ክሪዮጂኒክ ኢቺንግ የበለጠ ትክክለኛ እና ቁጥጥር የሚደረግበት የቁሳቁስ ሂደትን ያስችላል

የላቀ የማኑፋክቸሪንግ ሂደት ወደ ከፍተኛ ትክክለኛነት፣ ጥብቅ የሂደት ቁጥጥር እና ሰፊ የቁሳቁስ ተኳሃኝነት መግፋቱን ሲቀጥል፣ የመቅረጽ ቴክኖሎጂዎች በዚሁ መሰረት እየተሻሻሉ ነው። ክሪዮጂኒክ ኢቺንግ፣ በክፍል እና በንጣፍ የሙቀት መጠን ትክክለኛ ቁጥጥር አማካኝነት፣ በናኖሜትር ሚዛን እንኳን የተረጋጋ እና ተደጋጋሚ ሂደትን ያስችላል። በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ በፎቶኒክ መሳሪያ ማምረቻ፣ በMEMS ምርት እና በሳይንሳዊ ምርምር መድረኮች ውስጥ ወሳኝ ሂደት ሆኗል።

ክሪዮጀኒክ ኢቺንግ ምንድን ነው?
ክሪዮጂኒክ ኢቺንግ እጅግ በጣም ዝቅተኛ በሆነ የሙቀት መጠን የሚከናወን የፕላዝማ ላይ የተመሠረተ የኢቺንግ ሂደት ሲሆን ይህም በተለምዶ ከ-80 °ሴ እስከ -150 °ሴ ወይም ከዚያ በታች ይደርሳል። በሂደቱ ወቅት፣ ንጣፉ በተረጋጋ ጥልቅ-ክሪዮጂኒክ የሙቀት መጠን ይጠበቃል፣ ይህም የምላሽ ውጤቶች በቁሳቁስ ወለል ላይ ቁጥጥር የሚደረግበት የማለፊያ ንብርብር እንዲፈጥሩ ያስችላቸዋል። ይህ ዘዴ የአይጥ ትክክለኛነትን እና የሂደቱን ቁጥጥር በእጅጉ ያሻሽላል።

ቁልፍ ዘዴዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
* የተጨናነቀ የጎን ቅርጽ ፡ የተሻሻለ የጎን ግድግዳ ፓሲቭሽን ቀጥ ያለ እና የበለጠ አቀባዊ መገለጫዎችን ይፈጥራል።
* የተሻሻለ የምላሽ ወጥነት፡- ዝቅተኛ የሙቀት መጠኖች የምላሽ-ፍጥነት መለዋወጥን ይቀንሳሉ፣ የመዋቅር መረጋጋትን ያሻሽላሉ።
* የላቀ የገጽታ ጥራት፡- የገጽታ ሸካራነት መቀነስ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የኦፕቲካል እና ስሜታዊ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን ይደግፋል።

የክሪዮጀኒክ መቅረጽ ዋና ዋና ጥቅሞች
1. ከፍተኛ ገጽታ ጥምርታ አቅም
ክሪዮጂኒክ ኢቺንግ ከአቀባዊ የጎን ግድግዳዎች ጋር እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የገጽታ ጥምርታ እንዲኖር ያስችላል፣ ይህም ለጥልቅ ሲሊኮን ኢቺንግ፣ ለማይክሮቻናሎች እና ለተወሳሰቡ የMEMS አወቃቀሮች ተስማሚ ያደርገዋል።

2. እጅግ በጣም ጥሩ የሂደት ወጥነት እና ተደጋጋሚነት
ጥልቅ የክሪዮጀኒክ የሙቀት መቆጣጠሪያ የቁስል ፍጥነትን ያረጋጋል፣ ይህም ጥብቅ የጅምላ-ወደ-ባች ወጥነት የሚጠይቁ የማምረቻ አካባቢዎችን ይደግፋል።

3. ሰፊ የቁሳቁስ ተኳሃኝነት
ክሪዮጂኒክ ኢቺንግ ለተለያዩ ቁሳቁሶች ተስማሚ ነው፣ ከእነዚህም ውስጥ የሚከተሉት ይገኙበታል፦
* ሲሊከን
* ኦክሳይድ
* ናይትሬድስ
* የተመረጡ ፖሊመሮች
* እንደ ሊቲየም ኒዮባት (LiNbO₃) ያሉ የፎቶኒክ ቁሶች

4. የወለል ጉዳት መቀነስ
ዝቅተኛ የአዮን ቦምብ ድብደባ የጉድለት መፈጠርን ይቀንሳል፣ ይህም ሂደቱን ለኦፕቲካል ክፍሎች፣ ለኢንፍራሬድ መመርመሪያዎች እና ለከፍተኛ ስሜታዊነት ላላቸው ማይክሮስትራክቸሮች በጣም ተስማሚ ያደርገዋል።

