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雷射微加工技術在半導體材料加工中發揮重要作用。

為了滿足製造業的需求,半導體加工設備將迎來快速發展。這些設備包括步進式微影機、雷射蝕刻機、薄膜沉積設備、離子注入機、雷射劃線機、雷射鑽孔機等等。

雷射微加工機冷卻器
半導體材料,例如晶片和積體電路板,是發展5G技術、微電子、高速通訊、智慧汽車、高階製造等領域的關鍵,與國家發展息息相關。因此,未來對半導體材料的需求將持續成長。為了滿足製造需求,半導體加工設備也將迎來蓬勃發展。這些設備包括步進式微影機、雷射蝕刻機、薄膜沉積設備、離子注入機、雷射劃線機、雷射鑽孔機等等。

如上所示,大多數半導體材料加工設備都採用雷射技術。雷射光束具有非接觸式、高效和精確的特點,因此在半導體材料加工方面具有獨特的優勢。

過去,許多矽基晶圓切割工作都是透過機械切割完成的。但如今,精密雷射切割逐漸佔優勢。雷射技術具有效率高、切割邊緣光滑、無需後續處理且不產生任何污染物等優點。過去,雷射晶圓切割通常採用奈秒紫外線雷射器,因為紫外線雷射的熱影響區小,屬於冷加工。但近年來,隨著設備的更新換代,超快雷射器,特別是皮秒雷射器,已逐漸應用於晶圓雷射切割。隨著超快雷射功率的不斷提升,預計皮秒紫外線雷射乃至飛秒紫外線雷射將已廣泛應用,以實現更精確、更快速的加工。

在不久的將來,我國半導體產業將進入快速發展期,對半導體設備的需求龐大,晶圓加工量也十分龐大。這些因素都將促進雷射微加工,特別是超快雷射微加工的需求。

半導體、觸控螢幕、消費性電子元件製造將是超快雷射最重要的應用領域。目前,國內超快雷射正處於快速發展階段,價格也不斷下降。例如,20W皮秒雷射的價格已從最初的100萬元人民幣降至40萬元人民幣以下。這對半導體產業來說是一個正面的趨勢。

超快加工設備的穩定性與熱管理密切相關。去年,S&A Teyu推出了便攜式工業冷水機組CWUP-20,可用於冷卻飛秒雷射、皮秒雷射、奈秒雷射和其他超快雷射。了解更多關於這款冷水機組的信息,請訪問https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5

便攜式工業冷水機組

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紫外線雷射微加工的優點與突出特點
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