Жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө металлдаштыруу маселелери жана аларды чечүү жолдору

Металлдаштыруу жез же алюминий сыяктуу металлдардын өз ара байланыштарын түзүүнү камтыган жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө маанилүү кадам болуп саналат. Бирок, металлдаштыруу маселелери, атап айтканда, электромиграция жана жогорулаган контакт каршылык - интегралдык микросхемалардын иштөөсүнө жана ишенимдүүлүгүнө олуттуу кыйынчылыктарды жаратат.

Металлизациянын себептери

Металлдаштыруу көйгөйлөрү, биринчи кезекте, анормалдуу температура шарттары жана даярдоо учурунда микроструктуралык өзгөрүүлөр менен шартталган:

1. Ашыкча температура: Жогорку температурадагы күйгүзүү учурунда металлдын өз ара байланыштары электромиграцияга же дандын ашыкча өсүшүнө дуушар болушу мүмкүн. Бул микроструктуралык өзгөрүүлөр электрдик касиеттерин бузуп, байланыштын ишенимдүүлүгүн төмөндөтөт.

2. Температура жетишсиз: Температура өтө төмөн болсо, металл менен кремнийдин ортосундагы байланыш каршылыгын оптималдаштыруу мүмкүн эмес, токтун начар өткөрүлүшүнө, электр энергиясын керектөөнүн көбөйүшүнө жана системанын туруксуздугуна алып келет.

Чиптин иштешине тийгизген таасири

Электромиграциянын, дандын өсүшүнүн жана байланышка каршылыктын жогорулашынын биргелешкен таасири чиптин иштешин олуттуу түрдө начарлатышы мүмкүн. Симптомдорго сигналдын жайыраак берилиши, логикалык каталар жана оперативдүү иштебей калуу коркунучу кирет. Бул акыр аягында техникалык тейлөөгө кеткен чыгымдардын көбөйүшүнө жана продуктунун жашоо циклинин кыскарышына алып келет.

Металлизация проблемаларын чечуу

1. Температураны көзөмөлдөөнү оптималдаштыруу: Так жылуулук башкарууну ишке ашыруу, мисалы, өнөр жай классындагы суу муздаткычтарын колдонуу процесстин ырааттуу температурасын сактоого жардам берет. Туруктуу муздатуу электромиграция коркунучун азайтат жана металл-кремний контактынын каршылыгын оптималдаштырып, чиптин иштешин жана ишенимдүүлүгүн жогорулатат.

2. Процессти жакшыртуу: материалдарын, калыңдыгын жана байланыш катмарынын коюу ыкмаларын тууралоо контакт каршылыгын азайтууга жардам берет. Көп катмарлуу структуралар же белгилүү элементтер менен допинг сыяктуу ыкмалар токтун агымын жана туруктуулугун жакшыртат.

3. Материалды тандоо: жез эритмелери сыяктуу электромиграцияга жогорку туруктуулугу бар металлдарды жана кошулма полисилик же металл силициддери сыяктуу жогорку өткөрүүчү контакттык материалдарды колдонуу мындан ары контактка каршылыкты азайтып, узак мөөнөттүү иштөөнү камсыздай алат.

Корутунду

Жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө металлдаштыруу маселелерин өнүккөн температураны көзөмөлдөө, оптималдаштырылган контакттарды жасоо жана стратегиялык материалды тандоо аркылуу натыйжалуу жумшартса болот. Бул чечимдер чиптин иштешин сактоо, продуктунун иштөө мөөнөтүн узартуу жана жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн абдан маанилүү.