በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሙቀት መቆጣጠሪያ ለምን ወሳኝ ነው?

በሴሚኮንዳክተር ማምረት ፣ ትክክለኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ  የቺፕ ጥራትን፣ አፈጻጸምን እና የምርት ምርትን በማረጋገጥ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ትንሽ የሙቀት መጠን መለዋወጥ እንኳን በቁሳዊ ባህሪ እና በሂደት ውጤቶች ላይ ከፍተኛ ለውጥ ሊፈጥር ይችላል፣ ይህም ወደ ጉድለቶች ወይም የመሳሪያ ውድቀቶች ሊመራ ይችላል።

የሙቀት ውጥረት ተጽእኖ

ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የተለያየ የሙቀት ማስፋፊያ (ሲቲኢ) ያላቸው በርካታ ንብርብሮችን ያቀፈ ነው። ለምሳሌ የሲሊኮን ዋይፋሮች፣ የብረት ማያያዣዎች እና ዳይኤሌክትሪክ ንብርብሮች በፍጥነት በማሞቅ ወይም በማቀዝቀዝ ጊዜ በተለያየ ፍጥነት ይሰፋሉ ወይም ይዋሃዳሉ። ይህ አለመመጣጠን የሙቀት ጭንቀትን ሊፈጥር ይችላል፣ ይህም እንደ ከባድ የማምረቻ ጉዳዮችን ያስከትላል:

* ስንጥቆች: በ Wafers ላይ የገጽታ ወይም የውስጥ ስንጥቆች የሜካኒካል ታማኝነትን ሊያበላሹ እና ወደ መሳሪያ ውድቀት ሊመሩ ይችላሉ።

* ማላቀቅ: እንደ ብረት ወይም ዳይኤሌክትሪክ ያሉ ቀጫጭን ፊልሞች ሊለያዩ ይችላሉ፣ ይህም የቺፑን የኤሌክትሪክ አፈጻጸም እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ያዳክማል።

* መዋቅራዊ መበላሸት: የመሣሪያዎች መዋቅሮች በውጥረት ምክንያት ሊንሸራተቱ ይችላሉ, ይህም እንደ ፍሳሽ ወይም አጭር ዑደት ያሉ የኤሌክትሪክ ችግሮችን ያስከትላል.

የከፍተኛ ትክክለኛነት የሙቀት መቆጣጠሪያ ሚና

እንደ TEYU የኢንዱስትሪ ማቀዝቀዣዎች ያሉ የላቀ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓቶች የሙቀት መረጋጋትን በልዩ ትክክለኛነት ለመጠበቅ የተነደፉ ናቸው። ለምሳሌ፣ TEYU's አልትራፋስት ሌዘር ማቀዝቀዣ  እስከ ± 0.08 ° ሴ የቁጥጥር ትክክለኛነት ያቀርባል, ለወሳኝ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሂደት መረጋጋትን ያረጋግጣል, ኤትቸሮችን, የማስቀመጫ ስርዓቶችን እና ion ተከላዎችን ጨምሮ.

በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ትክክለኛ የማቀዝቀዝ ጥቅሞች

1. የሙቀት ውጥረት መሰባበርን ይከላከላል:  ወጥ የሆነ ቅዝቃዜን በመጠበቅ፣ ቺለሮች የCTE አለመመጣጠን በተለያዩ ቁሳቁሶች መካከል ያለውን ተፅእኖ ይቀንሳሉ፣ ይህም በሙቀት ብስክሌት ወቅት ስንጥቅ እና የመጥፋት አደጋን በብቃት ይቀንሳል።

2. የዶፒንግ ዩኒፎርምን ያሻሽላል:  በ ion implantation እና በቀጣይ ማደንዘዣ፣ የተረጋጋ የሙቀት ሁኔታዎች በቫፈር ላይ ወጥነት ያለው የዶፓንት ማንቃትን ያረጋግጣሉ፣ ይህም የቺፕ አፈጻጸምን እና አስተማማኝነትን ያሳድጋል።

3. የኦክሳይድ ንብርብርን ወጥነት ይጨምራል:  ትክክለኛ የሙቀት ማስተካከያ በኦክሳይድ ጊዜ ከጫፍ እስከ መሃከለኛ የሙቀት ደረጃዎችን ለማስወገድ ይረዳል ፣ይህም ወጥ የሆነ የበር ኦክሳይድ ውፍረትን ያረጋግጣል ፣ለተከታታይ ትራንዚስተር ባህሪዎች።

ማጠቃለያ

በሴሚኮንዳክተር ማምረት ውስጥ የሙቀት መቆጣጠሪያ አስፈላጊ ነው. ከፍተኛ ትክክለኛነት ባለው የሙቀት አስተዳደር ፣ አምራቾች በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚመጡ ጉድለቶችን ይቀንሳሉ ፣ በዶፒንግ እና በኦክሳይድ ሂደቶች ውስጥ ያለውን ተመሳሳይነት ያሻሽላሉ እና በመጨረሻም ከፍተኛ የቺፕ ምርትን እና የተሻለ የመሳሪያ አፈፃፀምን ሊያገኙ ይችላሉ።