Fa'afitauli o le Metallization i le Semiconductor Processing ma le auala e foia ai

O le fa'ametalaina o se la'asaga taua i le fa'agasologa o semiconductor, e aofia ai le fausiaina o feso'ota'iga u'amea e pei o le kopa po'o le alumini. Peita'i, o fa'afitauli o le fa'ametalaina—aemaise lava le eletise ma le fa'ateleina o le tete'e i feso'ota'iga—e tu'uina atu ai ni lu'itau tetele i le fa'atinoga ma le fa'atuatuaina o matagaluega tu'ufa'atasi.

Mafua'aga o Fa'afitauli o le Metallization

O faʻafitauli o le faʻametalaina e mafua muamua lava i tulaga o le vevela e le masani ai ma suiga i le microstructural i le taimi o le gaosiga:

1. Vevela tele: I le taimi o le fa'avevela i le vevela maualuga, e mafai e feso'ota'iga u'amea ona o'o i le eletise po'o le tuputupu a'e tele o fatu. O nei suiga i le microstructure e fa'aleagaina ai meatotino eletise ma fa'aitiitia ai le fa'atuatuaina o feso'ota'iga.

2. Le lava o le vevela: Afai e maualalo tele le vevela, e le mafai ona fa'aleleia atili le tete'e o le feso'ota'iga i le va o le u'amea ma le silicon, ma mafua ai ona leaga le fesiita'iga o le eletise, fa'ateleina le fa'aaogaina o le eletise, ma le le mautu o le masini.

Aafiaga i le Fa'atinoga o le Chip

O aafiaga tuufaatasi o le eletise fesiitaiga, le tuputupu aʻe o fatu, ma le faateleina o le teteʻe i fesootaiga e mafai ona faaleagaina ai le faatinoga o le chip. O faailoga e aofia ai le telegese o le faasalalauina o faailoilo, mea sese i le mafaufau, ma le maualuga o le lamatiaga o le faaletonu o le faagaoioiga. O le mea lea e iu ai i le faateleina o tau o tausiga ma faaitiitia ai le umi o le ola o le oloa.

Tali i Fa'afitauli o le Metallization

1. Fa'aleleia atili o le Puleaina o le Vevela: O le fa'atinoina o le puleaina sa'o o le vevela, e pei o le fa'aaogaina o masini fa'amālūlū vai e fa'aaogaina i le tulaga fa'apisinisi , e fesoasoani e fa'atumauina ai le vevela tutusa o le fa'agasologa. O le fa'amālūlūina mautu e fa'aitiitia ai le lamatiaga o le femalaga'iga eletise ma fa'aleleia atili ai le tete'e atu i le u'amea ma le silicon, fa'aleleia atili ai le fa'atinoga ma le fa'atuatuaina o le chip.

2. Faaleleia o le Faiga: O le fetuuna'i o meafaitino, mafiafia, ma metotia o le teuina o le vaega e fesootai e mafai ona fesoasoani e faaitiitia ai le tete'e atu i fesootaiga. O metotia e pei o fausaga e tele vaega po o le faaopoopoina o elemene faapitoa e faaleleia atili ai le tafe ma le mautu o le tafe.

3. Filifiliga o Meafaitino: O le fa'aaogaina o u'amea e tete'e tele i le eletise fe'avea'i, e pei o le 'apamemea apamemea, ma mea fa'afeso'ota'i e maualuga le tafe o le eletise e pei o le polysilicon po'o le silicides u'amea, e mafai ona fa'aitiitia atili ai le tete'e o le feso'ota'iga ma fa'amautinoa ai le fa'atinoga i se taimi umi.

Faaiuga

E mafai ona fa'aitiitia lelei fa'afitauli o le fa'ame'a i le fa'agasologa o semiconductor e ala i le puleaina lelei o le vevela, fa'aleleia atili o le gaosiga o feso'ota'iga, ma le filifilia fa'apitoa o meafaitino. O nei fofo e taua tele mo le fa'atumauina o le fa'atinoga o le chip, fa'alauteleina le umi e ola ai le oloa, ma le fa'amautinoaina o le fa'atuatuaina o masini semiconductor.