I le gaosiga o semiconductor,
pulea tonu le vevela
e iai sona sao taua i le fa'amautinoaina o le lelei o le chip, fa'atinoga, ma le gaosiga o fua. E oo lava i nai suiga laiti o le vevela e mafai ona mafua ai ni suiga tetele i amioga faaletino ma taunuuga o le faagasologa, e ono taitai atu ai i faaletonu po o masini faaletonu.
![Why Temperature Control Is Critical in Semiconductor Manufacturing?]()
Le A'afiaga o Fa'afitauli Fa'avevela
O masini Semiconductor e aofia ai le tele o laulau o meafaitino ma faʻatusatusaga eseese o le faʻalauteleina o le vevela (CTE). Mo se fa'ata'ita'iga, o fa'amea fa'asilika, feso'ota'iga u'amea, ma fa'apalapala dielectric e fa'alautele pe fa'akonekarate i fua eseese a'o vave fa'avevela pe mālūlū. O lenei le fetaui e mafai ona faʻatupuina le vevela vevela, e oʻo atu ai i faʻafitauli matuia o gaosiga e pei ole:
* Ta'eta'e:
O ta'eta'e i luga po'o totonu i totonu o fafie e mafai ona fa'aleagaina ai le fa'ainisinia ma ta'ita'i atu i le faaletonu o masini.
* Faʻasalaga:
O ata manifinifi, e pei o u'amea po'o fa'apalapala dielectric, e mafai ona vavae'ese, fa'avaivaia ai le fa'aogaina o le eletise ma fa'atuatuaina umi.
* Faiga fa'avae:
O fausaga o masini e mafai ona pa'u ona o le atuatuvale, ma mafua ai faafitauli tau eletise e pei o le tafe po'o le pu'upu'u.
Le Matafaioi a le Pulea o le Temperature High-Precision
O faiga fa'apitoa e pulea ai le vevela e pei o le TEYU fa'a'alili fale gaosi oloa ua mamanuina e fa'amautu ai le mautu o le vevela ma le sa'o lelei. Mo se faʻataʻitaʻiga, TEYU's
ultrafast leisa chiller
ofo atu se fa'atonuga sa'o e o'o atu i le ± 0.08°C, fa'amautinoaina le fa'amautuina o le fa'agasologa mo mea fa'aoga semiconductor taua, e aofia ai etchers, fa'apipi'i faiga, ma ion implanters.
![TEYU Ultrafast Laser Chiller CWUP-20ANP]()
Fa'amanuiaga ole Fa'amalieina Sa'o ile Fa'agasologa Semiconductor
1. Taofi le Ta'eta'e o le Fa'amama:
E ala i le fa'atumauina o le fa'amalie toniga, e fa'aitiitia ai a'afiaga o le le fetaui o le CTE i le va o mea 'ese'ese, fa'aitiitia ai le lamatiaga o ta'eta'e ma delamination i le taimi o le uila vevela.
2. Fa'aleleia le Tulaga o Doping:
I le fa'apipi'iina o le ion ma le fa'asolosolo mulimuli ane, fa'amautu tulaga vevela e fa'amautinoa ai le fa'agaoioia faifaipea o le dopant i luga o le wafer, fa'aleleia le fa'atinoina o le chip ma le fa'amaoni.
3. Fa'aleleia le Fa'asa'oina o le Oxide Layer:
E fesoasoani le fa'atonuga sa'o o le vevela e fa'ate'aina fa'ama'i fa'amama i le ogatotonu i le taimi o le fa'ama'iina, fa'amautinoa le mafiafia o le oxide o le faitoto'a, e taua tele mo uiga fa'asolo.
Fa'ai'uga
O le pulea o le vevela e taua tele i le gaosiga o semiconductor. Faatasi ai ma le maualuga-saʻo lelei pulega vevela, e mafai e le au gaosi oloa ona faʻaitiitia faʻaletonu e mafua mai i le vevela vevela, faʻaleleia le tutusa i le doping ma le faʻamaʻiina o gaioiga, ma iu ai ina ausia le maualuga o fualaʻau ma sili atu le faʻatinoina o masini.