يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا ،
ئېنىق تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش
ئۆزەكنىڭ سۈپىتى ، ئىقتىدارى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىشتا ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ. ئازراق تېمپېراتۇرا داۋالغۇشىمۇ ماددى ھەرىكەت ۋە جەريان نەتىجىسىدە كۆرۈنەرلىك ئۆزگىرىش پەيدا قىلىپ ، كەمتۈكلۈك ياكى ئۈسكۈنىنىڭ كاشىلا پەيدا قىلىشى مۇمكىن.
![Why Temperature Control Is Critical in Semiconductor Manufacturing?]()
ئىسسىقلىق بېسىمىنىڭ تەسىرى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىسسىقلىق كېڭەيتىشنىڭ ئوخشىمىغان كوئېففىتسېنتى (CTE) بولغان كۆپ قاتلاملىق ماتېرىياللاردىن تەركىب تاپقان. مەسىلەن ، كرېمنىيلىق ۋافېر ، مېتال ئۆز-ئارا ئۇلىنىش ۋە ئېلېكتر قەۋىتى تېز قىزىتىش ياكى سوۋۇتۇش جەريانىدا ئوخشىمىغان سۈرئەتتە كېڭىيىدۇ ياكى تارىيىدۇ. بۇ ماس كەلمەسلىك ئىسسىقلىق بېسىمىنى پەيدا قىلىپ ، ئېغىر ئىشلەپچىقىرىش مەسىلىلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ:
* يېرىق:
ۋافېردىكى يۈز ياكى ئىچكى يېرىقلار مېخانىك پۈتۈنلىككە بۇزغۇنچىلىق قىلىپ ، ئۈسكۈنىنىڭ كاشىلا قىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
* Delamination:
نېپىز پەردە ، مەسىلەن مېتال ياكى دىئېلېكترىك قەۋەتلەر ئۆز-ئارا ئايرىلىشى مۇمكىن ، بۇ ئۆزەكنىڭ ئېلېكتر ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكىنى ئاجىزلىتىدۇ.
* قۇرۇلما خاراكتېرلىك ئۆزگىرىش:
ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسى بېسىم سەۋەبىدىن سوقۇلۇپ ، ئېقىپ كېتىش ياكى قىسقا توك يولى قاتارلىق ئېلېكتر مەسىلىلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىشنىڭ رولى
TEYU سانائەت توڭلاتقۇسىغا ئوخشاش ئىلغار تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش سىستېمىسى ئالاھىدە ئېنىقلىق بىلەن تېمپېراتۇرىنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلاش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. مەسىلەن ، TEYU نىڭ
ئۇلترا بىنەپشە نۇرلۇق لازېر
± 0.08 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان كونترول توغرىلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ھالقىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەرنىڭ جەريان مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
![TEYU Ultrafast Laser Chiller CWUP-20ANP]()
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا ئىنچىكە سوۋۇتۇشنىڭ پايدىسى
1. ئىسسىقلىق بېسىمىنىڭ يېرىلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ:
توڭلاتقۇ بىر تۇتاش سوۋۇتۇشنى ساقلاش ئارقىلىق ، ئوخشىمىغان ماتېرىياللار ئارىسىدىكى CTE ماسلاشماسلىقنىڭ تەسىرىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، ئىسسىقلىق ۋېلىسىپىت مىنىش جەريانىدا يېرىلىش ۋە پارچىلىنىش خەۋپىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىدۇ.
2. دوپپا بىرلىكىنى ياخشىلايدۇ:
ئىئون كۆچۈرۈش ۋە ئۇنىڭدىن كېيىنكى تۇتاشتۇرۇشتا ، مۇقىم ئىسسىقلىق شارائىتى ۋافېرنىڭ ئۇدا دوپپا ئاكتىپلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ئۆزەكنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرىدۇ.
3. ئوكسىد قەۋىتىنىڭ بىردەكلىكىنى كۈچەيتىدۇ:
تېمپېراتۇرىنىڭ توغرا تەڭشىلىشى ئوكسىدلىنىش جەريانىدا گىرۋەكتىن مەركىزى ئىسسىقلىق رېئاكتىۋسىنى يوقىتىشقا ياردەم بېرىدۇ ، بىردەك دەرۋازا ئوكسىدنىڭ قېلىنلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، بۇ تىرانسىزىمورنىڭ ئالاھىدىلىكى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
خۇلاسە
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش كەم بولسا بولمايدۇ. يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ئارقىلىق ، ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئىسسىقلىق بېسىمى كەلتۈرۈپ چىقارغان نۇقسانلارنى ئازايتالايدۇ ، دورا ئىشلىتىش ۋە ئوكسىدلىنىش جەريانىدىكى بىردەكلىكنى ئۆستۈرۈپ ، ئاخىرىدا تېخىمۇ يۇقىرى ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىقتىدارىنى تېخىمۇ ياخشى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ.