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半导体材料开发助力激光微加工业务增长

如今,高精度激光微加工主要涉及智能手机等消费类电子产品,其OLED屏幕常采用激光微加工切割。

recirculating laser water chiller

芯片在智能手机、电脑、家电、GPS设备等高端产业中发挥着重要作用,而制造芯片的核心器件一般由国外厂商主导。


半导体材料的几种应用

Stepper 是一种掩模曝光系统。利用激光源对晶圆表面保护膜进行刻蚀,形成具有数据存储功能的电路。大多数步进电机采用准分子激光器,可以产生深紫外激光束。领先的主要准分子激光器制造商 Cymer 被 ASML 收购。而新的步进器将是EUV步进器,可以实现10nm以下的工艺。但这项技术现在仍然由外国公司主导。

但预计中国在芯片制造方面正在逐步取得突破,并逐步实现自产和量产。国产步进电机也是可以预见的,届时对高精度激光源的需求将会越来越大。

半导体材料的另一个广泛应用是光伏电池产业,它是全球发展最快、潜力最大的清洁能源市场。太阳能电池可分为晶体硅太阳能电池、薄膜电池和III-V族化合物电池。其中,晶体硅太阳能电池的应用最为广泛。与激光源相反,光伏电池是一种将光转化为电能的装置。光电转换率是衡量光伏电池好坏的标准。该领域的材料和工艺技术非常关键。

在切割硅片方面,使用了传统的刀具,但精度低、效率低、良率低。因此,许多欧洲国家、韩国、美国早已引进了高精度激光技术。就我国而言,我们的光伏电池产能已达到世界的一半。而在过去的4年里,随着光伏产业的不断发展,激光加工技术也逐渐得到应用。如今,激光技术通过对 PERC 电池进行晶圆切割、晶圆划线、开槽等,为光伏行业做出了贡献。

半导体的第三个应用是PCB,包括FPCB。 PCB是所有电子产品的关键部件和基础,使用了大量的半导体材料。在过去的几年里,随着PCB的精度和集成度越来越高,越来越小的PCB将会问世。届时,传统的加工和接触加工设备将难以适应,而激光技术将越来越多地被使用。

激光打标是PCB上最简单的技术。目前,人们经常使用紫外激光在材料表面进行打标。然而,激光钻孔是 PCB 上最常见的技术。激光钻孔可以达到微米级,可以打出机械刀做不到的非常微小的孔。此外,PCB上的铜材切割和固定熔焊也可以采用激光技术。

随着激光进入微加工时代, S&A 特宇推出超精密风冷冷水机

回顾过去几年的激光发展,激光在金属切割和焊接方面有着广泛的应用。但对于高精度微加工,情况则相反。原因之一是金属加工是一种粗加工。但高精度激光微加工需要高水平的定制,并面临开发这种技术的难度和花费大量时间等挑战。如今,高精度激光微加工主要涉及智能手机等消费类电子产品,其OLED屏幕常采用激光微加工切割。

未来10年,半导体材料将成为优先产业。半导体材料加工有可能成为激光微加工快速发展的推动力。激光微加工主要采用短脉冲或超短脉冲激光,又称超快激光。因此,随着半导体材料国产化的趋势,高精度激光加工的需求将会增加。

然而,高精度超快激光设备要求很高,需要配备同样高精度的温度控制装置。

为满足国内高精度激光器件的市场预期, S&A 特宇推出CWUP系列循环激光冷水机,温度稳定性达到±0.1℃,专为飞秒激光、纳秒激光、皮秒激光等超快激光的冷却而设计。有关CWUP系列激光冷水机组的更多信息,请访问https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5


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