የክሪዮጀኒክ ቅርፊት ስርዓት ዋና ዋና ክፍሎች
የተለመደው የክሪዮጂኒክ ቀረጻ ስርዓት የሚከተሉትን ያካትታል:
* ለተረጋጋ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መጠን አሠራር ክሪዮጀኒክ ክፍል እና የቀዘቀዘ ኤሌክትሮድ ደረጃ
* ከፍተኛ ጥግግት ያላቸውን ምላሽ ሰጪ ዝርያዎችን ለማመንጨት የፕላዝማ ምንጭ (RF / ICP)
* የተረጋጋ የሂደት መስኮትን ለመጠበቅ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓት (የማቀዝቀዣ መሳሪያዎች)
* የጋዝ አቅርቦት ስርዓት፣ እንደ SF₆ እና O₂ ያሉ ጋዞችን ይደግፋል
* የሙቀት፣ የግፊት፣ የኃይል እና የጋዝ ፍሰትን የሚያስተባብር የተዘጋ-ሉፕ መቆጣጠሪያ ስርዓት
ከእነዚህም መካከል የሙቀት መቆጣጠሪያ አፈጻጸም የረጅም ጊዜ የሂደት መረጋጋትን እና ተደጋጋሚነትን የሚወስን ቁልፍ ነገር ነው።

በጥቃቅን እና ናኖ-ማምረት ሂደቶች ውስጥ የሙቀት ቅንጅት
በተግባራዊ ማይክሮ እና ናኖ-ፋብሪኬሽን የስራ ፍሰቶች፣ ክሪዮጀኒክ ኢቺንግ ሲስተሞች ብዙውን ጊዜ ከሌዘር ማይክሮማቺኒንግ ሲስተሞች ጋር አብረው ጥቅም ላይ ይውላሉ። የተለመዱ አፕሊኬሽኖች በመስታወት በኩል በመስታወት፣ በፎቶኒክ መሳሪያ ማምረቻ እና በዋፈር ምልክት ማድረጊያ ያካትታሉ።

የሙቀት ዓላማቸው የተለያዩ ቢሆንም፡-
* ክሪዮጀኒክ ኢቺንግ ዋፈርን በጥልቅ-ክሪዮጀኒክ የሙቀት መጠን መጠበቅን ይጠይቃል
* የሌዘር ሲስተሞች የሌዘር ምንጩን በጠባብ፣ በክፍል አቅራቢያ ባለው የሙቀት መጠን የመስሪያ መስኮት ውስጥ ማቆየት ያስፈልጋቸዋል
ሁለቱም ሂደቶች ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት ያስፈልጋቸዋል።
የተረጋጋ የሌዘር ውፅዓት ኃይል፣ የጨረር ጥራት እና የረጅም ጊዜ የማቀነባበሪያ ወጥነት ለማረጋገጥ፣ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸው የሌዘር ውሃ ማቀዝቀዣዎች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ። እጅግ በጣም ፈጣን በሆነ የሌዘር አፕሊኬሽኖች ውስጥ፣ የሙቀት መቆጣጠሪያ ትክክለኛነት ±0.1 °ሴ ወይም ከዚያ በላይ (እንደ ±0.08 °ሴ) ብዙ ጊዜ ያስፈልጋል።

በእውነተኛ የኢንዱስትሪ እና የምርምር አካባቢዎች፣ እንደ TEYU CWUP-20 PRO እጅግ በጣም ፈጣን የሌዘር ማቀዝቀዣ ፣ ±0.08 °C የሙቀት መረጋጋት ያላቸው፣ በረጅም ጊዜ ስራ ወቅት አስተማማኝ የሙቀት መቆጣጠሪያ ይሰጣሉ። ከክሪዮጀኒክ የመቅረጽ ስርዓቶች ጋር፣ እነዚህ ትክክለኛ የማቀዝቀዣዎች ለማይክሮ እና ናኖ-ልኬት ማምረቻ የተሟላ እና የተቀናጀ የሙቀት አስተዳደር ማዕቀፍ ይፈጥራሉ።

የተለመዱ አፕሊኬሽኖች
* ክሪዮጀኒክ ኢቺንግ በስፋት በሚከተሉት ቦታዎች ይተገበራል፡
* ጥልቅ ምላሽ ሰጪ አዮን ኢቺንግ (DRIE)
* የፎቶኒክ ቺፕ መዋቅር ማምረቻ
* የMEMS መሳሪያዎችን ማምረት
* የማይክሮፍሉይድ ቻናል ማቀነባበሪያ
* ትክክለኛ የኦፕቲካል መዋቅሮች
* በምርምር መድረኮች ላይ ናኖፋብሪኬሽን
እነዚህ አፕሊኬሽኖች በሙሉ የጎን ግድግዳ አቀባዊነት፣ የወለል ለስላሳነት እና የሂደቱን ወጥነት በተመለከተ ጥብቅ ቁጥጥር ያስፈልጋቸዋል።

መደምደሚያ
ክሪዮጀኒክ ኢቺንግ የሙቀት መጠኑን ዝቅ ማድረግ ብቻ አይደለም። ከባህላዊ የኢቺንግ ሂደቶች ገደብ በላይ ትክክለኛነትን እና ወጥነትን የሚያስገኙ የተረጋጋ፣ በጥልቀት ቁጥጥር የሚደረግበት የሙቀት ሁኔታዎችን ማግኘት ነው። ሴሚኮንዳክተር፣ ፎቶኒክ እና ናኖማኑፋክቸሪንግ ቴክኖሎጂዎች መስፋፋታቸውን ሲቀጥሉ፣ ክሪዮጀኒክ ኢቺንግ የማይፈለግ ዋና ሂደት እየሆነ መጥቷል፣ እና አስተማማኝ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓቶች በሙሉ አቅሙ እንዲሠራ የሚያስችላቸው መሠረት ሆነው ይቀጥላሉ።