បញ្ហា Metallization ក្នុងដំណើរការ Semiconductor និងវិធីដោះស្រាយវា។

ការបង្កើតលោហធាតុគឺជាជំហានដ៏សំខាន់មួយក្នុងដំណើរការ semiconductor ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈដូចជាទង់ដែង ឬអាលុយមីញ៉ូម។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ បញ្ហាលោហៈធាតុ - ជាពិសេសការផ្ទេរចរន្តអគ្គិសនី និងការបង្កើនភាពធន់នឹងទំនាក់ទំនង - បង្កបញ្ហាប្រឈមយ៉ាងសំខាន់ចំពោះដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។

មូលហេតុនៃបញ្ហាលោហធាតុ

បញ្ហាលោហធាតុត្រូវបានបង្កឡើងជាចម្បងដោយលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពមិនប្រក្រតី និងការផ្លាស់ប្តូរមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធកំឡុងពេលផលិត៖

1. សីតុណ្ហភាពលើស៖ កំឡុងពេល annealing សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការភ្ជាប់គ្នារវាងលោហៈអាចជួបប្រទះនឹងចរន្តអគ្គិសនី ឬការលូតលាស់គ្រាប់ធញ្ញជាតិច្រើនពេក។ ការផ្លាស់ប្តូរ microstructural ទាំងនេះសម្របសម្រួលលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងកាត់បន្ថយភាពជឿជាក់នៃការតភ្ជាប់គ្នា។

2. សីតុណ្ហភាពមិនគ្រប់គ្រាន់៖ ប្រសិនបើសីតុណ្ហភាពទាបពេក ភាពធន់នៃទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈ និងស៊ីលីកុនមិនអាចត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរទេ ដែលនាំឱ្យមានការបញ្ជូនចរន្តមិនល្អ ការប្រើប្រាស់ថាមពលកើនឡើង និងអស្ថេរភាពនៃប្រព័ន្ធ។

ផលប៉ះពាល់លើដំណើរការបន្ទះឈីប

ឥទ្ធិពលរួមបញ្ចូលគ្នានៃចរន្តអគ្គិសនី ការលូតលាស់គ្រាប់ធញ្ញជាតិ និងការកើនឡើងនូវភាពធន់នៃទំនាក់ទំនងអាចធ្វើឲ្យដំណើរការបន្ទះឈីបធ្លាក់ចុះយ៉ាងខ្លាំង។ រោគសញ្ញារួមមានការបញ្ជូនសញ្ញាយឺត កំហុសតក្កវិជ្ជា និងហានិភ័យខ្ពស់នៃការបរាជ័យប្រតិបត្តិការ។ ចុងក្រោយនេះនាំឱ្យតម្លៃថែទាំកើនឡើង និងកាត់បន្ថយវដ្តជីវិតផលិតផល។

ដំណោះស្រាយចំពោះបញ្ហាលោហធាតុ

1. ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព៖ ការអនុវត្តការគ្រប់គ្រងកំដៅច្បាស់លាស់ដូចជាការប្រើប្រាស់ ម៉ាស៊ីនកំដៅទឹកកម្រិតឧស្សាហកម្ម , ជួយរក្សាសីតុណ្ហភាពដំណើរការជាប់លាប់។ ភាពត្រជាក់ដែលមានស្ថេរភាពកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការធ្វើចំណាកស្រុកនៃចរន្តអគ្គិសនី និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពភាពធន់នឹងទំនាក់ទំនងលោហៈ-ស៊ីលីកុន បង្កើនប្រសិទ្ធភាពបន្ទះឈីប និងភាពជឿជាក់។

2. ការកែលម្អដំណើរការ៖ ការលៃតម្រូវសមា្ភារៈ កម្រាស់ និងវិធីសាស្រ្តនៃការដាក់ស្រទាប់ទំនាក់ទំនងអាចជួយកាត់បន្ថយភាពធន់នៃទំនាក់ទំនង។ បច្ចេកទេសដូចជារចនាសម្ព័ន្ធពហុស្រទាប់ ឬសារធាតុ doping ជាមួយធាតុជាក់លាក់ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវលំហូរបច្ចុប្បន្ន និងស្ថេរភាព។

3. ការជ្រើសរើសសម្ភារៈ៖ ការប្រើប្រាស់លោហធាតុដែលមានភាពធន់ខ្ពស់ចំពោះចរន្តអគ្គិសនី ដូចជាយ៉ាន់ស្ព័រ និងវត្ថុធាតុទំនាក់ទំនងដែលមានចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់ដូចជាសារធាតុប៉ូលីស៊ីលីកុន ឬសារធាតុស៊ីលីកុនដែក អាចកាត់បន្ថយភាពធន់នឹងទំនាក់ទំនង និងធានាបាននូវដំណើរការយូរអង្វែង។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

បញ្ហាលោហធាតុនៅក្នុងដំណើរការ semiconductor អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពតាមរយៈការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពកម្រិតខ្ពស់ ការបង្កើតទំនាក់ទំនងដែលប្រសើរឡើង និងការជ្រើសរើសសម្ភារៈយុទ្ធសាស្ត្រ។ ដំណោះស្រាយទាំងនេះមានសារៈសំខាន់សម្រាប់រក្សាដំណើរការបន្ទះឈីប ពង្រីកអាយុកាលផលិតផល និងធានានូវភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍ semiconductor ។