በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሙቀት መቆጣጠሪያ ለምን ወሳኝ ነው?

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር የቺፕ ጥራትን፣ አፈጻጸምን እና የምርት ምርትን በማረጋገጥ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ትንሽ የሙቀት መጠን መለዋወጥ እንኳን በቁሳዊ ባህሪ እና በሂደት ውጤቶች ላይ ከፍተኛ ለውጥ ሊፈጥር ይችላል፣ ይህም ወደ ጉድለቶች ወይም የመሳሪያ ውድቀቶች ሊመራ ይችላል።

የሙቀት ውጥረት ተጽእኖ

ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የተለያየ የሙቀት ማስፋፊያ (ሲቲኢ) ያላቸው በርካታ ንብርብሮችን ያቀፈ ነው። ለምሳሌ የሲሊኮን ዋይፋሮች፣ የብረት ማያያዣዎች እና ዳይኤሌክትሪክ ንብርብሮች በፍጥነት በማሞቅ ወይም በማቀዝቀዝ ጊዜ በተለያየ ፍጥነት ይሰፋሉ ወይም ይዋሃዳሉ። ይህ አለመመጣጠን የሙቀት ጭንቀትን ሊፈጥር ይችላል፣ ይህም ወደ ከባድ የማምረቻ ችግሮች ያስከትላል፡-

* ስንጥቆች፡- ላይ ወለል ወይም የውስጥ ስንጥቆች የሜካኒካል ታማኝነትን ሊያበላሹ እና ወደ መሳሪያ ውድቀት ሊመሩ ይችላሉ።

* ዲላሚኔሽን ፡ እንደ ብረት ወይም ዳይኤሌክትሪክ ያሉ ቀጫጭን ፊልሞች ሊለያዩ ይችላሉ፣ ይህም የቺፑን የኤሌክትሪክ አፈጻጸም እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ያዳክማል።

* መዋቅራዊ መበላሸት፡- የመሣሪያ መዋቅሮች በውጥረት ምክንያት ሊንሸራተቱ ይችላሉ፣ ይህም እንደ ፍሳሽ ወይም አጭር ዑደት ያሉ የኤሌክትሪክ ችግሮችን ያስከትላል።

የከፍተኛ ትክክለኛነት የሙቀት መቆጣጠሪያ ሚና

እንደ TEYU የኢንዱስትሪ ማቀዝቀዣዎች ያሉ የላቀ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓቶች የሙቀት መረጋጋትን በልዩ ትክክለኛነት ለመጠበቅ የተነደፉ ናቸው። ለምሳሌ፣ የ TEYU ultrafast laser chiller እስከ ± 0.08°C የቁጥጥር ትክክለኛነትን ይሰጣል፣ ይህም ለወሳኝ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሂደት መረጋጋትን ያረጋግጣል፣ etchers፣ ማስቀመጫ ሲስተሞች እና ion implantors።

በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ትክክለኛ የማቀዝቀዝ ጥቅሞች

1. የሙቀት ጭንቀትን መሰንጠቅን ይከላከላል፡- ወጥ የሆነ ቅዝቃዜን በመጠበቅ፣ ቺለርዎች የሲቲኢ አለመመጣጠን የሚያስከትለውን ውጤት ይቀንሳሉ፣ ይህም በሙቀት ብስክሌት ወቅት የመጥፋት እና የመጥፋት አደጋን በብቃት ይቀንሳል።

2. የዶፒንግ ዩኒፎርምን ያሻሽላል፡- በ ion implantation እና በቀጣይ ማደንዘዣ፣ የተረጋጋ የሙቀት ሁኔታዎች በዋፈር ላይ ወጥነት ያለው የዶፓንት ማግበርን ያረጋግጣሉ፣ ይህም የቺፕ አፈጻጸምን እና አስተማማኝነትን ያሳድጋል።

3. የኦክሳይድ ንብርብርን ወጥነት ያሳድጋል ፡ ትክክለኛው የሙቀት ማስተካከያ በኦክሳይድ ወቅት ከጫፍ እስከ መሀል ያለውን የሙቀት ቅልጥፍናን ለማስወገድ ይረዳል፣ ወጥ የሆነ የበር ኦክሳይድ ውፍረትን ያረጋግጣል፣ ለተከታታይ ትራንዚስተር ባህሪዎች።

መደምደሚያ

በሴሚኮንዳክተር ማምረት ውስጥ የሙቀት መቆጣጠሪያ አስፈላጊ ነው. ከፍተኛ ትክክለኛነት ባለው የሙቀት አስተዳደር ፣ አምራቾች በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚመጡ ጉድለቶችን ይቀንሳሉ ፣ በዶፒንግ እና በኦክሳይድ ሂደቶች ውስጥ ያለውን ተመሳሳይነት ያሻሽላሉ እና በመጨረሻም ከፍተኛ የቺፕ ምርትን እና የተሻለ የመሳሪያ አፈፃፀምን ሊያገኙ ይችላሉ።