Để đáp ứng nhu cầu sản xuất, thiết bị xử lý bán dẫn sẽ trải qua sự tăng trưởng mạnh mẽ. Các thiết bị này bao gồm máy khắc quang học, máy khắc laser, thiết bị lắng đọng màng mỏng, máy cấy ion, máy khắc laser, máy khoan lỗ laser, v.v.
Như đã thấy ở trên, hầu hết các máy gia công vật liệu bán dẫn đều được hỗ trợ bởi kỹ thuật laser. Tia laser có thể tạo ra hiệu ứng độc đáo trong gia công vật liệu bán dẫn nhờ đặc tính không tiếp xúc, hiệu quả cao và độ chính xác tuyệt vời.
Nhiều công việc cắt tấm bán dẫn silicon trước đây được thực hiện bằng phương pháp cắt cơ khí. Nhưng hiện nay, cắt laser chính xác đang chiếm ưu thế. Kỹ thuật laser có hiệu suất cao, đường cắt mịn, không cần xử lý sau và không tạo ra bất kỳ chất gây ô nhiễm nào. Trước đây, việc cắt tấm bán dẫn bằng laser sử dụng laser UV xung nano giây, vì laser UV có đặc điểm là vùng ảnh hưởng nhiệt nhỏ và được biết đến là phương pháp gia công nguội. Nhưng trong những năm gần đây, với sự cập nhật của thiết bị, laser siêu nhanh, đặc biệt là laser xung pico giây, đang dần được sử dụng trong cắt tấm bán dẫn bằng laser. Với công suất của laser siêu nhanh tiếp tục tăng lên, dự kiến laser UV xung pico giây và thậm chí laser UV xung femto giây sẽ được sử dụng rộng rãi để đạt được khả năng gia công chính xác và nhanh hơn.
Trong tương lai gần, ngành công nghiệp bán dẫn ở nước ta sẽ bước vào giai đoạn tăng trưởng nhanh nhất, kéo theo nhu cầu khổng lồ về thiết bị bán dẫn và lượng lớn phôi wafer cần gia công. Tất cả những yếu tố này đều thúc đẩy nhu cầu về gia công vi mô bằng laser, đặc biệt là laser siêu tốc.
Sản xuất chất bán dẫn, màn hình cảm ứng và linh kiện điện tử tiêu dùng sẽ là những ứng dụng quan trọng nhất của laser siêu nhanh. Hiện nay, laser siêu nhanh trong nước đang trải qua giai đoạn tăng trưởng nhanh và giá thành đang giảm. Ví dụ, đối với laser picosecond 20W, giá của nó đã giảm từ 1 triệu RMB ban đầu xuống còn dưới 400.000 RMB. Đây là một xu hướng tích cực đối với ngành công nghiệp bán dẫn.
Tính ổn định của thiết bị xử lý siêu nhanh có liên quan mật thiết đến việc quản lý nhiệt. Năm ngoái, S&A Teyu đã cho ra mắt thiết bị làm lạnh công nghiệp di động CWUP-20, có thể được sử dụng để làm mát laser femtosec, laser picosec, laser nanosec và các loại laser siêu nhanh khác. Tìm hiểu thêm về thiết bị làm lạnh này tại https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5
