كرىئوگېنلىق ئويۇش ئارقىلىق ماتېرىياللارنى تېخىمۇ ئېنىق ۋە كونترول قىلغىلى بولىدۇ

ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش يۇقىرى ئېنىقلىق، قاتتىق جەريان كونتروللۇقى ۋە كەڭ دائىرىلىك ماتېرىيال ماسلىشىشچانلىقىغا قاراپ ئىلگىرىلەۋاتقانلىقتىن، ئويۇش تېخنىكىسى شۇنىڭغا ماس ھالدا تەرەققىي قىلماقتا. توڭلىتىش ئارقىلىق ئويۇش، كامېرا ۋە ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسىنى ئېنىق كونترول قىلىش ئارقىلىق، نانومېتىر ئۆلچىمىدىمۇ مۇقىم ۋە تەكرارلىنىدىغان بىر تەرەپ قىلىش ئىمكانىيىتىگە ئىگە. ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش، فوتون ئۈسكۈنىلىرىنى ياساش، MEMS ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئىلمىي تەتقىقات سۇپىلىرىدىكى مۇھىم جەريانغا ئايلاندى.

كرىئوگېنلىق ئويۇتما دېگەن نېمە؟
توڭلىتىش ئۇسۇلى ئارقىلىق ئويۇش ئۇسۇلى پلازما ئاساس قىلىنغان ئويۇش ئۇسۇلى بولۇپ، ئادەتتە –80 سېلسىيە گرادۇستىن –150 سېلسىيە گرادۇسقىچە ياكى ئۇنىڭدىنمۇ تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ. بۇ جەرياندا، ئاساسىي قاتلام مۇقىم چوڭقۇر توڭلىتىش تېمپېراتۇرىسىدا ساقلىنىدۇ، بۇ ئارقىلىق رېئاكسىيە قوشۇمچە مەھسۇلاتلىرى ماتېرىيال يۈزىدە كونترول قىلىنىدىغان پاسسىۋاتسىيە قەۋىتى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ مېخانىزم ئويۇشنىڭ ئېنىقلىقى ۋە جەرياننى كونترول قىلىش ئىقتىدارىنى زور دەرىجىدە ياخشىلايدۇ.

ئاساسلىق مېخانىزملار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
* يان تەرەپتىكى ئويۇشنىڭ بېسىلىشى: يان تامنىڭ پاسسىۋلىشىشىنىڭ كۈچەيتىلىشى تېخىمۇ تۈز، تېخىمۇ تىك شەكىللىك پىروفىللارنى ھاسىل قىلىدۇ.
* رېئاكسىيەنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلاش: تۆۋەن تېمپېراتۇرا رېئاكسىيە سۈرئىتىنىڭ ئۆزگىرىشىنى ئازايتىپ، قۇرۇلمىنىڭ مۇقىملىقىنى ياخشىلايدۇ.
* ئەلا سۈپەتلىك يۈزە سۈپىتى: يۈزەكى پۇچۇقلۇقىنىڭ تۆۋەنلىشى يۇقىرى ئىقتىدارلىق ئوپتىكىلىق ۋە سەزگۈر ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەرنى قوللايدۇ.

كرىئوگېنلىق ئويۇشنىڭ ئاساسلىق ئەۋزەللىكلىرى
1. يۇقىرى نىسبەتلىك ئىقتىدار
توڭلىتىلغان ئويۇقلاش ئارقىلىق تىك يان تاملار ئارقىلىق ئىنتايىن يۇقىرى نىسبەتكە ئېرىشكىلى بولىدۇ، بۇ ئۇنى چوڭقۇر كرېمنىي ئويۇقلاش، مىكرو قاناللار ۋە مۇرەككەپ MEMS قۇرۇلمىلىرىغا ئەڭ ماس كېلىدۇ.

2. جەرياننىڭ مۇكەممەل ئىزچىللىقى ۋە تەكرارلىنىشچانلىقى
چوڭقۇر توڭلىتىش تېمپېراتۇرىسىنى كونترول قىلىش، قاتتىق تۈركۈم بويىچە مۇقىملىقنى تەلەپ قىلىدىغان ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىنى قوللايدىغان، ئوراپ ئىشلەش سۈرئىتىنى مۇقىملاشتۇرىدۇ.

3. كەڭ دائىرىلىك ماتېرىيال ماسلىشىشچانلىقى
سوغۇق ئويۇقلاش ئۇسۇلى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالغان كەڭ دائىرىلىك ماتېرىياللارغا ماس كېلىدۇ:
* كرېمنىي
* ئوكسىدلار
* نىترىدلار
* تاللانغان پولىمېرلار
* لىتىي نىئوبات (LiNbO₃) قاتارلىق فوتون ماتېرىياللىرى

4. يۈزەكى بۇزۇلۇشنىڭ ئازىيىشى
تۆۋەن ئىئون بومباردىمان قىلىش نۇقسانلارنىڭ شەكىللىنىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ، بۇ جەرياننى ئوپتىكىلىق زاپچاسلار، ئىنفىرا قىزىل نۇر دېتېكتورلىرى ۋە يۇقىرى سەزگۈرلۈكتىكى مىكرو قۇرۇلمىلارغا ماس كېلىدۇ.

