Matambudziko eMetallization muSemiconductor Processing uye Maitiro Ekuagadzirisa

Kugadzira simbi idanho rakakosha mukugadzirisa ma semiconductor, rinosanganisira kuumbwa kwesimbi dzinobatana dzakadai semhangura kana aruminiyamu. Zvisinei, nyaya dzekugadzira simbi—kunyanya electromigration uye kuwedzera kwekusagona kubata—dzinokonzera matambudziko makuru pakushanda nekuvimbika kwemaseketi akabatanidzwa.

Zvinokonzera Matambudziko eMetallization

Matambudziko ekugadzirwa kwesimbi anonyanya kukonzerwa nemamiriro ekunze asina kujairika ekupisa uye shanduko dze microstructure panguva yekugadzira:

1. Kupisa kwakanyanya: Panguva yekubatidza tembiricha yepamusoro, simbi dzinobatanidza dzinogona kusangana nemagetsi kana kukura zvakanyanya kwezviyo. Kuchinja uku kwezvikamu zvemukati memuviri kunokanganisa hunhu hwemagetsi uye kunoderedza kuvimbika kwekubatanidza.

2. Kupisa kusina kukwana: Kana tembiricha yakaderera zvakanyanya, kuramba kwesimbi nesilicon hakugone kugadziriswa, zvichikonzera kusashanda zvakanaka kwemagetsi, kushandiswa kwesimba zvakanyanya, uye kusagadzikana kwesystem.

Kukanganisa Kushanda kweChip

Migumisiro yakabatana yekutama kwemagetsi, kukura kwezviyo, uye kuwedzera kwekusagona kubata zvinogona kuderedza mashandiro echip zvakanyanya. Zviratidzo zvinosanganisira kunonoka kwekutumira masaini, zvikanganiso zvepfungwa, uye njodzi yakakura yekukundikana kushanda. Izvi zvinoguma nekuwedzera kwemari yekugadzirisa uye kudzikira kwehupenyu hwechigadzirwa.

Mhinduro dzeMatambudziko eKugadzira Metallization

1. Kugadzirisa Kudzora Kupisa: Kushandisa nzira chaiyo yekutonga kupisa, senge kushandisa ma "industrial-grade water chillers" , kunobatsira kuchengetedza tembiricha dzakafanana. Kutonhodza kwakasimba kunoderedza njodzi yekufambiswa kwemagetsi uye kunovandudza kuramba kwesimbi-silicon, zvichiwedzera mashandiro e "chip" uye kuvimbika.

2. Kuvandudza Maitiro: Kugadzirisa zvinhu, ukobvu, uye nzira dzekuisa jira rekubata kunogona kubatsira kuderedza kuramba kubata. Matekiniki akadai semaumbirwo ematanda akawanda kana kushandisa doping nezvinhu zvakati wandei kunovandudza kuyerera kwemagetsi nekugadzikana.

3. Kusarudza Zvinhu: Kushandisa simbi dzinoramba kushandiswa nemagetsi, senge copper alloys, uye zvinhu zvinobata zvine simba remagetsi zvakaita se polysilicon kana metal silicides, kunogona kuderedza kuramba kushandiswa kwemagetsi uye kuve nechokwadi chekuti zvinogara kwenguva refu.

Mhedziso

Matambudziko esimbi mukugadzirisa ma semiconductor anogona kuderedzwa zvinobudirira kuburikidza nekudzora tembiricha yepamusoro, kugadzira kwakanakisa kwekubatana, uye kusarudza zvinhu zvine hungwaru. Mhinduro idzi dzakakosha pakuchengetedza mashandiro echip, kuwedzera hupenyu hwechigadzirwa, uye kuve nechokwadi chekuti midziyo ye semiconductor yakavimbika.