Ịkpụcha ihe e ji eme ihe n'ụzọ dị mfe na nke a na-achịkwa nke ọma

Ka mmepụta ihe dị elu na-aga n'ihu na-aga n'ihu na-aga n'ihu na nhazi dị elu, njikwa usoro siri ike, na nkwekọ sara mbara nke ihe, teknụzụ etching na-agbanwe agbanwe dịka o kwesịrị. Cryogenic Etching, site na njikwa ziri ezi nke okpomọkụ ụlọ na substrate, na-enye ohere nhazi kwụsiri ike na nke a na-emegharị emegharị ọbụlagodi na nha nanometer. Ọ aghọọla usoro dị oke mkpa na mmepụta semiconductor, mmepụta ngwaọrụ photonic, mmepụta MEMS, na nyiwe nyocha sayensị.

Gịnị bụ Cryogenic etching?
Ịkpụcha ihe e ji eme ka ihe dị nro bụ usoro e ji eme ka ihe dị n'ime plasma na-arụ n'okpomọkụ dị oke ala, nke na-abụkarị site na -80 °C ruo -150 °C ma ọ bụ karịa. N'oge usoro a, a na-edobe ihe e ji mee ihe n'okpomọkụ dị omimi nke na-eme ka ihe dị n'ime ya dịgide, na-enye ohere ka ihe ndị na-esi na ya apụta mepụta oyi akwa passivation a na-achịkwa n'elu ihe ahụ. Usoro a na-eme ka nhazi ihe e ji eme ka ihe dị nro na njikwa usoro dịkwuo mma.

Usoro ndị dị mkpa gụnyere:
* Mkpọchi akụkụ nke a na-ebelata: Mkpọchi akụkụ akụkụ nke a na-eme ka ọ dị mfe imepụta profaịlụ kwụ ọtọ karịa.
* Mmeghachi omume ka mma: Okpomọkụ dị ala na-ebelata mgbanwe ọnụego mmeghachi omume, na-eme ka nkwụsi ike nhazi dịkwuo mma.
* Ogo elu dị elu: Mbelata oke elu na-akwado ngwaọrụ eletrọniki dị elu na nke nwere mmetụta dị nro.

Uru dị mkpa nke Cryogenic Etching
1. Ike Oke Akụkụ Dị Elu
Ịkpụcha ihe e ji eme ihe n'ụzọ dị nro na-eme ka akụkụ dị elu nke ukwuu na akụkụ ndị dị n'akụkụ kwụ ọtọ, na-eme ka ọ dị mma maka ịkpụcha ihe e ji eme ihe n'ụzọ dị omimi nke silicon, obere ọwa, na usoro MEMS dị mgbagwoju anya.

2. Usoro dị mma na nhazigharị
Njikwa okpomọkụ dị omimi nke cryogenic na-eme ka ọnụego etch sie ike, na-akwado gburugburu mmepụta nke chọrọ nhazi siri ike nke otu otu ruo otu otu.

3. Ndakọrịta Ihe Dị Ukwuu
Ịkpụcha ihe mkpuchi cryogenic dị mma maka ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere:
* Silikọn
* Oxides
* Nitrides
* Polima ahọpụtara
* Ihe dị ka lithium niobate (LiNbO₃)

4. Mbelata mmebi elu
Mkpọda ion dị ala na-ebelata mmebi ahụ, na-eme ka usoro ahụ dabara adaba maka akụkụ anya, ihe nchọpụta infrared, na obere ihe owuwu nwere mmetụta dị elu.

Isi Ihe Dị na Sistemụ Ịkpụcha Ihe Nkịtị
Sistemụ etching cryogenic nkịtị nwere:
* Ụlọ Cryogenic na ogbo electrode jụrụ oyi maka ọrụ okpomọkụ dị ala nke kwụsiri ike
* Isi iyi plasma (RF / ICP) iji mepụta ụdị mmeghachi omume dị elu
* Sistemụ njikwa okpomọkụ (ngwaọrụ oyi) iji nọgide na-enwe windo usoro kwụsiri ike
* Sistemụ nnyefe gas, gas ndị na-akwado ya dịka SF₆ na O₂
* Sistemụ njikwa mechiri emechi na-ahazi okpomọkụ, nrụgide, ike, na gas na-asọfe
N'ime ihe ndị a, arụmọrụ njikwa okpomọkụ bụ isi ihe na-ekpebi nkwụsi ike usoro ogologo oge na imeghachi ya.

Nhazi Okpomọkụ na Usoro Mmepụta Obere na Nano
N'ọrụ ọrụ micro- na nano-fabrication bara uru, a na-ejikarị usoro etching cryogenic yana sistemụ laser micromachining. A na-ejikarị ya eme ihe dịka iko site na nhazi, imepụta ngwaọrụ photonic, na akara wafer.

Ọ bụ ezie na ebumnuche okpomọkụ ha dị iche:
* Ịkpụcha ihe mkpuchi Cryogenic chọrọ idobe wafer ahụ n'ọnọdụ okpomọkụ dị omimi nke na-eme ka ọ dị jụụ
* Sistemụ laser chọrọ idobe isi iyi laser n'ime windo ọrụ dị warara, nke dị nso n'ime ụlọ okpomọkụ.
Usoro abụọ a chọrọ ezigbo ọnọdụ okpomọkụ.
Iji hụ na ike mmepụta laser kwụsiri ike, ịdị mma nke ìhè, na nhazi ogologo oge, a na-ejikarị igwe oyi mmiri laser nke nwere ezigbo nkọwa. N'ọrụ laser dị oke ọsọ, a na-achọkarị izi ezi nke ±0.1 °C ma ọ bụ karịa (dịka ±0.08 °C).

N'ebe obibi ụlọ ọrụ mmepụta ihe na nyocha, igwe oyi na-agbanwe agbanwe dịka igwe oyi na-agbanwe agbanwe nke TEYU CWUP-20 PRO, nke nwere ±0.08 °C, na-enye njikwa okpomọkụ a pụrụ ịdabere na ya n'oge ọrụ ogologo oge. Tinyere sistemụ etching cryogenic, igwe oyi a na-ahazi nke ọma na-emepụta usoro njikwa okpomọkụ zuru oke ma hazie maka mmepụta obere na obere nha.

Ngwa Ndị A Na-ahụkarị
* A na-ejikarị etching cryogenic eme ihe n'ọtụtụ ebe:
* Ịkụcha ion miri emi (DRIE)
* Mmepụta usoro nhazi nke photonic
* Mmepụta ngwaọrụ MEMS
* Nhazi ọwa Microfluidic
* Nhazi anya nkenke
* Nanofabrication na nyiwe nyocha
Ngwa ndị a niile chọrọ njikwa siri ike n'elu akụkụ mgbidi, ịdị ire ụtọ nke elu, na nhazi usoro.

Mmechi
Ịkpụcha ihe e ji eme ka okpomọkụ ghara ịdị mma bụ naanị iwetulata okpomọkụ. Ọ bụ maka inweta ọnọdụ okpomọkụ kwụsiri ike, nke a na-achịkwa nke ọma nke na-eme ka o kwe omume ịdị mma na nguzozi karịa oke usoro ịkpụcha ihe e ji eme ihe. Ka teknụzụ semiconductor, photonic, na nanomacufacturing na-aga n'ihu na-aga n'ihu, ịkpụcha ihe e ji eme ka okpomọkụ ghara ịdị mma na-aghọ usoro dị mkpa, sistemụ njikwa okpomọkụ a pụrụ ịtụkwasị obi ka bụ ntọala nke na-enye ya ohere ịrụ ọrụ n'ike ya niile.