Nā pilikia Metallization i ka hana Semiconductor a pehea e hoʻoponopono ai iā lākou

He hana koʻikoʻi ka metallization i ka hana semiconductor, e pili ana i ka hoʻokumu ʻana o nā interconnects metala e like me ke keleawe a i ʻole ka alumini. Eia nō naʻe, ʻo nā pilikia metallization—ʻoiai ka electromigration a me ka hoʻonui ʻana i ke kū'ē ʻana o ka hoʻopili ʻana—ke hōʻike nei i nā pilikia koʻikoʻi i ka hana a me ka hilinaʻi o nā kaapuni i hoʻohui ʻia.

Nā kumu o nā pilikia Metallization

Hoʻokumu nui ʻia nā pilikia metallization e nā kūlana mahana maʻamau a me nā loli microstructural i ka wā o ka hana ʻana:

1. Ka wela nui: I ka wā o ka hoʻomehana wela kiʻekiʻe, hiki i nā mea hoʻohui metala ke ʻike i ka electromigration a i ʻole ka ulu nui ʻana o ka palaoa. Hoʻopilikia kēia mau loli microstructural i nā waiwai uila a hōʻemi i ka hilinaʻi o ka interconnect.

2. ʻAʻole lawa ka mahana: Inā haʻahaʻa loa ka mahana, ʻaʻole hiki ke hoʻomaikaʻi ʻia ke kū'ē ʻana ma waena o ka metala a me ka silicon, e alakaʻi ana i ka hoʻoili ʻana o ke au maikaʻi ʻole, ka hoʻonui ʻana i ka hoʻohana ʻana i ka mana, a me ka paʻa ʻole o ka ʻōnaehana.

Hopena ma ka hana o ka Chip

ʻO nā hopena i hui pū ʻia o ka electromigration, ka ulu ʻana o ka palaoa, a me ka hoʻonui ʻia o ke kū'ē ʻana i ka pili ʻana hiki ke hoʻohaʻahaʻa nui i ka hana o ka chip. ʻO nā hōʻailona e komo pū me ka lohi o ka hoʻoili ʻana i nā hōʻailona, ​​​​nā hewa logic, a me ka nui o ka pilikia o ka hāʻule ʻana o ka hana. ʻO ka hopena hope loa, ʻo ia ka hoʻonui ʻana i nā kumukūʻai mālama a me ka emi ʻana o nā pōʻaiapuni ola huahana.

Nā Hoʻonā i nā Pilikia Metallization

1. Hoʻonui i ka Mana Mahana: ʻO ka hoʻokō ʻana i ka hoʻokele wela pololei, e like me ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻoluʻu wai papa ʻoihana , kōkua i ka mālama ʻana i nā mahana hana like. Hoʻemi ka hoʻoluʻu paʻa i ka pilikia o ka electromigration a hoʻonui i ke kū'ē ʻana o ka metala-silicon, e hoʻonui ana i ka hana a me ka hilinaʻi o ka chip.

2. Hoʻomaikaʻi ʻana i ke kaʻina hana: ʻO ka hoʻoponopono ʻana i nā mea hana, ka mānoanoa, a me nā ʻano hana waiho ʻana o ka papa pili e hiki ke kōkua i ka hōʻemi ʻana i ke kū'ē ʻana o ka pili. ʻO nā ʻano hana e like me nā ʻano hana multilayer a i ʻole ka doping me nā mea kikoʻī e hoʻomaikaʻi i ke kahe o ke au a me ke kūpaʻa.

3. Koho Mea: ʻO ka hoʻohana ʻana i nā metala me ke kū'ē kiʻekiʻe i ka electromigration, e like me nā mea hao keleawe, a me nā mea hoʻopili conductive kiʻekiʻe e like me ka polysilicon doped a i ʻole nā ​​​​silicides metala, hiki ke hōʻemi hou i ke kū'ē pili a hōʻoia i ka hana lōʻihi.

Hopena

Hiki ke hoʻēmi pono ʻia nā pilikia metallization i ka hana semiconductor ma o ka kaohi mahana kiʻekiʻe, ka hana ʻana i nā pilina i hoʻomaikaʻi ʻia, a me ke koho ʻana i nā mea hana. He mea nui kēia mau hoʻonā no ka mālama ʻana i ka hana chip, ka hoʻolōʻihi ʻana i ke ola o ka huahana, a me ka hōʻoia ʻana i ka hilinaʻi o nā mea semiconductor.