קריאָגעניק עטשינג ענייבאַלז מער פּינקטלעך און קאָנטראָלירבאַר מאַטעריאַל פּראַסעסינג

ווי אַוואַנסירטע פאַבריקאַציע פאָרזעצט צו שטופּן צו העכער פּינקטלעכקייט, שטרענגערע פּראָצעס קאָנטראָל, און ברייטערע מאַטעריאַל קאָמפּאַטאַבילאַטי, עטשינג טעקנאַלאַדזשיז אַנטוויקלען זיך אַקאָרדינגלי. קריאָגעניק עטשינג, דורך פּינקטלעכע קאָנטראָל פון קאַמער און סאַבסטראַט טעמפּעראַטורן, ינייבאַלז סטאַביל און ריפּיטאַבאַל פּראַסעסינג אפילו אין די נאַנאָמעטער וואָג. עס איז געוואָרן אַ קריטישער פּראָצעס אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, פאָטאָניק מיטל פאַבריקאַציע, MEMS פּראָדוקציע, און וויסנשאַפטלעכע פאָרשונג פּלאַטפאָרמעס.

וואָס איז קריאָגעניק עטשינג?
קריאָגענישע עטשינג איז אַ פּלאַזמע-באַזירטער עטשינג פּראָצעס וואָס ווערט דורכגעפירט ביי גאָר נידעריקע טעמפּעראַטורן, טיפּיש פון –80 °C ביז –150 °C אָדער נידעריקער. בעת דעם פּראָצעס ווערט דער סאַבסטראַט געהאַלטן ביי אַ סטאַבילער טיף-קריאָגענישער טעמפּעראַטור, וואָס דערמעגלעכט רעאַקציע בייפּראָדוקטן צו פאָרמירן אַ קאָנטראָלירטע פּאַסיוואַציע שיכט אויף דער מאַטעריאַל ייבערפלאַך. דער מעקאַניזם פֿאַרבעסערט באַדייטנד די עטשינג פּרעציזיע און פּראָצעס קאָנטראָלירבאַרקייט.

שליסל מעכאניזמען אַרייַננעמען:
* אונטערדריקטע לאַטעראַלע עטשינג: פֿאַרבעסערטע זײַטוואַנט פּאַסיוואַציע פּראָדוצירט גלייכערע, מער ווערטיקאַלע פּראָפֿילן.
* פֿאַרבעסערטע רעאַקציע איינהייטלעכקייט: נידעריקערע טעמפּעראַטורן רעדוצירן רעאַקציע-ראַטע פלוקטואַציעס, פֿאַרבעסערן סטרוקטורעלע פעסטקייט.
* העכערע ייבערפלאַך קוואַליטעט: רעדוצירטע ייבערפלאַך ראַפנאַס שטיצט הויך-פאָרשטעלונג אָפּטישע און סענסיטיווע עלעקטראָנישע דעוויסעס.

שליסל אַדוואַנטאַגעס פון קריאָגעניק עטשינג
1. הויך אַספּעקט פאַרהעלטעניש קייפּאַבילאַטי
קריאָגענישע עטשינג ערמעגליכט גאָר הויכע אַספּעקט פאַרהעלטענישן מיט ווערטיקאַלע זייטווענט, מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר טיף סיליקאָן עטשינג, מיקראָטשאַננעלס און קאָמפּלעקסע MEMS סטרוקטורן.

2. אויסגעצייכנטע פּראָצעס קאָנסיסטענסי און ריפּיטאַביליטי
טיף קריאָגעניק טעמפּעראַטור קאָנטראָל סטאַביליזירט עטשינג ראַטעס, שטיצן מאַנופאַקטורינג ינווייראַנמאַנץ וואָס פאָדערן שטרענגע באַטש-צו-באַטש קאָנסיסטענסי.

3. ברייטע מאַטעריאַל קאָמפּאַטאַביליטי
קריאָגענישע עטשינג איז פּאַסיק פֿאַר אַ ברייטע קייט פון מאַטעריאַלן, אַרייַנגערעכנט:
סיליקאָן
* אָקסיידן
ניטרידן
אויסגעקליבענע פּאָלימערן
פאָטאָנישע מאַטעריאַלן ווי ליטהיום ניאָבאַט (LiNbO₃)

4. פארקלענערטע אויבערפלאַך שאָדן
נידעריקערע יאָן באָמבאַרדירונג מינימיזירט דעפעקט פאָרמירונג, מאַכנדיג דעם פּראָצעס גוט פּאַסיק פֿאַר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, ינפראַרעד דעטעקטאָרן און הויך-סענסיטיוויטי מיקראָסטרוקטורן.

