Awọn ọrọ Metallization ni Sisẹ Semikondokito ati Bi o ṣe le yanju Wọn

Metallization jẹ igbesẹ to ṣe pataki ni sisẹ semikondokito, pẹlu dida awọn asopọ irin gẹgẹbi bàbà tabi aluminiomu. Bibẹẹkọ, awọn ọran iṣipopada-paapaa itanna eletiriki ati ilodisi olubasọrọ ti o pọ si—ṣe awọn italaya pataki si iṣẹ ṣiṣe ati igbẹkẹle ti awọn iyika iṣọpọ.

Awọn okunfa ti Metallization Issues

Awọn iṣoro Metallization jẹ ipilẹṣẹ nipataki nipasẹ awọn ipo iwọn otutu ajeji ati awọn ayipada microstructural lakoko iṣelọpọ:

1. Iwọn otutu ti o pọju: Lakoko annealing ti iwọn otutu giga, awọn asopọ irin le ni iriri itanna eletiriki tabi idagbasoke ọkà ti o pọju. Awọn ayipada microstructural wọnyi ba awọn ohun-ini itanna jẹ ati dinku igbẹkẹle isopọmọ.

2. Iwọn otutu ti ko to: Ti iwọn otutu ba kere ju, aiṣedeede olubasọrọ laarin irin ati ohun alumọni ko le ṣe iṣapeye, ti o yori si gbigbe lọwọlọwọ ti ko dara, agbara agbara ti o pọ sii, ati aiṣedeede eto.

Ipa lori Chip Performance

Awọn ipa apapọ ti elekitirogira, idagbasoke ọkà, ati ilodisi olubasọrọ ti o pọ si le dinku iṣẹ ṣiṣe ërún ni pataki. Awọn aami aisan pẹlu gbigbe ifihan agbara ti o lọra, awọn aṣiṣe ọgbọn, ati eewu ti o ga julọ ti ikuna iṣẹ. Eyi ni ipari abajade ni awọn idiyele itọju ti o pọ si ati idinku awọn akoko igbesi aye ọja.

Awọn ojutu si Awọn iṣoro Metallization

1. Imudarasi Iṣakoso iwọn otutu: Ṣiṣe iṣakoso igbona deede, gẹgẹbi lilo awọn chillers omi ti ile-iṣẹ , ṣe iranlọwọ lati ṣetọju awọn iwọn otutu ilana deede. Iduroṣinṣin itutu dinku eewu ti elekitirogira ati pe o mu ki atako olubasọrọ irin-ohun alumọni pọ si, imudara iṣẹ chirún ati igbẹkẹle.

2. Imudara ilana: Ṣiṣe atunṣe awọn ohun elo, sisanra, ati awọn ọna idasile ti Layer olubasọrọ le ṣe iranlọwọ lati dinku resistance olubasọrọ. Awọn ilana bii awọn ẹya multilayer tabi doping pẹlu awọn eroja kan pato mu ṣiṣan lọwọlọwọ ati iduroṣinṣin dara.

3. Aṣayan Ohun elo: Lilo awọn irin pẹlu giga resistance si electromigration, bi awọn ohun elo idẹ, ati awọn ohun elo olubasọrọ ti o ga julọ gẹgẹbi awọn polysilicon doped tabi awọn silicides irin, le tun dinku idena olubasọrọ ati rii daju pe iṣẹ-igba pipẹ.

Ipari

Awọn ọran ti Metallization ni iṣelọpọ semikondokito le ṣe idinku ni imunadoko nipasẹ iṣakoso iwọn otutu ilọsiwaju, iṣelọpọ olubasọrọ iṣapeye, ati yiyan ohun elo ilana. Awọn solusan wọnyi jẹ pataki fun mimu iṣẹ ṣiṣe chirún, gigun igbesi aye ọja, ati aridaju igbẹkẹle awọn ẹrọ semikondokito.