Awọn ẹrọ tutu ti o peye ninu iṣelọpọ Semiconductor: Idi ti iduroṣinṣin iwọn otutu ṣe pataki

Nínú àyíká ìṣelọ́pọ́ Semiconductor lónìí, ìdúróṣinṣin iwọ̀n otútù jẹ́ pàtàkì fún ìṣàkóso ìlànà. Bí àwọn ètò ẹ̀rọ ṣe ń lọ sí ìwọ̀n nanometer, àní àwọn ìyípadà ooru díẹ̀ lè ní ipa lórí àwọn ìwọ̀n pàtàkì, ìṣọ̀kan fíìmù, àti ìṣedéédéé ìtòlẹ́sẹẹsẹ. Láti ìtẹ̀wé àti ìdúró sí ìwé-ẹ̀rí àti àyẹ̀wò, ìṣàkóso ooru tí ó péye ní ipa tààrà lórí ìṣẹ̀dá, iṣẹ́, àti ìgbẹ́kẹ̀lé ohun èlò ìgbà pípẹ́.

Kílódé Títútù Pípé Ṣe Pàtàkì Nínú Ṣíṣe Wafer
1. Ìbáramu àti Ààbò Ìmúṣẹ́ṣe
Àwọn irinṣẹ́ Semiconductor ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ àwọn ìlànà tí a ṣàkóso dáadáa. Atupa ilé-iṣẹ́ tí ó péye máa ń mú kí omi gbóná déédé, ó sì máa ń rí i dájú pé gbogbo wafer ní irú ipò ooru kan náà. Ìdúróṣinṣin yìí máa ń dín ìyàtọ̀ nínú ìpele kù, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìṣẹ̀dá tí ó dúró ṣinṣin.
2. Ìtújáde Ẹrù Ooru Gíga
Ṣíṣe àtúnṣe plasma, ìdènà CVD/PVD, àti àwọn ètò ìfàmọ́ra ion máa ń mú ooru tó lágbára jáde nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́. Àwọn ètò ìtútù tó péye tí a fi ìdènà pa mọ́ máa ń mú agbára ooru tó pọ̀ jù kúrò ní kíákíá, ó máa ń dènà ìfàmọ́ra, ó ń dáàbò bo àwọn ẹ̀yà ohun èlò, ó sì máa ń mú kí iṣẹ́ náà dúró ṣinṣin.
3. Ààbò Ètò Ojú àti Ìṣípo
Àwọn ìpele ìṣàyẹ̀wò àti àwọn ìpele ìṣàyẹ̀wò sinmi lórí ìpele nanometer tó péye. Ìfẹ̀sí tí ooru ń fà nínú àwọn ìpele opitika tàbí ìpele ìṣípo lè ba ìtòlẹ́sẹẹsẹ jẹ́. Àwọn ohun èlò ìtútù tó péye ń ran àwọn ẹ̀ka kékeré wọ̀nyí lọ́wọ́ láti dúró ṣinṣin, ó ń pa ìṣedéédé ìwọ̀n àti àtúnṣe rẹ̀ mọ́.
4. Ìgbésí ayé ohun èlò tó gbòòrò sí i
Ìṣàkóso iwọn otutu tí ó dúró ṣinṣin dín wahala ooru lórí àwọn yàrá, àwọn ẹ̀rọ fifa omi, àti àwọn ẹ̀rọ onímọ̀-ẹ̀rọ kù. Bí àkókò ti ń lọ, èyí ń ṣe àfikún sí ìpele ìtọ́jú tí ó dínkù àti ìmúṣẹ gbogbogbòò ohun èlò (OEE), èyí tí ó ṣe pàtàkì nínú àwọn ohun èlò semiconductor tí ó ní ìwọ̀n gíga.

Ohun ti o yẹ ki o wa ninu ẹrọ amúlétutù Semiconductor-Grade Precision Chiller
Iṣelọpọ semikondokito nigbagbogbo nilo:
* Ipese iṣakoso iwọn otutu giga (nigbagbogbo ± 0.1°C tabi ti o nira sii)
* Isan-kiri ti o duro ṣinṣin
* Gbigbọn kekere ati iṣẹ ariwo kekere
* Abojuto oye ati aabo itaniji ipele pupọ
* Iṣiṣẹ igbẹkẹle ati igba pipẹ nigbagbogbo

Àwọn ètò ìtútù tí a ṣe fún àwọn àyíká iṣẹ́ ìṣẹ̀dá tó ti ní ìlọsíwájú ṣọ̀kan ìṣàkóso ìtútù tó dúró ṣinṣin, àwọn èròjà pàtàkì tó ga, àti ìlànà ìwọ̀n otútù tó ní ọgbọ́n láti bá àwọn ìbéèrè tó le koko wọ̀nyí mu.

Fún àpẹẹrẹ, àwọn ọ̀nà ìtútù tí ó péye bíi TEYU CWUP àti RMUP ni a ṣe pẹ̀lú ìpele ìṣàkóso gíga, àwọn ètò kékeré, àti iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin tí ó yẹ fún àwọn ohun èlò tí ó nílò ìṣàkóso ooru dídára. Àwọn ètò wọ̀nyí ni a lò ní àwọn ilé iṣẹ́ níbi tí ìdúró ṣinṣin otutu ti ní ipa lórí ìpele ìlànà ní tààrà, tí ó mú kí wọ́n ṣeé ṣe sí àwọn ipò ìtútù tí ó ní í ṣe pẹ̀lú semiconductor.

Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, ìtútù ju ìrànlọ́wọ́ lọ; ó kó ipa pàtàkì nínú ìdánilójú iṣẹ́. Yíyan ohun èlò ìtútù tí a ṣe fún ìdúróṣinṣin, ìgbẹ́kẹ̀lé, àti iṣẹ́ ìgbà pípẹ́ lè ran àwọn olùpèsè lọ́wọ́ láti dáàbò bo ìdàgbàsókè àti láti máa ṣe àwọn ìpele ìṣiṣẹ́ tí ó bá ìdíje mu.