ڪرائيوجينڪ ايچنگ وڌيڪ صحيح ۽ ڪنٽرول لائق مواد پروسيسنگ کي فعال بڻائي ٿي

جيئن ته ترقي يافته پيداوار وڌيڪ درستگي، سخت عمل ڪنٽرول، ۽ وسيع مواد جي مطابقت ڏانهن اڳتي وڌي رهي آهي، ايچنگ ٽيڪنالاجيون ان مطابق ترقي ڪري رهيون آهن. ڪرائوجينڪ ايچنگ، چيمبر ۽ سبسٽريٽ جي گرمي پد جي صحيح ڪنٽرول ذريعي، نانو ميٽر پيماني تي به مستحڪم ۽ ورجائيندڙ پروسيسنگ کي قابل بڻائي ٿي. اهو سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، فوٽونڪ ڊوائيس جي ٺهڻ، MEMS پيداوار، ۽ سائنسي تحقيق پليٽ فارمن ۾ هڪ اهم عمل بڻجي چڪو آهي.

ڪرائيوجينڪ ايچنگ ڇا آهي؟
ڪرائوجينڪ ايچنگ هڪ پلازما تي ٻڌل ايچنگ عمل آهي جيڪو انتهائي گهٽ درجه حرارت تي ڪيو ويندو آهي، عام طور تي -80 °C کان -150 °C يا گهٽ تائين. عمل دوران، سبسٽريٽ کي هڪ مستحڪم ڊيپ-ڪرائوجينڪ گرمي پد تي برقرار رکيو ويندو آهي، جيڪو رد عمل جي ضمني شين کي مواد جي مٿاڇري تي هڪ ڪنٽرول ٿيل پاسيويشن پرت ٺاهڻ جي اجازت ڏئي ٿو. هي ميڪانيزم خاص طور تي ايچنگ جي درستگي ۽ عمل جي ڪنٽرولبلٽي کي بهتر بڻائي ٿو.

اهم ميڪانيزم ۾ شامل آهن:
* دٻايل ليٽرل ايچنگ: بهتر ٿيل سائيڊ وال پيسيويشن سڌو ۽ وڌيڪ عمودي پروفائل پيدا ڪري ٿو.
* بهتر رد عمل جي هڪجهڙائي: گهٽ درجه حرارت رد عمل جي شرح جي اتار چڙهاؤ کي گهٽائي ٿو، ساخت جي استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو.
* اعليٰ سطحي معيار: گھٽ ٿيل مٿاڇري جي خرابي اعليٰ ڪارڪردگي واري آپٽيڪل ۽ حساس اليڪٽرانڪ ڊوائيسز کي سپورٽ ڪري ٿي.

ڪرائيوجينڪ ايچنگ جا اهم فائدا
1. اعليٰ اسپيڪٽ ريشو جي صلاحيت
ڪرائوجينڪ ايچنگ عمودي سائيڊ والز سان انتهائي اعليٰ اسپيڪٽ ريشوز کي فعال بڻائي ٿي، جيڪا ان کي ڊيپ سلڪون ايچنگ، مائڪرو چينلز، ۽ پيچيده MEMS ڍانچي لاءِ مثالي بڻائي ٿي.

2. بهترين عمل جي تسلسل ۽ ورجائي جي صلاحيت
ڊيپ ڪرائيوجينڪ گرمي پد ڪنٽرول ايچ جي شرح کي مستحڪم ڪري ٿو، پيداواري ماحول جي حمايت ڪري ٿو جيڪي سخت بيچ-ٽو-بيچ مستقل مزاجي جي ضرورت رکن ٿا.

3. وسيع مواد جي مطابقت
ڪرائيوجينڪ ايچنگ مختلف قسم جي مواد لاءِ موزون آهي، جنهن ۾ شامل آهن:
* سليڪون
* آڪسائيڊس
* نائٽرائڊ
* چونڊيل پوليمر
* فوٽونڪ مواد جهڙوڪ ليٿيم نائوبيٽ (LiNbO₃)

4. مٿاڇري جو نقصان گھٽجي ويو
لوئر آئن بمباري خرابي جي ٺهڻ کي گھٽ ڪري ٿي، جيڪا عمل کي آپٽيڪل حصن، انفراريڊ ڊيڪٽرن، ۽ اعليٰ حساسيت واري مائڪرو اسٽرڪچر لاءِ مناسب بڻائي ٿي.

