Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү так муздаткычтар: температуранын туруктуулугу эмне үчүн маанилүү

Бүгүнкү күндөгү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү чөйрөсүндө температуранын туруктуулугу процессти башкаруу үчүн абдан маанилүү. Түзмөктөрдүн структуралары нанометрдик масштабга өткөн сайын, жылуулуктун анча чоң эмес өзгөрүүлөрү да маанилүү өлчөмдөргө, пленканын бирдейлигине жана тегиздөөнүн тактыгына таасир этиши мүмкүн. Оёп жана чөктүрүүдөн баштап литографияга жана текшерүүгө чейин так жылуулукту башкаруу жабдуулардын өндүрүмдүүлүгүнө, иштешине жана узак мөөнөттүү ишенимдүүлүгүнө түздөн-түз таасир этет.

Эмне үчүн пластина жасоодо так муздатуу маанилүү
1. Процесстин ырааттуулугу жана түшүмдүүлүктү коргоо
Жарым өткөргүч шаймандар катуу көзөмөлдөнгөн параметрлердин астында иштейт. Жогорку тактыктагы өнөр жай муздаткычы суунун температурасын туруктуу кармап турат, бул ар бир пластинанын бирдей жылуулук шарттарына дуушар болушун камсыздайт. Бул консистенция партиянын өзгөрүшүн азайтат жана туруктуу өндүрүш көлөмүн колдойт.
2. Жогорку жылуулук жүгүнүн диссипациясы
Плазмалык оюу, CVD/PVD чөктүрүү жана ион имплантациялоо системалары иштөө учурунда олуттуу жылуулукту пайда кылат. Натыйжалуу жабык циклдүү муздатуу системалары ашыкча жылуулук энергиясын тез жок кылат, дрейфтин алдын алат, жабдуулардын компоненттерин коргойт жана өндүрүштүн үзгүлтүксүз туруктуулугун сактайт.
3. Оптикалык жана кыймыл системасын коргоо
Литография жана текшерүү платформалары нанометрдик деңгээлдеги тактыкка көз каранды. Оптикалык түзүлүштөрдөгү же кыймыл этаптарындагы температуранын таасири менен кеңейүү тегиздөөнү бузушу мүмкүн. Так муздаткычтар бул сезгич тутумдарды турукташтырууга жардам берет, өлчөөнүн тактыгын жана кайталанышын сактайт.
4. Жабдуунун иштөө мөөнөтүн узартуу
Туруктуу температураны жөнгө салуу камералардагы, насостордогу жана механикалык конструкциялардагы жылуулук чыңалуусун азайтат. Убакыттын өтүшү менен бул техникалык тейлөө жыштыгын төмөндөтүүгө жана жабдуулардын жалпы натыйжалуулугун (OEE) жакшыртууга өбөлгө түзөт, бул көп көлөмдүү жарым өткөргүч заводдордо абдан маанилүү.

Жарым өткөргүчтүү тактыктагы муздаткычтан эмнени издөө керек
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү адатта төмөнкүлөрдү талап кылат:
* Жогорку температураны көзөмөлдөө тактыгы (көбүнчө ±0,1°C же андан катуураак)
* Туруктуу жабык циклдик циркуляция
* Төмөн титирөө жана аз ызы-чуу менен иштөө
* Акылдуу мониторинг жана көп деңгээлдүү сигнализациядан коргоо
* Ишенимдүү, узак мөөнөттүү үзгүлтүксүз иштөө

Өркүндөтүлгөн өндүрүш чөйрөлөрү үчүн иштелип чыккан так муздаткыч системалары бул катуу талаптарды канааттандыруу үчүн туруктуу муздатуу башкаруусун, жогорку сапаттагы өзөк компоненттерин жана акылдуу температураны жөнгө салууну бириктирет.

Мисалы, TEYU CWUP жана RMUP сериялары сыяктуу так муздаткыч чечимдери жогорку башкаруу тактыгы, компакттуу түзүлүштөрү жана так жылуулук башкарууну талап кылган колдонмолор үчүн ылайыктуу туруктуу иштеши менен иштелип чыккан. Бул системалар температуранын туруктуулугу процесстин тактыгына түздөн-түз таасир эткен тармактарда кеңири колдонулат, бул аларды жарым өткөргүчтөргө байланыштуу муздатуу сценарийлерине ыңгайлаштырууга мүмкүндүк берет.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө муздатуу жөн гана кошумча колдоо эмес; ал процессти камсыздоодо ажырагыс ролду ойнойт. Туруктуулук, ишенимдүүлүк жана узак мөөнөттүү иштөө үчүн курулган так муздатуучуну тандоо өндүрүүчүлөргө өндүрүмдүүлүктү сактоого жана атаандаштыкка жөндөмдүү өндүрүш стандарттарын сактоого жардам берет.