Ìfọ́nrán Cryogenic mú kí ṣíṣe àwọn ohun èlò tó péye àti èyí tó ṣeé ṣàkóso ṣeé ṣe.

Bí iṣẹ́ ẹ̀rọ tó ti ń tẹ̀síwájú láti tẹ̀síwájú sí ìṣedéédé tó ga jùlọ, ìṣàkóso iṣẹ́ tó lágbára, àti ìbáramu ohun èlò tó gbòòrò sí i, àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ ń yí padà ní ìbámu pẹ̀lú rẹ̀. Cryogenic Etching, nípasẹ̀ ìṣàkóso ìwọ̀n otútù yàrá àti substrate, mú kí iṣẹ́ ṣíṣe dúró ṣinṣin àti èyí tó ṣeé tún ṣe kódà ní ìwọ̀n nanometer. Ó ti di ìlànà pàtàkì nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ semiconductor, iṣẹ́ ẹ̀rọ photonic, iṣẹ́ MEMS, àti àwọn ìwádìí sáyẹ́ǹsì.

Kí ni ìfọ́mọ́ra Cryogenic?
Ìtẹ̀jáde Cryogenic jẹ́ ìlànà ìtẹ̀jáde tí a fi plasma ṣe ní àwọn iwọ̀n otútù tí ó lọ sílẹ̀ gidigidi, tí ó sábà máa ń wà láti –80 °C sí –150 °C tàbí sí ìsàlẹ̀. Nígbà tí a bá ń ṣe é, a máa ń pa ohun èlò ìtẹ̀jáde náà mọ́ ní iwọ̀n otútù tí ó jinlẹ̀, èyí tí ó ń jẹ́ kí àwọn àbájáde ìyípadà lè ṣẹ̀dá ìpele ìdènà tí a ṣàkóso lórí ojú ohun èlò náà. Ọ̀nà yìí ń mú kí ìtẹ̀jáde náà dára síi àti agbára ìṣàkóso iṣẹ́ náà gidigidi.

Awọn ilana pataki ni:
* Ìfọ́nká ẹ̀gbẹ́ tí a dínkù: Ìfọ́nká ẹ̀gbẹ́ tí a mú sunwọ̀n síi máa ń mú kí àwọn ìrísí títọ́ àti títọ́ pọ̀ sí i.
* Iṣọkan iṣe ti o dara si: Awọn iwọn otutu kekere dinku awọn iyipada oṣuwọn iṣe-iṣe, imudarasi iduroṣinṣin eto.
* Didara oju ilẹ ti o ga julọ: Idinku ti o ni idoti oju ilẹ ṣe atilẹyin fun awọn ẹrọ itanna opitika ti o ni agbara giga ati ti o ni imọlara.

Awọn anfani pataki ti Cryogenic Etching
1. Agbara ipin apa giga
Ìfọ́ ì ...

2. Iduroṣinṣin ilana ti o dara julọ ati atunṣe
Ìṣàkóso iwọn otutu jíjìn tí ó kún fún ìgbóná ara ń mú kí ìwọ̀n ìgbóná ara dúró ṣinṣin, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn àyíká ìṣelọ́pọ́ tí ó nílò ìṣọ̀kan tí ó pọndandan láti ìpele-sí-àkójọ.

3. Ibamu Ohun elo gbooro
Ìfọṣọ Cryogenic dara fun ọpọlọpọ awọn ohun elo, pẹlu:
* Silikoni
* Àwọn oxide
* Awọn Nitrides
* Àwọn polima tí a yàn
* Àwọn ohun èlò photonic bíi lithium niobate (LiNbO₃)

4. Dínkù ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀
Bọ́ǹbù ion tó wà ní ìsàlẹ̀ dín ìṣẹ̀dá àbùkù kù, èyí sì mú kí ìlànà náà bá àwọn èròjà opitika mu, àwọn ohun èlò ìwádìí infrared, àti àwọn ohun èlò kéékèèké tó ní ìfàmọ́ra gíga.

