کریوجینک ایچنګ د موادو ډیر دقیق او کنټرول وړ پروسس فعالوي

لکه څنګه چې پرمختللې تولیدات د لوړ دقت، سخت پروسې کنټرول، او پراخو موادو مطابقت په لور هڅوي، د ایچنګ ټیکنالوژۍ په مطابق وده کوي. کریوجینک ایچنګ، د چیمبر او سبسټریټ تودوخې دقیق کنټرول له لارې، حتی په نانومیټر پیمانه کې باثباته او تکرار وړ پروسس فعالوي. دا د سیمیکمډکټر تولید، فوټونیک وسیلو جوړولو، MEMS تولید، او ساینسي څیړنیزو پلیټ فارمونو کې یوه مهمه پروسه ګرځیدلې ده.

کریوجینک ایچنګ څه شی دی؟
کریوجینک ایچنګ د پلازما پر بنسټ ایچنګ پروسه ده چې په خورا ټیټه تودوخه کې ترسره کیږي، معمولا د -80 °C څخه تر -150 °C یا ټیټ پورې. د پروسې په جریان کې، سبسټریټ په یو مستحکم ژور کریوجینک تودوخې کې ساتل کیږي، چې د عکس العمل فرعي محصولاتو ته اجازه ورکوي چې د موادو په سطحه د کنټرول شوي غیر فعال طبقه جوړه کړي. دا میکانیزم د پام وړ د ایچنګ دقیقیت او د پروسې کنټرول وړتیا ښه کوي.

کلیدي میکانیزمونه عبارت دي له:
* د اړخ ایچنګ فشارول: د اړخ دیوال ښه غیر فعال کول مستقیم او ډیر عمودی پروفایلونه تولیدوي.
* د غبرګون یوشانوالی ښه شوی: ټیټه تودوخه د غبرګون د کچې بدلونونه کموي، جوړښتي ثبات ښه کوي.
* د سطحې غوره کیفیت: د سطحې کم شوی ناهمواروالی د لوړ فعالیت نظري او حساس بریښنایی وسیلو ملاتړ کوي.

د کریوجینک ایچنګ کلیدي ګټې
۱. د لوړ اړخ تناسب وړتیا
کریوجینک ایچنګ د عمودی اړخ دیوالونو سره خورا لوړ اړخ تناسب فعالوي، دا د ژور سیلیکون ایچنګ، مایکرو چینلونو، او پیچلي MEMS جوړښتونو لپاره مثالی کوي.

2. د پروسې غوره تسلسل او تکرار وړتیا
د کرایوجینک تودوخې ژور کنټرول د ایچ نرخونه ثبات کوي، د تولید چاپیریال ملاتړ کوي چې د بیچ څخه بیچ سخت ثبات ته اړتیا لري.

3. د موادو پراخه مطابقت
کریوجینک ایچنګ د مختلفو موادو لپاره مناسب دی، په شمول د:
* سیلیکون
* اکسایډونه
* نایټرایډونه
* غوره شوي پولیمرونه
* فوتونیک مواد لکه لیتیم نایوبیټ (LiNbO₃)

۴. د سطحې زیان کم شوی
د ټیټ ایون بمباري د عیبونو جوړښت کموي، دا پروسه د نظري اجزاو، انفراریډ کشف کونکو، او لوړ حساسیت مایکرو جوړښتونو لپاره ښه مناسبه کوي.

د کریوجینک ایچنګ سیسټم اصلي برخې
د کرایوجینک ایچنګ یو عادي سیسټم عبارت دي له:
* د کریوجینک چیمبر او یخ شوي الکترود مرحله د خورا ټیټ تودوخې مستحکم عملیاتو لپاره
* د پلازما سرچینه (RF / ICP) د لوړ کثافت غبرګون لرونکي ډولونه تولیدوي
* د تودوخې کنټرول سیسټم (د یخولو تجهیزات) ترڅو د پروسې یو باثباته کړکۍ وساتي
* د ګاز رسولو سیسټم، د ګازونو ملاتړ کوي لکه SF₆ او O₂
* د تړل شوي حلقې کنټرول سیسټم چې د تودوخې، فشار، بریښنا او ګاز جریان همغږي کوي
د دې په منځ کې، د تودوخې کنټرول فعالیت هغه مهم فاکتور دی چې د اوږدې مودې پروسې ثبات او تکرار وړتیا ټاکي.

