Nahoana no zava-dehibe ny fanaraha-maso ny maripana amin'ny famokarana semiconductor?

Amin'ny famokarana semiconductor, fanaraha-maso mari-pana marina  dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fiantohana ny kalitao chip, ny fampisehoana ary ny vokatra famokarana. Na dia ny fiovaovan'ny mari-pana kely aza dia mety hiteraka fiovana lehibe eo amin'ny fitondran-tena ara-materialy sy ny vokatry ny fizotrany, izay mety hitarika ho amin'ny lesoka na ny tsy fahombiazan'ny fitaovana.

Ny fiantraikan'ny adin-tsaina mafana

Ny fitaovana semiconductor dia misy sosona fitaovana marobe miaraka amin'ny coefficients of thermal expansion (CTE). Ohatra, ny wafers silisiôma, ny fifandraisana metaly, ary ny sosona dielectric dia mivelatra na mifamatotra amin'ny tahan'ny hafa mandritra ny hafanana na ny fampangatsiahana haingana. Ity tsy fitoviana ity dia mety hiteraka adin-tsaina mafana, miteraka olana lehibe amin'ny famokarana toy ny:

* Cracks: Mety hanimba ny fahamendrehana ara-mekanika sy hitarika ho amin'ny tsy fahombiazan'ny fitaovana ny ratra amin'ny tafo na anatiny amin'ny wafers.

* Delamination: Ny sarimihetsika manify, toy ny metaly na ny sosona dielectric, dia mety hisaraka, hampihena ny fahombiazan'ny elektrônika sy ny fahatokisana maharitra.

* Fikorontanana ara-drafitra: Ny firafitry ny fitaovana dia mety hikorontana noho ny adin-tsaina, ka miteraka olana amin'ny herinaratra toy ny fahatapahan-jiro na ny circuit fohy.

Ny anjara asan'ny fanaraha-maso ny maripana avo lenta

Ny rafitra fanaraha-maso ny mari-pana ambony toy ny chiller indostrialy TEYU dia natao hitazomana ny fahamarinan-toerana amin'ny mari-pana amin'ny fahamendrehana miavaka. Ohatra, ny TEYU's chiller tamin'ny laser ultrafast  manome ny fanaraha-maso marina hatramin'ny ± 0.08 ° C, miantoka ny fizotry ny fitoniana ho an'ny fitaovana semiconductor manan-danja, anisan'izany ny etchers, ny deposition sy ny implanters ion.

Tombontsoa amin'ny fampangatsiahana mazava tsara amin'ny fizotran'ny semiconductor

1. Misoroka ny fikorontanan'ny hafanana mafana:  Amin'ny fitazonana ny fampangatsiahana fanamiana, ny chillers dia manamaivana ny vokatry ny tsy fitovian'ny CTE eo amin'ny fitaovana samihafa, mampihena tsara ny mety hisian'ny triatra sy delamination mandritra ny bisikileta mafana.

2. Manatsara ny fanamiana doping:  Ao amin'ny implantation ion sy ny annealing manaraka, ny toe-piainana mafana maharitra dia miantoka ny fampahavitrihana dopant tsy tapaka manerana ny wafer, manatsara ny fahombiazan'ny chip sy ny fahamendrehana.

3. Manatsara ny tsy fitovian'ny sosona Oxide:  Ny fifehezana ny mari-pana marina dia manampy amin'ny fanafoanana ny gradient mafana amin'ny sisiny mankany amin'ny afovoany mandritra ny oxidation, miantoka ny hatevin'ny vavahady oksidena, zava-dehibe amin'ny toetran'ny transistor tsy miovaova.

Famaranana

Ny fanaraha-maso ny mari-pana dia tena ilaina amin'ny fanamboarana semiconductor. Miaraka amin'ny fitantanana hafanana avo lenta, ny mpanamboatra dia afaka mampihena ny lesoka ateraky ny adin-tsaina mafana, manatsara ny fitovian'ny doping sy ny fizotran'ny oxidation, ary amin'ny farany dia mahatratra ny vokatra ambony kokoa sy ny fahombiazan'ny fitaovana.