كرىئوگېنلىق ئويۇش سىستېمىسىنىڭ ئاساسلىق تەركىبلىرى
ئادەتتىكى كرىئوگېنلىق ئويۇش سىستېمىسى تۆۋەندىكىلەردىن تەركىب تاپىدۇ:
* مۇقىم يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىشلەش ئۈچۈن توڭلىتىش كامېراسى ۋە سوۋۇتۇلغان ئېلېكترود باسقۇچى
* يۇقىرى زىچلىقتىكى رېئاكتىپ تۈرلەرنى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن پلازما مەنبەسى (RF / ICP)
* مۇقىم جەريان كۆزنىكىنى ساقلاش ئۈچۈن تېمپېراتۇرا كونترول سىستېمىسى (سوۋۇتۇش ئۈسكۈنىلىرى)
* گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى، SF₆ ۋە O₂ قاتارلىق گازلارنى قوللايدۇ
* تېمپېراتۇرا، بېسىم، توك ۋە گاز ئېقىمىنى ماسلاشتۇرىدىغان يېپىق ئايلانما كونترول سىستېمىسى
بۇلارنىڭ ئىچىدە، تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش ئىقتىدارى ئۇزۇن مۇددەتلىك جەرياننىڭ مۇقىملىقى ۋە تەكرارلىنىشىنى بەلگىلەيدىغان ئاچقۇچلۇق ئامىل.

مىكرو ۋە نانو ئىشلەپچىقىرىش جەريانلىرىدىكى ئىسسىقلىق ماسلىشىشى
ئەمەلىي مىكرو ۋە نانو ئىشلەپچىقىرىش خىزمەت ئېقىمىدا، توڭلىتىش ئۇسۇلى ئارقىلىق ئويۇش سىستېمىسى كۆپىنچە لازېرلىق مىكروماشىنىڭ سىستېمىلىرى بىلەن بىللە ئىشلىتىلىدۇ. ئادەتتىكى قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ئەينەك شەكىللەندۈرۈش، فوتون ئۈسكۈنىلىرىنى ياساش ۋە لېنتا بەلگىسى قويۇش قاتارلىقلار كىرىدۇ.

ئۇلارنىڭ ئىسسىقلىق ساقلاش مەقسىتى ئوخشىمايدۇ:
* توڭلىتىش ئۇسۇلىدا ئويۇش ئۈچۈن، ۋافېرنى چوڭقۇر توڭلىتىش تېمپېراتۇرىسىدا ساقلاش تەلەپ قىلىنىدۇ.
* لازېر سىستېمىسى لازېر مەنبەسىنى تار، ئۆي تېمپېراتۇرىسىغا يېقىن مەشغۇلات كۆزنىكى ئىچىدە ساقلاشنى تەلەپ قىلىدۇ.
ھەر ئىككى جەرياننىڭ تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى ئالاھىدە تەلەپ قىلىنىدۇ.
لازېر چىقىرىش قۇۋۋىتىنىڭ مۇقىم بولۇشى، نۇر سۈپىتى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك پىششىقلاش مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى لازېرلىق سۇ سوۋۇتقۇچلىرى ئادەتتە ئىشلىتىلىدۇ. ئىنتايىن تېز لازېر ئىشلىتىشتە، تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش توغرىلىقى ±0.1 سېلسىيە گرادۇس ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى (مەسىلەن، ±0.08 سېلسىيە گرادۇس) بولۇشى تەلەپ قىلىنىدۇ.

ھەقىقىي سانائەت ۋە تەتقىقات مۇھىتىدا، TEYU CWUP-20 PRO قاتارلىق دائىملىق تېمپېراتۇرىلىق سوۋۇتقۇچلار ±0.08 سېلسىيە گرادۇسلۇق تېمپېراتۇرا مۇقىملىقىغا ئىگە بولۇپ، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش جەريانىدا ئىشەنچلىك ئىسسىقلىق كونترول قىلىش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ. توڭلىتىش ئۇسۇلى بىلەن ئويۇش سىستېمىسى بىلەن بىرلىكتە، بۇ ئېنىقلىقتىكى سوۋۇتقۇچلار مىكرو ۋە نانو كۆلەملىك ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن تولۇق ۋە ماسلاشتۇرۇلغان ئىسسىقلىق باشقۇرۇش رامكىسىنى شەكىللەندۈرىدۇ.

ئادەتتىكى قوللىنىشلار
* كرىئوگېنلىق ئويۇش ئۇسۇلى تۆۋەندىكى ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ:
* چوڭقۇر رېئاكتىپ ئىئون ئويۇش (DRIE)
* فوتونىك چىپ قۇرۇلمىسىنى ياساش
* MEMS ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلەپچىقىرىش
* مىكرو سۇيۇقلۇق قانىلىنى بىر تەرەپ قىلىش
* ئېنىق ئوپتىكىلىق قۇرۇلمىلار
* تەتقىقات سۇپىلىرىدا نانو ئىشلەپچىقىرىش
بۇ قوللىنىشلارنىڭ ھەممىسى يان تامنىڭ تىكلىكى، يۈزەكى سىلىقلىقى ۋە جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى قاتتىق كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

خۇلاسە
توڭلىتىش ئۇسۇلى پەقەت تېمپېراتۇرىنى تۆۋەنلىتىش بىلەنلا چەكلىنىپ قالمايدۇ. ئۇ ئەنئەنىۋى توڭلىتىش جەريانلىرىنىڭ چەكلىمىسىدىن ھالقىپ، ئېنىقلىق ۋە مۇقىملىق دەرىجىسىنى كاپالەتلەندۈرىدىغان مۇقىم، چوڭقۇر كونترول قىلىنىدىغان تېمپېراتۇرا شارائىتىغا ئېرىشىش بىلەن مۇناسىۋەتلىك. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ، فوتون ۋە نانو ئىشلەپچىقىرىش تېخنىكىلىرىنىڭ داۋاملىق تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، توڭلىتىش ئۇسۇلى مۇھىم بىر يادرولۇق جەريانغا ئايلىنىۋاتىدۇ، ئىشەنچلىك تېمپېراتۇرا كونترول سىستېمىسى ئۇنىڭ تولۇق ئىقتىدارى بىلەن ئىشلىشىگە يول قويىدىغان ئاساس بولۇپ قالدى.