קערן קאָמפּאָנענטן פון אַ קריאָגעניק עטשינג סיסטעם
א טיפישע קריאגענישע עטשינג סיסטעם באשטייט פון:
* קריאָגעניק קאַמער און געקילטע עלעקטראָד בינע פֿאַר סטאַביל גאָר נידעריק-טעמפּעראַטור אָפּעראַציע
* פּלאַזמע מקור (RF / ICP) צו דזשענערירן הויך-דענסיטי רעאַקטיוו מינים
* טעמפּעראַטור קאָנטראָל סיסטעם (קילונג עקוויפּמענט) צו האַלטן אַ סטאַביל פּראָצעס פֿענצטער
* גאַז צושטעל סיסטעם, וואָס שטיצט גאַזן ווי SF₆ און O₂
* פארמאכט-לופּ קאָנטראָל סיסטעם וואָס קאָאָרדינירט טעמפּעראַטור, דרוק, מאַכט און גאַז פלוס
צווישן די, טעמפּעראַטור קאָנטראָל פאָרשטעלונג איז דער שליסל פאַקטאָר וואָס באַשטימט לאַנג-טערמין פּראָצעס פעסטקייט און ריפּיטאַביליטי.

טערמישע קאָאָרדינאַציע אין מיקראָ- און נאַנאָ-פאַבריקאַציע פּראָצעסן
אין פּראַקטישע מיקראָ- און נאַנאָ-פאַבריקאַציע וואָרקפלאָוז, ווערן קריאָגעניק עטשינג סיסטעמען אָפט געניצט צוזאַמען מיט לאַזער מיקראָמאַשינינג סיסטעמען. טיפּישע אַפּליקאַציעס אַרייַננעמען גלאָז דורך פאָרמאַציע, פאָטאָניק דעווייס פאַבריקאַציע, און וועיפער מאַרקינג.

כאָטש זייערע טערמישע צילן זענען אַנדערש:
קריאָגענישע עטשינג פארלאנגט אויפהאלטן דעם וועיפער ביי טיף-קריאָגענישע טעמפּעראַטורן
לאַזער סיסטעמען דאַרפן האַלטן די לאַזער מקור אין אַ שמאָל, כּמעט-צימער-טעמפּעראַטור אָפּערייטינג פֿענצטער
ביידע פּראָצעסן פאָדערן אויסערגעוויינלעכע טעמפּעראַטור סטאַביליטעט.
כדי צו זיכער מאַכן אַ סטאַבילע לאַזער אַרויסגאַנג מאַכט, שטראַל קוואַליטעט, און לאַנג-טערמין פּראַסעסינג קאָנסיסטענסי, ווערן הויך-פּרעציציע לאַזער וואַסער טשילערס אָפט געניצט. אין אולטראַ-פאַסט לאַזער אַפּלאַקיישאַנז, איז אָפט פארלאנגט טעמפּעראַטור קאָנטראָל אַקיעראַסי פון ±0.1 °C אָדער בעסער (אַזאַ ווי ±0.08 °C).

אין עכטע אינדוסטריעלע און פארשונג סביבות, קאנסטאנט-טעמפּעראַטור טשילערס ווי TEYU CWUP-20 PRO אולטרא-פאַסט לאַזער טשילער , מיט ±0.08 °C טעמפּעראַטור סטאַביליטעט, צושטעלן פאַרלאָזלעכע טערמישע קאָנטראָל בעת לאַנג-דויער אָפּעראַציע. צוזאַמען מיט קריאָגעניק עטשינג סיסטעמען, פאָרמען די פּרעציזיע טשילערס אַ פולשטענדיק און קאָאָרדינירט טערמיש פאַרוואַלטונג פריימווערק פֿאַר מיקראָ- און נאַנאָ-וואָג מאַנופאַקטורינג.

טיפּישע אַפּליקאַציעס
קריאָגענישע עטשינג איז ברייט געווענדט אין:
טיף רעאַקטיוו יאָן עטשינג (DRIE)
* פאָטאָנישע טשיפּ סטרוקטור פאַבריקאַציע
* MEMS דעווייס פּראָדוקציע
* מיקראָפלוידיק קאַנאַל פּראַסעסינג
* פּרעציזיע אָפּטישע סטרוקטורן
* נאַנאָפאַבריקאַציע אויף פאָרשונג פּלאַטפאָרמעס
די אַפּליקאַציעס דאַרפן אַלע שטרענגע קאָנטראָל איבער זייט-וואַנט ווערטיקאַליטי, ייבערפלאַך גלאַטקייט, און פּראָצעס קאָנסיסטענסי.

מסקנא
קריאָגענישע עטשינג איז נישט פשוט וועגן נידעריגער מאַכן די טעמפּעראַטור. עס איז וועגן דערגרייכן סטאַבילע, טיף קאָנטראָלירטע טערמישע באַדינגונגען וואָס געבן אַ מדרגה פון פּינקטלעכקייט און קאָנסיסטענסי ווייטער פון די גרענעצן פון קאַנווענשאַנעלע עטשינג פּראָצעסן. ווי האַלב-קאָנדוקטאָר, פאָטאָניק און נאַנאָמאַנופאַקטורינג טעכנאָלאָגיעס פאָרזעצן צו פֿאָרשריטן, ווערט קריאָגענישע עטשינג אַן אומפֿאַרמיידלעכער קערן פּראָצעס, און פאַרלאָזלעכע טעמפּעראַטור קאָנטראָל סיסטעמען בלייבן די יסוד וואָס אַלאַוז עס צו פונקציאָנירן אין זיין פול פּאָטענציעל.