Για να καλυφθεί η ζήτηση κατασκευής, ο εξοπλισμός επεξεργασίας ημιαγωγών θα παρουσιάσει δραματική ανάπτυξη. Αυτός ο εξοπλισμός περιλαμβάνει βηματικό μηχάνημα, μηχανή χάραξης με λέιζερ, εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, εμφυτευτή ιόντων, μηχανή χάραξης με λέιζερ, μηχανή διάτρησης οπών με λέιζερ και ούτω καθεξής.
Όπως φαίνεται παραπάνω, το μεγαλύτερο μέρος της μηχανής επεξεργασίας ημιαγωγών υποστηρίζεται από την τεχνική λέιζερ. Η δέσμη φωτός λέιζερ μπορεί να έχει μοναδικό αποτέλεσμα στην επεξεργασία ημιαγωγών υλικών λόγω της μη επαφής, υψηλής απόδοσης και ακριβούς ποιότητάς της.
Πολλές εργασίες κοπής πλακιδίων με βάση το πυρίτιο γίνονταν παλαιότερα με μηχανική κοπή. Αλλά τώρα, η κοπή ακριβείας με λέιζερ αναλαμβάνει την πρωτοπορία. Η τεχνική λέιζερ χαρακτηρίζεται από υψηλή απόδοση, ομαλή ακμή κοπής και δεν χρειάζεται περαιτέρω επεξεργασία μετά την επεξεργασία, χωρίς να παράγει κανένα ρύπο. Στο παρελθόν, η κοπή πλακιδίων με λέιζερ χρησιμοποιούσε λέιζερ UV διάρκειας νανοδευτερολέπτων, καθώς το λέιζερ UV χαρακτηρίζεται από μικρή ζώνη θερμικής επίδρασης και είναι γνωστό ως ψυχρή επεξεργασία. Αλλά τα τελευταία χρόνια με την ενημέρωση του εξοπλισμού, το υπερταχύ λέιζερ, ειδικά το λέιζερ πικοδευτερολέπτων, έχει χρησιμοποιηθεί σταδιακά στην κοπή με λέιζερ πλακιδίων. Καθώς η ισχύς του υπερταχέος λέιζερ συνεχίζει να αυξάνεται, αναμένεται ότι το λέιζερ UV πικοδευτερόλεπτων και ακόμη και το λέιζερ UV φεμτοδευτερόλεπτων θα χρησιμοποιηθούν ευρέως για την επίτευξη ακριβέστερης και ταχύτερης επεξεργασίας.
Στο εγγύς μέλλον, η βιομηχανία ημιαγωγών στη χώρα μας θα εισέλθει στην ταχύτερα αναπτυσσόμενη περίοδο, φέρνοντας τεράστια ζήτηση για εξοπλισμό ημιαγωγών και την τεράστια ποσότητα επεξεργασίας πλακιδίων. Όλα αυτά συμβάλλουν στην προώθηση της ζήτησης για μικρο-κατεργασία με λέιζερ, ειδικά για τα υπερταχέα λέιζερ.
Η κατασκευή ημιαγωγών, οθονών αφής και εξαρτημάτων ηλεκτρονικών ειδών ευρείας κατανάλωσης θα είναι οι σημαντικότερες εφαρμογές του υπερταχέος λέιζερ. Προς το παρόν, τα εγχώρια υπερταχέα λέιζερ γνωρίζουν ραγδαία ανάπτυξη και η τιμή τους μειώνεται. Για παράδειγμα, για λέιζερ 20W πικοδευτερολέπτων, η τιμή του μειώνεται από το αρχικό 1 εκατομμύριο RMB σε λιγότερο από 400.000 RMB. Αυτή είναι μια θετική τάση για τη βιομηχανία ημιαγωγών.
Η σταθερότητα του εξαιρετικά γρήγορου εξοπλισμού επεξεργασίας σχετίζεται στενά με τη θερμική διαχείριση. Πέρυσι, ο Σ.&Ένας Teyu λάνσαρε το φορητή βιομηχανική μονάδα ψύξης CWUP-20 το οποίο μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την ψύξη femtosecond laser, picosecond laser, nanosecond laser και άλλων υπερταχέων λέιζερ. Μάθετε περισσότερα για αυτό το ψυκτικό στο https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5