Àwọn Ohun Pàtàkì Nínú Ètò Ìfọ́nrán Ẹ̀rọ
Eto ìfọṣọ cryogenic ti o wọpọ ni:
* Iyẹwu Cryogenic ati ipele elekitirodu tutu fun iṣiṣẹ iwọn otutu ti o ni iduroṣinṣin pupọ-kekere
* Orisun plasma (RF / ICP) lati ṣe agbejade awọn eya ti o ni agbara-giga
* Eto iṣakoso iwọn otutu (ẹrọ itutu) lati ṣetọju window ilana iduroṣinṣin
* Ètò ìfijiṣẹ́ gaasi, tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn gaasi bíi SF₆ àti O₂
* Eto iṣakoso pipade ti n ṣakoso iwọn otutu, titẹ, agbara, ati sisan gaasi
Láàrin àwọn wọ̀nyí, iṣẹ́ ìṣàkóṣo iwọn otutu ni kókó pàtàkì tí ó ń pinnu ìdúróṣinṣin ilana ìgbà pípẹ́ àti àtúnṣe.

Ìṣọ̀kan Ooru ninu Awọn Ilana Iṣẹ́ Micro- ati Nano-Fabrication
Nínú iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ micro- àti nano-fabrication, a sábà máa ń lo àwọn ètò ìfọṣọ cryogenic pẹ̀lú àwọn ètò micromachining lésà. Àwọn ohun èlò tí a sábà máa ń lò ni gíláàsì nípasẹ̀ ìṣẹ̀dá, ṣíṣe ẹ̀rọ photonic, àti àmì wafer.

Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn ète ìgbóná wọn yàtọ̀ síra:
* Ṣíṣe ìfọṣọ cryogenic nilo mimu wafer naa duro ni awọn iwọn otutu ti o jinna-kigbe
* Awọn eto laser nilo lati tọju orisun lesa laarin ferese iṣiṣẹ ti o sunmọ iwọn otutu yara ti o sunmọ yara kan
Awọn ilana mejeeji nilo iduroṣinṣin iwọn otutu ti o tayọ.
Láti rí i dájú pé agbára ìṣẹ̀dá lésà dúró ṣinṣin, dídára ìtànṣán, àti ìṣiṣẹ́ ìgbà pípẹ́, a sábà máa ń lo àwọn ohun èlò ìtutù omi lésà tí ó péye. Nínú àwọn ohun èlò lésà tí ó yára jù, ìṣàkóṣo ìgbóná ooru ti ±0.1 °C tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ (bíi ±0.08 °C) ni a sábà máa ń nílò.

Ní àwọn agbègbè ilé-iṣẹ́ àti ìwádìí gidi, àwọn ohun èlò ìtutù tí ó dúró ṣinṣin bíi TEYU CWUP-20 PRO amúlétutù laser ultrafast , pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ìgbóná ±0.08 °C, ń pèsè ìṣàkóso ìgbóná tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé nígbà iṣẹ́ pípẹ́. Pẹ̀lú àwọn ètò ìtutù cryogenic, àwọn ohun èlò ìtutù tí ó péye wọ̀nyí ń ṣe ètò ìṣàkóso ìgbóná tí ó péye tí a sì ṣètò fún iṣẹ́ ṣíṣe micro- àti nano-scale.

Awọn Ohun elo Aṣoju
* A lo ìfọ́nrán Cryogenic ní gbogbogbòò ní:
* Ìfilọ́lẹ̀ ion oníṣẹ́ jìn (DRIE)
* Ṣíṣe ẹ̀rọ ìṣètò fọ́tòníkì
* Iṣelọpọ ẹrọ MEMS
* Ṣiṣẹda ikanni Microfluidic
* Awọn ẹya opitika ti konge
* Nanofabrication lori awọn iru ẹrọ iwadii
Gbogbo àwọn ohun èlò wọ̀nyí nílò ìṣàkóso tó lágbára lórí ìdúró ẹ̀gbẹ́, dídán ojú ilẹ̀, àti ìṣọ̀kan ilana.

Ìparí
Ìfọ́ ì ...