Ireo vata fampangatsiahana mazava tsara amin'ny famokarana semiconductor: Nahoana no zava-dehibe ny fahamarinan'ny mari-pana

Ao anatin'ny tontolo famokarana Semiconductor ankehitriny, ny fahamarinan'ny mari-pana dia fototra iorenan'ny fanaraha-maso ny dingana. Rehefa mifindra amin'ny ambaratonga nanometra ny rafitry ny fitaovana, na dia ny fiovaovan'ny hafanana kely aza dia mety hisy fiantraikany amin'ny refy manan-danja, ny fitoviana amin'ny sarimihetsika, ary ny fahamarinan'ny fampifanarahana. Manomboka amin'ny fanesorana sy fametrahana ka hatramin'ny lithography sy ny fanaraha-maso, ny fitantanana ny hafanana mazava tsara dia misy fiantraikany mivantana amin'ny vokatra, ny fahombiazana ary ny fahatokisana maharitra ny fitaovana.

Nahoana no tena ilaina ny fampangatsiahana mazava tsara amin'ny fanamboarana wafer
1. Fifanarahana amin'ny dingana sy fiarovana ny vokatra
Miasa eo ambanin'ny fepetra voafehy tsara ireo fitaovana semiconductor. Ny vata fampangatsiahana indostrialy avo lenta dia mitazona ny mari-pana rano tsy miova, mba hahazoana antoka fa mitovy ny mari-pana ao amin'ny wafer tsirairay. Mampihena ny fiovaovan'ny andiany io tsy miovaova io ary manohana ny vokatra famokarana marin-toerana.
2. Fampielezana hafanana be loatra
Ny fandokoana plasma, ny fametrahana CVD/PVD, ary ny rafitra fametrahana ion dia miteraka hafanana be mandritra ny fampiasana. Ny rafitra fampangatsiahana mihidy mahomby dia manala haingana ny angovo mafana be loatra, misoroka ny fivezivezena, miaro ny singa ao amin'ny fitaovana, ary mitazona ny fahamarinan'ny famokarana mitohy.
3. Fiarovana ny Rafitra Optika sy Fihetsehana
Miankina amin'ny fahamarinan'ny nanometra ny litografia sy ny sehatra fanaraha-maso. Ny fanitarana vokatry ny mari-pana amin'ny fivorian'ny optika na ny dingana fihetsehana dia mety hanimba ny fandrindrana. Ny vata fampangatsiahana misy fahamarinan-toerana dia manampy amin'ny fanamafisana ireo rafitra saro-pady ireo, miaro ny fahamarinan'ny fandrefesana sy ny famerimberenana azy.
4. Faharetan'ny fitaovana maharitra kokoa
Ny fandrindrana ny mari-pana tsy miovaova dia mampihena ny fihenjanana ara-hafanana amin'ny efitrano, paompy ary rafitra mekanika. Rehefa mandeha ny fotoana, izany dia mandray anjara amin'ny fihenan'ny faharetan'ny fikojakojana sy ny fanatsarana ny fahombiazan'ny fitaovana amin'ny ankapobeny (OEE), izay tena ilaina amin'ny orinasa semiconductor be dia be.

Inona no tokony hojerena amin'ny "Semiconductor-grade precision chiller"
Ny fanamboarana semiconductor dia matetika mitaky:
* Fahamarinana avo lenta amin'ny fanaraha-maso ny mari-pana (matetika ±0.1°C na henjana kokoa)
* Fivezivezena milamina sy mihidy
* Fiasa tsy dia misy hovitrovitra sy tabataba
* Fanaraha-maso marani-tsaina sy fiarovana fanairana amin'ny ambaratonga maro
* Azo ianteherana sy maharitra ny fiasana mitohy

Ny rafitra fampangatsiahana mazava tsara natao ho an'ny tontolo famokarana mandroso dia mampiditra fanaraha-maso fampangatsiahana milamina, singa fototra avo lenta, ary fandrindrana mari-pana marani-tsaina mba hanatanterahana ireo fitakiana henjana ireo.

Ohatra, ireo vahaolana amin'ny vata fampangatsiahana mazava tsara toy ny andiany TEYU CWUP sy RMUP dia natao miaraka amin'ny fanaraha-maso marina, rafitra kely, ary fampisehoana marin-toerana izay mety amin'ny fampiharana izay mitaky fitantanana mafana tsara. Ireo rafitra ireo dia ampiasaina betsaka amin'ny indostria izay misy fiantraikany mivantana amin'ny fahamarinan'ny dingana ny fahamarinan'ny mari-pana, ka mahatonga azy ireo ho azo ampifanarahana amin'ny toe-javatra fampangatsiahana mifandraika amin'ny semiconductor.

Amin'ny fanamboarana "semiconductor", ny fampangatsiahana dia mihoatra noho ny fanohanana fanampiny fotsiny; mitana anjara toerana lehibe amin'ny fiantohana ny fizotran'ny asa izany. Ny fisafidianana "chiller" voafaritra tsara izay natao ho an'ny fahamarinan-toerana, ny fahatokisana ary ny fahombiazana maharitra dia afaka manampy ireo mpanamboatra hiaro ny vokatra sy hihazonana ny fenitra famokarana mifaninana.