Qaylinta Cryogenic waxay awood u siineysaa habaynta walxaha si sax ah oo la xakameyn karo

Maadaama wax soo saarku uu sii wado inuu u dhaqaaqo saxnaan sare, xakamaynta habka oo adag, iyo iswaafajinta walxaha oo ballaaran, teknoolojiyada wax lagu qoro ayaa si waafaqsan u kobcaya. Cryogenic Etching, iyada oo loo marayo xakamaynta saxda ah ee heerkulka qolka iyo substrate-ka, waxay suurtogal ka dhigaysaa habayn deggan oo la soo celin karo xitaa miisaanka nanometer-ka. Waxay noqotay geeddi-socod muhiim ah oo ku saabsan wax-soo-saarka semiconductor-ka, soo saarista qalabka photonic-ka, wax-soo-saarka MEMS, iyo goobaha cilmi-baarista sayniska.

Waa maxay qalooca 'Cryogenic Etching'?
Qallajinta Cryogenic waa hab qallajin ku salaysan balaasma oo lagu sameeyo heerkul aad u hooseeya, oo caadi ahaan u dhexeeya -80 °C ilaa -150 °C ama ka hooseeya. Inta lagu jiro habka, substrate-ka waxaa lagu hayaa heerkul deggan oo qoto dheer oo cryogenic ah, taasoo u oggolaanaysa wax soo saarka falcelinta inay sameeyaan lakab la xakameeyey oo ku yaal dusha sare ee maaddada. Habkani wuxuu si weyn u hagaajiyaa saxnaanta qallajinta iyo xakamaynta habka.

Hababka muhiimka ah waxaa ka mid ah:
* Qaylo-dhaan dhinaca ah oo la yareeyay: Nadaafadda dhinaca ee la xoojiyay waxay soo saartaa astaamo toosan oo toosan.
* Isku mid ahaanshaha falcelinta oo la hagaajiyay: Heerkulka hoose wuxuu yareeyaa isbeddellada heerka falcelinta, isagoo hagaajinaya xasilloonida qaab-dhismeedka.
* Tayada dusha sare ee sare: Hoos u dhaca qallafsanaanta dusha sare waxay taageertaa aaladaha elektaroonigga ah ee indhaha iyo kuwa xasaasiga ah ee waxqabadka sare leh.

Faa'iidooyinka Muhiimka ah ee Qallajinta Cryogenic
1. Awoodda Saamiga Dhinaca Sare
Qaylinta cryogenic waxay suurtogal ka dhigaysaa saamiga muuqaalka aadka u sarreeya iyadoo la adeegsanayo dhinacyada dhinaca toosan, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon qodista qoto dheer ee silicon, kanaalada yaryar, iyo qaab-dhismeedka MEMS ee adag.

2. Hab-raaca oo aad u wanaagsan iyo ku celcelin
Xakamaynta heerkulka qoto dheer ee cryogenic waxay dejisaa heerarka etch-ka, iyadoo taageerta jawiga wax soo saarka ee u baahan isku dheelitirnaan adag oo dufcad-ilaa-dufcad ah.

3. Iswaafajinta Walxaha Ballaaran
Qallajinta cryogenic waxay ku habboon tahay agabyo kala duwan, oo ay ku jiraan:
* Silikoon
* Oksaydh
* Nitrides
* Polymers la xushay
* Maaddooyinka photonic sida lithium niobate (LiNbO₃)

4. Khasaaraha Dusha Sare oo La Yareeyay
Duufaanta ion-ka ee hoose waxay yareysaa sameynta cilladaha, taasoo ka dhigaysa habka mid ku habboon qaybaha indhaha, dareemayaasha infrared-ka, iyo qaab-dhismeedka yar yar ee xasaasiga badan.

