Málmunarvandamál í hálfleiðaravinnslu og hvernig á að leysa þau

Málmmyndun er mikilvægt skref í vinnslu hálfleiðara og felur í sér myndun málmtenginga eins og kopars eða áls. Hins vegar skapa málmmyndunarvandamál - sérstaklega rafsegulflutningur og aukin snertiviðnám - verulegar áskoranir fyrir afköst og áreiðanleika samþættra hringrása.

Orsakir málmmyndunarvandamála

Vandamál með málmmyndun eru fyrst og fremst afleiðing óeðlilegra hitastigsaðstæðna og breytinga á örbyggingu við framleiðslu.:

1. Of mikill hiti: Við háhitaglæðingu geta málmtengingar orðið fyrir rafsegulflutningi eða óhóflegum kornavexti. Þessar örbyggingarbreytingar skerða rafmagnseiginleika og draga úr áreiðanleika tenginganna.

2. Ófullnægjandi hitastig: Ef hitastigið er of lágt er ekki hægt að hámarka snertiviðnám milli málms og kísils, sem leiðir til lélegrar straumflutnings, aukinnar orkunotkunar og óstöðugleika kerfisins.

Áhrif á afköst flísanna

Samanlögð áhrif rafflutnings, kornavaxtar og aukinnar snertimótstöðu geta dregið verulega úr afköstum flísanna. Einkenni eru meðal annars hægari merkjasending, rökvillur og meiri hætta á rekstrarbilunum. Þetta leiðir að lokum til aukinnar viðhaldskostnaðar og styttri líftíma vörunnar.

Lausnir á málmmyndunarvandamálum

1. Hagnýting hitastýringar: Að innleiða nákvæma hitastýringu, svo sem með því að nota Vatnskælir í iðnaðarflokki , hjálpar til við að viðhalda jöfnum hitastigi í ferlinu. Stöðug kæling dregur úr hættu á rafsvörun og hámarkar snertimótstöðu málms og kísils, sem eykur afköst og áreiðanleika flísanna.

2. Ferlaumbætur: Að aðlaga efni, þykkt og útfellingaraðferðir snertilagsins getur hjálpað til við að draga úr snertiviðnámi. Tækni eins og marglaga uppbygging eða íblöndun með tilteknum frumefnum bæta straumflæði og stöðugleika.

3. Efnisval: Notkun málma með mikla mótstöðu gegn rafsegulflutningi, eins og koparmálmblöndur, og mjög leiðandi snertiefna eins og efnuð pólýsílikon eða málmsilíð, getur lágmarkað snertimótstöðu enn frekar og tryggt langtímaafköst.

Niðurstaða

Hægt er að draga úr málmmyndunarvandamálum í hálfleiðaravinnslu á áhrifaríkan hátt með háþróaðri hitastýringu, fínstilltri snertingarframleiðslu og stefnumótandi efnisvali. Þessar lausnir eru nauðsynlegar til að viðhalda afköstum örgjörva, lengja líftíma vöru og tryggja áreiðanleika hálfleiðara.