Okwu Metallization na Semiconductor nhazi yana otu esi edozi ha

Metallization bụ nzọụkwụ dị oke egwu na nhazi semiconductor, gụnyere nhazi njikọ njikọ igwe dịka ọla kọpa ma ọ bụ aluminom. Otú ọ dị, ihe gbasara ntọhapụ—karịsịa eletrọnịkị na mmụba kọntaktị—na-ebute nnukwu ihe ịma aka na arụmọrụ na ntụkwasị obi nke sekit agbakwunyere.

Ihe na-ebute Okwu Metallization

A na-ebute nsogbu mgbanaka igwe site na ọnọdụ okpomọkụ na-adịghị mma na mgbanwe microstructural n'oge a na-emepụta:

1. Oke okpomọkụ: N'oge oke okpomọkụ annealing, metal interconnects nwere ike na-enweta electromigration ma ọ bụ oke ọka ibu. Mgbanwe microstructural ndị a na-emebi akụrụngwa eletrik ma belata ntụkwasị obi njikọ njikọ.

2. Okpomọkụ na-ezughị ezu: Ọ bụrụ na okpomọkụ dị oke ala, enweghị ike imeziwanye kọntaktị kọntaktị n'etiti metal na silicon, na-eduga na nnyefe adịghị mma ugbu a, ụbara ike oriri, na nkwụsị usoro.

Mmetụta na arụrụ ọrụ Chip

Mmetụta njikọta nke elektrọnịk, uto ọka na mmụba kọntaktị nwere ike weda arụmọrụ mgbawa nke ukwuu. Mgbaàmà gụnyere nnyefe mgbaama ji nwayọọ nwayọọ, njehie mgbagha, yana ihe egwu dị elu nke ọdịda arụmọrụ. Nke a na-ebute n'ikpeazụ na-abawanye ụgwọ mmezi yana belata usoro ndụ ngwaahịa.

Ngwọta maka Nsogbu Metallization

1. Nkwalite njikwa okpomọkụ: Ịmepụta njikwa ọkụ ziri ezi, dị ka iji mmiri chillers nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe , na-enyere aka ịnọgide na-enwe usoro okpomọkụ na-agbanwe agbanwe. Iju oyi kwụsiri ike na-ebelata ohere nke electromigration ma na-ebuli nguzogide kọntaktị metal-silicon, na-eme ka arụmọrụ mgbawa na ntụkwasị obi dịkwuo elu.

2. Nkwalite usoro: Ịgbanwe ihe, ọkpụkpụ, na ụzọ ntinye nke oyi akwa kọntaktị nwere ike inye aka belata nkwụsị kọntaktị. Usoro dị ka ihe owuwu multilayer ma ọ bụ doping nwere ihe ụfọdụ na-eme ka ọsọ na kwụsie ike ugbu a.

3. Nhọrọ ihe: Iji ọla ndị nwere nnukwu iguzogide electromigration, dị ka ọla kọpa alloys, na ihe ndị na-eduzi kọntaktị dị ka doped polysilicon ma ọ bụ silicides metal, nwere ike ibelata nkwụsị kọntaktị ma hụ na arụ ọrụ ogologo oge.

Mmechi

Enwere ike ibelata ihe gbasara nrụpụta igwe na nhazi semiconductor nke ọma site na njikwa okpomọkụ dị elu, nrụpụta kọntaktị kachasị mma, yana nhọrọ ngwa ngwa. Ihe ngwọta ndị a dị mkpa maka ịnọgide na-arụ ọrụ mgbawa, ịgbatị ogologo ndụ ngwaahịa, na ịhụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor.