Da bi zadostili proizvodnemu povpraševanju, bo oprema za obdelavo polprevodnikov doživela dramatično rast. Ta oprema vključuje koračne stroje, stroje za lasersko jedkanje, opremo za nanašanje tankih filmov, ionske implantatorje, stroje za lasersko graviranje, stroje za lasersko vrtanje lukenj in tako naprej.
Kot je razvidno zgoraj, večina strojev za obdelavo polprevodniških materialov temelji na laserski tehniki. Laserski svetlobni žarek ima lahko edinstven učinek pri obdelavi polprevodniških materialov zaradi svoje brezkontaktne, visoko učinkovite in natančne kakovosti.
Številna dela rezanja silicijevih rezin so se prej opravljala z mehanskim rezanjem. Zdaj pa prevzema vodstvo precizno lasersko rezanje. Laserska tehnika ima visoko učinkovitost, gladek rezalni rob in ni potrebna nadaljnja obdelava ter ne proizvaja onesnaževal. V preteklosti se je za lasersko rezanje rezin uporabljal nanosekundni UV laser, saj je za UV laser značilno majhno območje vpliva toplote in je znan kot hladna obdelava. Toda v zadnjih letih se z nadgradnjo opreme pri laserskem rezanju rezin postopoma uporablja ultrahitri laser, zlasti pikosekundni laser. Z naraščajočo močjo ultrahitrih laserjev se pričakuje, da se bosta pikosekundni UV laser in celo femtosekundni UV laser široko uporabljala za doseganje natančnejše in hitrejše obdelave.
V bližnji prihodnosti bo polprevodniška industrija v naši državi vstopila v obdobje najhitrejše rasti, kar bo prineslo ogromno povpraševanje po polprevodniški opremi in ogromno količino predelave rezin. Vse to pomaga spodbujati povpraševanje po laserski mikroobdelavi, zlasti ultrahitri laserski obdelavi.
Proizvodnja polprevodnikov, zaslonov na dotik in delov potrošniške elektronike bodo najpomembnejše aplikacije ultrahitrega laserja. Trenutno domači ultrahitri laser doživlja hitro rast, cena pa pada. Na primer, cena 20W pikosekundnega laserja se zniža z prvotnega 1 milijona RMB na manj kot 400.000 RMB. To je pozitiven trend za polprevodniško industrijo.
Stabilnost ultrahitre procesne opreme je tesno povezana s toplotnim upravljanjem. Lani, S.&Teyu je lansiral prenosna industrijska hladilna enota CWUP-20, ki se lahko uporablja za hlajenje femtosekundnih laserjev, pikosekundnih laserjev, nanosekundnih laserjev in drugih ultrahitrih laserjev. Več o tem hladilniku izveste na https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5