ڪرائيوجينڪ ايچنگ سسٽم جا بنيادي جزا
هڪ عام ڪرائيوجينڪ ايچنگ سسٽم تي مشتمل آهي:
* مستحڪم الٽرا-لو-ٽيمپريچر آپريشن لاءِ ڪرائيوجينڪ چيمبر ۽ ٿڌي اليڪٽرروڊ اسٽيج
* پلازما ذريعو (RF / ICP) اعليٰ کثافت واري رد عمل واري نسل پيدا ڪرڻ لاءِ
* مستحڪم عمل ونڊو برقرار رکڻ لاءِ گرمي پد ڪنٽرول سسٽم (ٿڌو سامان)
* گيس پهچائڻ جو نظام، سپورٽ ڪندڙ گيس جهڙوڪ SF₆ ۽ O₂
* بند ٿيل لوپ ڪنٽرول سسٽم گرمي پد، دٻاءُ، بجلي ۽ گئس جي وهڪري کي هم آهنگ ڪري ٿو.
انهن مان، گرمي پد ڪنٽرول ڪارڪردگي ڊگهي مدت جي عمل جي استحڪام ۽ ورجائي جي قابليت جو تعين ڪرڻ وارو اهم عنصر آهي.

مائڪرو ۽ نانو فيبريڪيشن جي عملن ۾ حرارتي هم آهنگي
عملي مائڪرو ۽ نانو فيبريڪيشن ورڪ فلو ۾، ڪرائيوجينڪ ايچنگ سسٽم اڪثر ڪري ليزر مائڪرو مشيننگ سسٽم سان گڏ استعمال ڪيا ويندا آهن. عام ايپليڪيشنن ۾ گلاس ذريعي فارميشن، فوٽونڪ ڊيوائس فيبريڪيشن، ۽ ويفر مارڪنگ شامل آهن.

جڏهن ته انهن جا حرارتي مقصد مختلف آهن:
* ڪرائيوجينڪ ايچنگ لاءِ ويفر کي ڊيپ ڪرائيوجينڪ گرمي پد تي برقرار رکڻ جي ضرورت آهي.
* ليزر سسٽم لاءِ ليزر سورس کي هڪ تنگ، ڪمري جي ويجهو گرمي پد واري آپريٽنگ ونڊو اندر رکڻ جي ضرورت آهي.
ٻئي عمل غير معمولي گرمي پد جي استحڪام جي ضرورت رکن ٿا.
مستحڪم ليزر آئوٽ پُٽ پاور، بيم جي معيار، ۽ ڊگهي مدت جي پروسيسنگ تسلسل کي يقيني بڻائڻ لاءِ، اعليٰ درستگي وارا ليزر واٽر چيلر عام طور تي استعمال ڪيا ويندا آهن. الٽرا فاسٽ ليزر ايپليڪيشنن ۾، ±0.1 °C يا ان کان بهتر (جهڙوڪ ±0.08 °C) جي گرمي پد ڪنٽرول جي درستگي اڪثر گهربل هوندي آهي.

حقيقي صنعتي ۽ تحقيقي ماحول ۾، مسلسل گرمي پد وارا چلر جهڙوڪ TEYU CWUP-20 PRO الٽرا فاسٽ ليزر چلر ، ±0.08 °C جي درجه حرارت جي استحڪام سان، ڊگهي عرصي جي آپريشن دوران قابل اعتماد حرارتي ڪنٽرول فراهم ڪن ٿا. ڪرائيوجينڪ ايچنگ سسٽم سان گڏ، اهي درست چلر مائڪرو ۽ نانو اسڪيل پيداوار لاءِ هڪ مڪمل ۽ مربوط حرارتي انتظام فريم ورڪ ٺاهيندا آهن.

عام ايپليڪيشنون
* ڪرائيوجينڪ ايچنگ وڏي پيماني تي لاڳو ٿئي ٿي:
* ڊيپ ري ايڪٽو آئن ايچنگ (DRIE)
* فوٽونڪ چپ جي جوڙجڪ جي تعمير
* ايم اي ايم ايس ڊوائيسز جي پيداوار
* مائڪرو فلائيڊڪ چينل پروسيسنگ
* درست بصري جوڙجڪ
* ريسرچ پليٽ فارمن تي نانو فيبريڪيشن
انهن سڀني ايپليڪيشنن کي سائڊ وال جي عمودي، مٿاڇري جي همواري، ۽ عمل جي تسلسل تي سخت ڪنٽرول جي ضرورت آهي.

ٿڪل
ڪرائوجينڪ ايچنگ صرف گرمي پد کي گهٽائڻ بابت ناهي. اهو مستحڪم، گهري ڪنٽرول ٿيل حرارتي حالتن کي حاصل ڪرڻ بابت آهي جيڪي روايتي ايچنگ عملن جي حدن کان ٻاهر درستگي ۽ مستقل مزاجي جي سطح کي فعال ڪن ٿا. جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر، فوٽونڪ، ۽ نانو ٺاهڻ واريون ٽيڪنالاجيون اڳتي وڌنديون رهن ٿيون، ڪرائوجينڪ ايچنگ هڪ لازمي بنيادي عمل بڻجي رهيو آهي، ۽ قابل اعتماد درجه حرارت ڪنٽرول سسٽم بنياد آهن جيڪي ان کي پنهنجي مڪمل صلاحيت تي ڪم ڪرڻ جي اجازت ڏين ٿا.