Aiseā e Taua Tele ai le Puleaina o le Vevela i le Gaosiga o Semiconductor?

I le gaosiga o semiconductor, pulea lelei o le vevela E taua tele lona sao i le faʻamautinoaina o le lelei o le chip, le faʻatinoga, ma le fua o le gaosiga. E oʻo lava i sina suiga itiiti o le vevela e mafai ona mafua ai ni suiga tetele i amioga a meafaitino ma taunuuga o le faagasologa, e ono oʻo atu ai i ni faʻaletonu poʻo le faʻaletonu o masini.

O le Aafiaga o le Fa'alavelave Fa'avevela

O masini semiconductor e aofia ai ni vaega eseese o meafaitino ma ni coefficient eseese o le faʻalauteleina o le vevela (CTE). Mo se faʻataʻitaʻiga, o silicon wafers, metal interconnects, ma dielectric layers e faʻalauteleina pe faʻapuʻupuʻu i ni fua eseese i le taimi o le faʻavevela vave poʻo le faʻamālūlūina. O lenei le fetaui e mafai ona mafua ai le atuatuvale o le vevela, ma oʻo atu ai i faʻafitauli matuia o le gaosiga e pei o:

* Māvaevae: O māvaevae i luga po'o totonu o wafers e mafai ona fa'aleagaina ai le tumau fa'amekanika ma i'u ai ina fa'aletonu le masini.

* Delamination: E ono māvaevae ata manifinifi, e pei o u'amea po'o vaega dielectric, ma fa'avaivaia ai le fa'atinoga eletise a le chip ma le fa'atuatuaina i se taimi umi.

* Fa'aletonu o le fausaga: E ono pi'o fausaga o le masini ona o le mamafa, ma mafua ai fa'afitauli eletise e pei o le tafe po'o le pupu'u o le eletise.

O le Matafaioi o le Puleaina o le Vevela Maualuga ma le Sa'o

O faiga fa'atekonolosi fa'aonaponei e pei o masini fa'amālūlūina fa'apisinisi TEYU ua mamanuina e fa'atumauina le mautu o le vevela ma le sa'o lelei. Mo se fa'ata'ita'iga, o le TEYU chiller laser vave tele e ofoina atu le sa'o o le pulea e o'o atu i le ±0.08°C, ma fa'amautinoa ai le mautu o le fa'agasologa mo masini semiconductor taua, e aofia ai etchers, deposition systems, ma ion implants.

Aogā o le Fa'amālūlūina Sa'o i Fa'agasologa o Semiconductor

1. Taofia le Māvaevae o le Vevela: I le faatumauina o le malulu tutusa, e faaitiitia ai e masini faamalulu aafiaga o le le fetaui o le CTE i le va o meafaitino eseese, ma faaitiitia ai le lamatiaga o māvaevae ma le vaeluaina i le taimi o le taamilosaga o le vevela.

2. Fa'aleleia le Tutusa o le Fa'aaogaina o le Doping: I le fa'apipi'iina o le ion ma le fa'amafanafanaina mulimuli ane, o tulaga mautu o le vevela e fa'amautinoa ai le fa'agaoioiga faifai pea o le dopant i luga o le wafer, fa'aleleia atili ai le fa'atinoga ma le fa'atuatuaina o le chip.

3. Fa'aleleia atili le Tumau o le Vaega Oxide: O le fa'atonutonuina sa'o o le vevela e fesoasoani e aveese ai le fesuia'iga o le vevela mai le pito i le ogatotonu i le taimi o le fa'ama'iina, ma fa'amautinoa ai le mafiafia tutusa o le gate oxide, e taua tele mo uiga tutusa o le transistor.

Faaiuga

E taua tele le puleaina o le vevela i le gaosiga o semiconductor. Faatasi ai ma le pulega maualuga o le vevela, e mafai e le au gaosi oloa ona faaitiitia mea sese e mafua mai i le atuatuvale o le vevela, faaleleia atili le tutusa o le faagasologa o le doping ma le oxidation, ma iu ai ina ausia le maualuga o le chip yields ma le lelei o le faatinoga o masini.