برای برآوردن تقاضای تولید، تجهیزات پردازش نیمههادی رشد چشمگیری را تجربه خواهند کرد. این تجهیزات شامل استپر، دستگاه حکاکی لیزری، تجهیزات رسوب لایه نازک، کاشت یون، دستگاه حکاکی لیزری، دستگاه سوراخکاری لیزری و غیره میشود.

همانطور که در بالا مشاهده میشود، بیشتر دستگاههای پردازش مواد نیمههادی با تکنیک لیزر پشتیبانی میشوند. پرتو نور لیزر به دلیل عدم تماس، کارایی بالا و کیفیت دقیق، میتواند تأثیر بینظیری در پردازش مواد نیمههادی داشته باشد.
بسیاری از کارهای برش ویفر مبتنی بر سیلیکون قبلاً با برش مکانیکی انجام میشد. اما اکنون، برش لیزری دقیق این مسئولیت را بر عهده گرفته است. تکنیک لیزر دارای راندمان بالا، لبه برش صاف و بدون نیاز به پردازش بیشتر و بدون تولید هیچ گونه آلایندهای است. در گذشته، برش ویفر لیزری از لیزر UV نانوثانیه استفاده میکرد، زیرا لیزر UV با منطقه تأثیر حرارتی کوچک مشخص میشود و به عنوان پردازش سرد شناخته میشود. اما در سالهای اخیر با بهروزرسانی تجهیزات، لیزر فوق سریع، به ویژه لیزر پیکوثانیه، به تدریج در برش لیزری ویفر مورد استفاده قرار گرفته است. با افزایش مداوم قدرت لیزر فوق سریع، انتظار میرود که لیزر UV پیکوثانیه و حتی لیزر UV فمتوثانیه به طور گسترده برای دستیابی به پردازش دقیقتر و سریعتر مورد استفاده قرار گیرند.
در آینده نزدیک، صنعت نیمههادی در کشور ما وارد سریعترین دوره رشد خواهد شد و تقاضای زیادی برای تجهیزات نیمههادی و حجم عظیمی از پردازش ویفر به همراه خواهد داشت. همه اینها به افزایش تقاضا برای میکروماشینکاری لیزری، به ویژه لیزر فوق سریع، کمک میکند.
نیمههادیها، صفحه نمایش لمسی، و تولید قطعات الکترونیکی مصرفی از مهمترین کاربردهای لیزر فوق سریع خواهند بود. در حال حاضر، لیزر فوق سریع داخلی رشد سریعی را تجربه میکند و قیمت آن رو به کاهش است. به عنوان مثال، برای لیزر پیکوثانیهای 20 وات، قیمت آن از 1 میلیون یوان اولیه به کمتر از 400000 یوان کاهش مییابد. این یک روند مثبت برای صنعت نیمههادی است.
پایداری تجهیزات پردازش فوق سریع ارتباط نزدیکی با مدیریت حرارتی دارد. سال گذشته، S&A Teyu واحد چیلر صنعتی قابل حمل CWUP-20 را عرضه کرد که میتواند برای خنک کردن لیزر فمتوثانیه، لیزر پیکوثانیه، لیزر نانوثانیه و سایر لیزرهای فوق سریع استفاده شود. برای اطلاعات بیشتر در مورد این چیلر به آدرس https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5 مراجعه کنید.









































































































