Nahoana no zava-dehibe ny fanaraha-maso ny maripana amin'ny famokarana semiconductor?

Amin'ny famokarana semiconductor, ny fanaraha-maso ny mari-pana marina dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fiantohana ny kalitao chip, ny fampisehoana ary ny vokatra famokarana. Na dia ny fiovaovan'ny mari-pana kely aza dia mety hiteraka fiovana lehibe eo amin'ny fitondran-tena ara-materialy sy ny vokatry ny fizotrany, izay mety hitarika ho amin'ny lesoka na ny tsy fahombiazan'ny fitaovana.

Ny fiantraikan'ny adin-tsaina mafana

Ny fitaovana semiconductor dia misy sosona fitaovana marobe miaraka amin'ny coefficients of thermal expansion (CTE). Ohatra, ny wafers silisiôma, ny fifandraisana metaly, ary ny sosona dielectric dia mivelatra na mifamatotra amin'ny tahan'ny hafa mandritra ny hafanana na ny fampangatsiahana haingana. Ity tsy fitoviana ity dia mety hiteraka adin-tsaina mafana, izay miteraka olana lehibe amin'ny famokarana toy ny:

* Fitraka: Ny triatra ambonin'ny na anatiny ao amin'ny wafer dia mety hanimba ny fahamendrehan'ny mekanika ary hitarika amin'ny tsy fahombiazan'ny fitaovana.

* Delamination: Ny sarimihetsika manify, toy ny metaly na ny dielectric layers, dia mety hisaraka, hampihena ny fahombiazan'ny herinaratra ary ny fahatokisana maharitra.

* Fikorontanana ara-drafitra: Mety hivadika ny firafitry ny fitaovana noho ny adin-tsaina, ka miteraka olana amin'ny herinaratra toy ny fahatapahan-jiro na fikitihana fohy.

Ny anjara asan'ny fanaraha-maso ny maripana avo lenta

Ny rafitra fanaraha-maso ny mari-pana ambony toy ny chiller indostrialy TEYU dia natao hitazomana ny fahamarinan-toerana amin'ny mari-pana amin'ny fahamendrehana miavaka. Ohatra, ny chiller laser ultrafast an'ny TEYU dia manome fahitsiana fanaraha-maso hatramin'ny ± 0.08 ° C, miantoka ny fahamarinan'ny fizotran'ny fitaovana semiconductor tsikera, ao anatin'izany ny etchers, ny rafitra deposition ary ny implanter ion.

Tombontsoa amin'ny fampangatsiahana mazava tsara amin'ny fizotran'ny semiconductor

1. Misoroka ny fikorontanan'ny adin-tsaina: Amin'ny fitazonana ny fampangatsiahana fanamiana, ny chillers dia manamaivana ny fiantraikan'ny tsy fitovian'ny CTE eo amin'ny fitaovana isan-karazany, mampihena tsara ny mety hisian'ny triatra sy delamination mandritra ny bisikileta mafana.

2. Manatsara ny fanamiana ny doping: Amin'ny fametrahana ion sy ny fanodinkodinana manaraka, ny toe-piainana mafana tsy miovaova dia miantoka ny fampahavitrihana dopant tsy tapaka manerana ny wafer, manatsara ny fahombiazan'ny chip sy ny fahamendrehana.

3. Manatsara ny tsy fitovian'ny sosona Oxide: Ny fifehezana ny mari-pana marina dia manampy amin'ny fanafoanana ny gradient mafana amin'ny sisiny mankany amin'ny afovoany mandritra ny oxidation, miantoka ny hatevin'ny vavahady oksizenina, tena ilaina amin'ny toetran'ny transistor tsy miovaova.

Famaranana

Ny fanaraha-maso ny mari-pana dia tena ilaina amin'ny fanamboarana semiconductor. Miaraka amin'ny fitantanana hafanana avo lenta, ny mpanamboatra dia afaka mampihena ny lesoka ateraky ny adin-tsaina mafana, manatsara ny fitovian'ny doping sy ny fizotran'ny oxidation, ary amin'ny farany dia mahatratra ny vokatra ambony kokoa sy ny fahombiazan'ny fitaovana.