Для удовлетворения производственного спроса ожидается значительный рост производства оборудования для обработки полупроводников. К ним относятся шаговые электродвигатели, лазерные травильные машины, установки для осаждения тонких плёнок, установки ионной имплантации, лазерные скрайбирующие машины, лазерные сверлильные станки и т.д.
Как видно из вышеизложенного, большинство станков для обработки полупроводниковых материалов используют лазерную технологию. Лазерный луч обладает уникальным эффектом при обработке полупроводниковых материалов благодаря своей бесконтактности, высокой эффективности и точности.
Раньше многие работы по резке кремниевых пластин выполнялись механическим способом. Но теперь прецизионная лазерная резка берет на себя инициативу. Лазерная технология отличается высокой эффективностью, гладкой кромкой реза, отсутствием необходимости в дальнейшей постобработке и отсутствием каких-либо загрязняющих веществ. Раньше для лазерной резки пластин использовался наносекундный УФ-лазер, поскольку УФ-лазер характеризуется малой зоной теплового воздействия и известен как холодная обработка. Но в последние годы, с обновлением оборудования, сверхбыстрый лазер, особенно пикосекундный лазер, постепенно используется для лазерной резки пластин. С ростом мощности сверхбыстрых лазеров ожидается, что пикосекундный УФ-лазер и даже фемтосекундный УФ-лазер будут широко использоваться для достижения более точной и быстрой обработки.
В ближайшем будущем полупроводниковая промышленность в нашей стране вступит в период наиболее быстрого роста, что обусловит огромный спрос на полупроводниковое оборудование и масштабную обработку пластин. Всё это способствует росту спроса на лазерную микрообработку, особенно сверхбыструю.
Производство полупроводников, сенсорных экранов и компонентов бытовой электроники станет важнейшими сферами применения сверхбыстрых лазеров. В настоящее время отечественные сверхбыстрые лазеры переживают бурный рост, а цены на них снижаются. Например, цена пикосекундного лазера мощностью 20 Вт снизилась с первоначального 1 миллиона юаней до менее чем 400 000 юаней. Это позитивная тенденция для полупроводниковой промышленности.
Стабильность работы сверхбыстрого технологического оборудования тесно связана с управлением температурой. В прошлом году S&A компания Teyu выпустила портативный промышленный охладитель блок CWUP-20, который может использоваться для охлаждения фемтосекундных, пикосекундных, наносекундных и других сверхбыстрых лазеров. Узнайте больше об этом охладитель на сайте https://www.teyuchiller.com/portable-water-охладитель-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5