Qaybaha Muhiimka ah ee Nidaamka Qallajinta Cryogenic
Nidaamka caadiga ah ee etching cryogenic wuxuu ka kooban yahay:
* Qolka Cryogenic iyo marxaladda elektroodka qaboojinta si loogu shaqeeyo heerkul aad u hooseeya oo deggan
* Isha Plasma (RF / ICP) si loo soo saaro noocyo falcelin oo cufnaan sare leh
* Nidaamka xakamaynta heerkulka (qalabka qaboojinta) si loo ilaaliyo daaqad nidaamsan oo deggan
* Nidaamka gaarsiinta gaaska, gaasaska taageerada sida SF₆ iyo O₂
* Nidaamka xakamaynta wareegga xiran ee isku dubaridka heerkulka, cadaadiska, korontada, iyo socodka gaaska
Kuwaas waxaa ka mid ah, waxqabadka xakamaynta heerkulka ayaa ah qodobka ugu muhiimsan ee go'aaminaya xasilloonida habka muddada dheer iyo ku celcelinta.

Isuduwidda Kulaylka ee Geeddi-socodka Warshadaha Yaryar iyo Nano-ka
Shaqooyinka wax ku oolka ah ee micro- iyo nano-fabrication, nidaamyada etching cryogenic waxaa badanaa loo isticmaalaa iyadoo lala kaashanayo nidaamyada micromachining laser. Codsiyada caadiga ah waxaa ka mid ah galaaska iyada oo loo marayo sameynta, sameynta qalabka photonic, iyo calaamadaynta wafer.

In kasta oo yoolalkooda kulaylka ay kala duwan yihiin:
* Qallajinta qashinka ee cryogenic waxay u baahan tahay in la ilaaliyo heerkulka qoto dheer ee cryogenic-ka ah
* Nidaamyada laysarka waxay u baahan yihiin in isha laysarka lagu hayo daaqad yar oo heerkulka qolka u dhow oo cidhiidhi ah.
Labada habba waxay u baahan yihiin xasillooni heerkul oo heer sare ah.
Si loo hubiyo awoodda wax soo saarka laysarka oo deggan, tayada iftiinka, iyo isku dheelitirnaanta habaynta muddada dheer, qaboojiyeyaasha biyaha laysarka ee saxsan ayaa badanaa la isticmaalaa. Codsiyada laysarka aadka u dhaqsaha badan, saxnaanta xakamaynta heerkulka ee ±0.1 °C ama ka wanaagsan (sida ±0.08 °C) ayaa badanaa loo baahan yahay.

Deegaannada warshadaha iyo cilmi-baarista dhabta ah, qaboojiyaha heerkulka joogtada ah sida qaboojiyaha laser-ka ee TEYU CWUP-20 PRO oo aad u dhakhso badan , oo leh xasillooni heerkul ± 0.08 °C ah, waxay bixiyaan xakameyn kuleyl oo la isku halleyn karo inta lagu jiro hawlgalka muddada dheer. Iyada oo ay weheliso nidaamyada qurxinta ee cryogenic, qaboojiyahan saxda ah waxay sameeyaan qaab-dhismeed maareyn kuleyl oo dhammaystiran oo isku xiran oo loogu talagalay wax soo saarka micro- iyo nano-scale.

Codsiyada Caadiga ah
* Qallajinta cryogenic waxaa si ballaaran loogu adeegsadaa:
* Qallajinta qoto dheer ee ion-ka (DRIE)
* Dhismaha qaab-dhismeedka jajabka sawirka
* Soo saarista qalabka MEMS
* Habaynta kanaalka Microfluidic
* Qaab-dhismeedka indhaha ee saxda ah
* Nano-abuurka goobaha cilmi-baarista
Codsiyadani dhammaantood waxay u baahan yihiin xakameyn adag oo ku saabsan toosanka dhinaca, simanaanta dusha sare, iyo isku dheelitirnaanta habka.

Gunaanad
Qalin-jabinta cryogenic kaliya maaha hoos u dhigista heerkulka. Waa ku saabsan gaaritaanka xaaladaha kulaylka ee deggan, ee si qoto dheer loo xakameeyey kuwaas oo suurtogalinaya heer sax ah iyo isku-xirnaan ka baxsan xadka hababka qalin-jabinta caadiga ah. Maadaama tiknoolajiyada semiconductor, photonic, iyo nanomafacturing ay sii socdaan horumar, qalin-jabinta cryogenic waxay noqonaysaa hab muhiim ah oo aan laga maarmi karin, nidaamyada xakamaynta heerkulka ee la isku halleyn karona waa aasaaska u oggolaanaya inay ku shaqeyso awooddeeda buuxda.