Sarincên Rastîn di Çêkirina Nîvconductor de: Çima Aramiya Germahîyê Girîng e

Di jîngeha çêkirina nîvconductor a îroyîn de, aramiya germahiyê ji bo kontrola pêvajoyê bingehîn e. Her ku avahiyên cîhazê derbasî pîvanên nanometre dibin, tewra guherînên germî yên piçûk jî dikarin bandorê li pîvanên krîtîk, yekrengiya fîlmê û rastbûna hevrêzkirinê bikin. Ji gravurkirin û danînê bigire heya lîtografî û vekolînê, rêveberiya germî ya rast rasterast bandorê li ser hilberîn, performans û pêbaweriya alavan a demdirêj dike.

Çima Sarkirina Rastîn di Çêkirina Waferan de Girîng e
1. Lihevhatina Pêvajoyê û Parastina Berhemê
Amûrên nîvconductor di bin parametreyên bi hişkî kontrolkirî de dixebitin. Sarincokerek pîşesaziyê ya rastbûna bilind germahiya avê sabît diparêze, û piştrast dike ku her wafer şert û mercên germî yên wekhev biceribîne. Ev yekrengî guherîna komê kêm dike û hilberîna hilberînê ya stabîl piştgirî dike.
2. Belavbûna Barê Germa Bilind
Sîstemên gravkirina plazmayê, danîna CVD/PVD, û çandina iyonan di dema xebitandinê de germahiyek girîng çêdikin. Sîstemên sarkirina çerxa girtî yên bi bandor bi lez enerjiya germî ya zêde radikin, pêşî li lehiyê digirin, pêkhateyên alavan diparêzin, û aramiya hilberînê ya domdar diparêzin.
3. Parastina Sîstema Optîkî û Tevgerê
Platformên lîtografî û vekolînê bi rastbûna asta nanometreyê ve girêdayî ne. Berfirehbûna ji ber germahiyê di kombûnên optîkî an qonaxên tevgerê de dikare hevrêziyê xera bike. Sarincên rastbûn dibin alîkar ku van pergalên hesas îstîqrar bikin, rastbûna pîvandinê û dubarekirinê diparêzin.
4. Jiyana Amûrê ya Dirêjkirî
Rêkxistina germahiyê ya sabît zexta germî ya li ser ode, pomp û avahiyên mekanîkî kêm dike. Bi demê re, ev yek dibe sedema kêmbûna frekansa lênêrînê û baştirkirina bandora giştî ya alavan (OEE), ku di kargehên nîvconductor ên bi qebareya bilind de pir girîng e.

Di Sarincokerek Precision a Pola Nîvconductor de Li Çi Bigerin
Hilberîna nîvconductor bi gelemperî hewce dike:
* Rastbûna kontrola germahiya bilind (bi gelemperî ± 0.1°C an jî hişktir)
* Gerandina çerxa girtî ya stabîl
* Lerizîna kêm û xebata dengê kêm
* Çavdêriya aqilmend û parastina alarmê ya pir-astî
* Operasyona domdar a pêbawer, demdirêj

Sîstemên sarincokê yên bi hûrgilî ku ji bo jîngehên hilberînê yên pêşkeftî hatine çêkirin, kontrola sarincokê ya stabîl, pêkhateyên bingehîn ên bi kalîte bilind, û rêkxistina germahiyê ya aqilmend entegre dikin da ku van daxwazên dijwar bicîh bînin.

Bo nimûne, çareseriyên sarincokên rastîn ên wekî rêzeya TEYU CWUP û RMUP bi rastbûna kontrola bilind, avahiyên kompakt û performansa stabîl hatine sêwirandin ku ji bo sepanên ku rêveberiya germî ya baş hewce dikin minasib in. Ev sîstem bi berfirehî di pîşesaziyên ku aramiya germahiyê rasterast bandorê li rastbûna pêvajoyê dike de têne bikar anîn, û wan ji bo senaryoyên sarbûna têkildarî nîvconductor maqûl dike.

Di çêkirina nîvconductoran de, sarkirin ji piştgiriya alîkar wêdetir e; ew di misogerkirina pêvajoyê de roleke yekgirtî dilîze. Hilbijartina sarincokek bi rastî ku ji bo aramî, pêbawerî û performansa demdirêj hatiye çêkirin dikare alîkariya hilberîneran bike ku hilberînê biparêzin û standardên hilberînê yên reqabetê biparêzin.