د مایکرو او نانو جوړولو پروسو کې د تودوخې همغږي
په عملي مایکرو او نانو-فابریکیشن کاري فلو کې، د کریوجینک ایچنګ سیسټمونه ډیری وختونه د لیزر مایکرو ماشینینګ سیسټمونو سره یوځای کارول کیږي. عادي غوښتنلیکونه د شیشې له لارې د جوړښت، د فوټونیک وسیلې جوړول، او د ویفر نښه کول شامل دي.

پداسې حال کې چې د دوی حرارتي اهداف توپیر لري:
* د کریوجینک ایچینګ لپاره د ویفر ساتل په ژور کریوجینک تودوخې کې اړین دي.
* د لیزر سیسټمونو لپاره د لیزر سرچینه د یوې تنګ، نږدې خونې تودوخې عملیاتي کړکۍ کې ساتل اړین دي
دواړه پروسې د تودوخې استثنایی ثبات ته اړتیا لري.
د لیزر د تولید د باثباته ځواک، د بیم کیفیت، او د اوږدې مودې پروسس کولو ثبات ډاډمن کولو لپاره، د لوړ دقیق لیزر د اوبو چلرونه معمولا کارول کیږي. په الټرا فاسټ لیزر غوښتنلیکونو کې، د تودوخې کنټرول دقت ±0.1 °C یا غوره (لکه ±0.08 °C) ډیری وختونه اړین وي.

په ریښتیني صنعتي او څیړنیزو چاپیریالونو کې، د TEYU CWUP-20 PRO الټرا فاسټ لیزر چیلر په څیر دوامداره تودوخې چلونکي، د ±0.08 °C تودوخې ثبات سره، د اوږدې مودې عملیاتو په جریان کې د اعتبار وړ حرارتي کنټرول چمتو کوي. د کریوجینک ایچینګ سیسټمونو سره یوځای، دا دقیق چلونکي د مایکرو او نانو پیمانه تولید لپاره بشپړ او همغږي حرارتي مدیریت چوکاټ جوړوي.

عادي غوښتنلیکونه
* کریوجینک ایچنګ په پراخه کچه په لاندې برخو کې کارول کیږي:
* ژور غبرګوني ایون ایچنګ (DRIE)
* د فوتونیک چپ جوړښت جوړول
* د MEMS وسایلو تولید
* د مایکرو فلویډیک چینل پروسس کول
* دقیق نظري جوړښتونه
* د څیړنې په پلیټ فارمونو کې نانوفابریکیشن
دا ټول غوښتنلیکونه د اړخ دیوال عمودیتوب، د سطحې نرموالي، او د پروسې ثبات باندې سخت کنټرول ته اړتیا لري.

پایله
د کریوجینک ایچنګ یوازې د تودوخې کمولو په اړه ندي. دا د باثباته، ژور کنټرول شوي تودوخې شرایطو ترلاسه کولو په اړه ده چې د دودیز ایچنګ پروسو له حدودو هاخوا دقت او ثبات کچه ​​فعالوي. لکه څنګه چې سیمیکمډکټر، فوټونیک، او نانو تولیدي ټیکنالوژي پرمختګ ته دوام ورکوي، کریوجینک ایچنګ یو لازمي اصلي پروسه کیږي، او د تودوخې د کنټرول باوري سیسټمونه هغه بنسټ پاتې کیږي چې دا ته اجازه ورکوي چې په خپل بشپړ ظرفیت کې فعالیت وکړي.