Olana metaly amin'ny fanodinana semiconductor sy ny fomba hamahana azy ireo

Ny metallization dia dingana lehibe amin'ny fanodinana semiconductor, izay misy ny fananganana fifandraisana metaly toy ny varahina na aluminium. Na izany aza, ny olana amin'ny metallization-indrindra fa ny electromigration sy ny fitomboan'ny fanoherana ny fifandraisana-dia miteraka fanamby lehibe amin'ny fampisehoana sy ny fahatokisana ny circuit integrated.

Ny antony mahatonga ny olana amin'ny metaly

Ny olana amin'ny metaly dia ateraky ny toetr'andro tsy ara-dalàna sy ny fiovan'ny microstructural mandritra ny fanamboarana:

1. Mafana be loatra: Mandritra ny fanodinkodinana amin'ny hafanana avo, ny fifandraisana metaly dia mety hiaina electromigration na fitomboan'ny voa be loatra. Ireo fiovana microstructural ireo dia mampandefitra ny fananana elektrika ary mampihena ny fahatokisana ny fifandraisana.

2. Tsy ampy ny maripana: Raha ambany loatra ny mari-pana, dia tsy azo amboarina ny fanoherana ny fifandraisana eo amin'ny metaly sy ny silisiôma, izay mitarika ho amin'ny fifindran'ny ratsy amin'izao fotoana izao, ny fitomboan'ny fanjifana herinaratra ary ny tsy fandriam-pahalemana.

Ny fiantraikan'ny Chip Performance

Ny fiantraikan'ny electromigration, ny fitomboan'ny voa, ary ny fitomboan'ny fanoherana ny fifandraisana dia mety hanimba ny fahombiazan'ny chip. Ny soritr'aretina dia ahitana ny fifindran'ny famantarana miadana kokoa, ny fahadisoana lojika, ary ny mety hisian'ny tsy fahombiazan'ny asa. Izany dia miteraka fiakaran'ny vidin'ny fikojakojana sy fampihenana ny tsingerin'ny fiainan'ny vokatra.

Vahaolana amin'ny olan'ny metaly

1. Fanaraha-maso ny maripana: Fampiharana ny fitantanana mafana tsara, toy ny fampiasana chillers rano kilasy indostrialy , manampy amin'ny fitazonana ny mari-pana amin'ny dingana tsy miovaova. Ny fampangatsiahana maharitra dia mampihena ny loza ateraky ny fifindra-monina ary manatsara ny fanoherana ny fifandraisana metaly-silikonina, manatsara ny fahombiazan'ny chip sy ny fahamendrehana.

2. Fanatsarana ny dingana: Ny fanitsiana ny fitaovana, ny hateviny ary ny fomba fametrahana ny sosona fifandraisana dia afaka manampy amin'ny fampihenana ny fanoherana ny fifandraisana. Ny teknika toy ny rafitra multilayer na doping miaraka amin'ny singa manokana dia manatsara ny fikorianan'ny ankehitriny sy ny fahamarinan-toerana.

3. Fifantenana fitaovana: Ny fampiasana metaly manana fanoherana avo amin'ny fifindra-monina, toy ny firaka varahina, ary fitaovana mifandray be dia be toy ny polysilicon doped na silicides metaly, dia afaka manamaivana kokoa ny fanoherana ny fifandraisana ary miantoka ny fahombiazan'ny fotoana maharitra.

Famaranana

Ny olana amin'ny metallization amin'ny fanodinana semiconductor dia azo ahena amin'ny fomba mahomby amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso ny mari-pana mandroso, ny fanamboarana fifandraisana tsara indrindra ary ny fisafidianana fitaovana stratejika. Ireo vahaolana ireo dia ilaina amin'ny fitazonana ny fahombiazan'ny chip, ny fanitarana ny androm-piainan'ny vokatra, ary ny fiantohana ny fahamendrehan'ny fitaovana semiconductor.