Үйлдвэрлэлийн эрэлтийг хангахын тулд хагас дамжуулагч боловсруулах тоног төхөөрөмж эрс өсөх болно. Эдгээр тоног төхөөрөмжид stepper, лазер сийлбэрийн машин, нимгэн хальсан тунадасжуулах төхөөрөмж, ион суулгац, лазер сийлбэрийн машин, лазер нүх өрөмдөх машин гэх мэт орно.
Дээр дурдсанчлан, хагас дамжуулагч материал боловсруулах машинуудын ихэнх нь лазерын техникээр ажилладаг. Лазер гэрлийн туяа нь холбоо барихгүй, өндөр үр ашигтай, нарийвчлалтай чанараараа хагас дамжуулагч материалыг боловсруулахад өвөрмөц нөлөө үзүүлдэг.
Цахиур дээр суурилсан олон тооны вафли огтлох ажлыг механик зүсэлтээр хийдэг байсан. Харин одоо нарийн лазер зүсэлт хийх нь илүү их ачаалалтай болсон. Лазерын техник нь өндөр үр ашигтай, гөлгөр ирмэгтэй бөгөөд цаашид боловсруулалт хийх шаардлагагүй, ямар ч бохирдуулагч бодис үүсгэдэггүй. Өмнө нь лазер вафли огтлоход наносекундын хэт ягаан туяаны лазер ашигладаг байсан, учир нь хэт ягаан туяаны лазер нь жижиг дулааны нөлөөллийн бүсээр тодорхойлогддог бөгөөд хүйтэн боловсруулалт гэж нэрлэгддэг. Гэвч сүүлийн жилүүдэд тоног төхөөрөмжийн шинэчлэлт хийснээр хэт хурдан лазер, ялангуяа пикосекундын лазерыг вафли лазер зүсэлтэд аажмаар ашиглаж байна. Хэт хурдан лазерын хүч улам бүр нэмэгдэж байгаа тул илүү нарийвчлалтай, хурдан боловсруулалт хийхийн тулд пикосекундын хэт ягаан туяаны лазер, тэр ч байтугай фемтосекундын хэт ягаан туяаны лазерыг өргөн ашиглах төлөвтэй байна.
Ойрын ирээдүйд манай улсын хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл хамгийн хурдацтай хөгжиж буй үе рүү орох бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн асар их эрэлт хэрэгцээ, асар их хэмжээний вафли боловсруулах үйлдвэрлэлийг бий болгоно. Энэ бүхэн нь лазерын бичил боловсруулалт, ялангуяа хэт хурдан лазерын эрэлтийг нэмэгдүүлэхэд тусалдаг.
Хагас дамжуулагч, мэдрэгчтэй дэлгэц, хэрэглээний электроникийн эд анги үйлдвэрлэх нь хэт хурдан лазерын хамгийн чухал хэрэглээ байх болно. Одоогоор дотоодын хэт хурдан лазер хурдацтай хөгжиж, үнэ нь буурч байна. Жишээлбэл, 20Вт пикосекундын лазерын үнэ анхны 1 сая юань байсан бол 400,000 юань хүрэхгүй болж буурсан. Энэ нь хагас дамжуулагчийн салбарын хувьд эерэг хандлага юм.
Хэт хурдан боловсруулах төхөөрөмжийн тогтвортой байдал нь дулааны менежменттэй нягт холбоотой. Өнгөрсөн жил S&A Teyu компани фемтосекундын лазер, пикосекундын лазер, наносекундын лазер болон бусад хэт хурдан лазеруудыг хөргөхөд ашиглаж болох зөөврийн үйлдвэрлэлийн хөргөлтийн төхөөрөмж CWUP-20-г худалдаанд гаргасан. Энэхүү хөргөгчийн талаар дэлгэрэнгүй мэдээллийг https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5 хаягаар авна уу.
