uye kunotsigira kugadzirwa kwakasimba.
2. Kupisa kwakanyanya
Kucheka kweplasma, kuisa CVD/PVD, uye kuisa maion zvinopa kupisa kwakawanda panguva yekushanda. Masisitimu ekutonhodza anoshanda zvakanaka anobvisa simba rekupisa rakawandisa, achidzivirira kudonha, achidzivirira zvikamu zvemidziyo, uye achichengetedza kugadzikana kwekugadzirwa nguva dzose.
3. Kudzivirirwa kweSisitimu yeOptical uye Motion
Mapuratifomu eLithography nekuongorora zvinoenderana nekunyatsojeka kwemazinga e nanometer. Kuwedzera kunokonzerwa nekupisa muzvikamu zve optical kana mafambiro kunogona kukanganisa kurongeka. Zvidziviriri zve Precision zvinobatsira kudzikamisa ma subsystem aya anonzwa, zvichichengetedza kururama kwekuyera uye kudzokorora.
4. Nguva Yekushandisa Midziyo Yakawedzerwa
Kudzora tembiricha yakagadzikana kunoderedza kushushikana kwekupisa pamakamuri, mapombi, uye maumbirwo emakanika. Nekufamba kwenguva, izvi zvinobatsira kudzikira kwehuwandu hwekugadzirisa uye kuvandudza kushanda zvakanaka kwemidziyo yese (OEE), izvo zvakakosha muzvigadzirwa zve semiconductor zvine huwandu hwakawanda.

Zvekutsvaga muSemiconductor-Grade Precision Chiller
Kugadzira semiconductors kunowanzo da:
* Kururama kwekudzora tembiricha yepamusoro (kazhinji ± 0.1°C kana kuti yakasimba)
* Kutenderera kwakasimba kwechiuno chakavharwa
* Kudedera kwakaderera uye kushanda kweruzha kwakaderera
* Kutarisa kwakangwara uye dziviriro yealamu yemazinga akawanda
* Kushanda kwakavimbika, kwenguva refu kunoramba kuripo

Masisitimu ekutonhodza akagadzirwa zvakanaka kuti ashandiswe munzvimbo dzekugadzira dzepamusoro anobatanidza kudzora kutonhora kwakasimba, zvikamu zvepakati zvemhando yepamusoro, uye mitemo yekupisa yakangwara kuti ienderane nezvinodiwa izvi zvakaoma.

Semuenzaniso, mhinduro dzechiller dzakanyatsonaka dzakadai seTEYU CWUP neRMUP dzakatevedzana dzakagadzirirwa kunyatsodzora, zvimiro zvidiki, uye kushanda kwakasimba kwakakodzera mashandisirwo anoda kutarisirwa kwakanaka kwekupisa. Masisitimu aya anoshandiswa zvakanyanya mumaindasitiri umo kugadzikana kwekushisa kunokanganisa zvakananga kurongeka kwemaitiro, zvichiita kuti agone kuchinjika kune mamiriro ekutonhora ane chekuita nesemiconductor.

Mukugadzira zvinhu zvakaita semiconductor, kutonhora kunopfuura kutsigira kwekubatsira; kunoita basa guru mukuvimbisa mashandiro echinhu. Kusarudza chiller chaiyo yakavakirwa kugadzikana, kuvimbika, uye kushanda kwenguva refu kunogona kubatsira vagadziri kuchengetedza goho uye kuchengetedza mwero wekugadzira unokwikwidzana.