Ինչո՞ւ է ջերմաստիճանի կարգավորումը կարևոր կիսահաղորդչային արտադրության մեջ։

Կիսահաղորդչային արտադրության մեջ, ճշգրիտ ջերմաստիճանի կառավարում  կարևոր դեր է խաղում չիպի որակի, կատարողականի և արտադրության արդյունավետության ապահովման գործում։ Նույնիսկ ջերմաստիճանի աննշան տատանումները կարող են զգալի փոփոխություններ առաջացնել նյութի վարքագծում և գործընթացի արդյունքներում, ինչը կարող է հանգեցնել թերությունների կամ սարքի խափանումների։

Ջերմային լարվածության ազդեցությունը

Կիսահաղորդչային սարքերը բաղկացած են տարբեր ջերմային ընդարձակման գործակիցներով (CTE) նյութերի բազմաթիվ շերտերից։ Օրինակ, սիլիցիումային թիթեղները, մետաղական միացումները և դիէլեկտրիկ շերտերը տարբեր արագությամբ ընդարձակվում կամ կծկվում են արագ տաքացման կամ սառեցման ժամանակ։ Այս անհամապատասխանությունը կարող է ջերմային սթրես առաջացնել, ինչը կարող է հանգեցնել լուրջ արտադրական խնդիրների, ինչպիսիք են՝:

* Ճաքեր: Վեֆլի մակերեսային կամ ներքին ճաքերը կարող են խաթարել մեխանիկական ամբողջականությունը և հանգեցնել սարքի խափանման։

* Շերտավորում: Բարակ թաղանթները, ինչպիսիք են մետաղական կամ դիէլեկտրիկ շերտերը, կարող են առանձնանալ՝ թուլացնելով չիպի էլեկտրական աշխատանքը և երկարաժամկետ հուսալիությունը։

* Կառուցվածքային դեֆորմացիա: Սարքի կառուցվածքը կարող է ծռվել լարվածության պատճառով, ինչը կարող է առաջացնել էլեկտրական խնդիրներ, ինչպիսիք են արտահոսքը կամ կարճ միացումը։

Բարձր ճշգրտության ջերմաստիճանի կառավարման դերը

TEYU արդյունաբերական սառեցուցիչների նման առաջադեմ ջերմաստիճանի կառավարման համակարգերը նախագծված են ջերմաստիճանի կայունությունը բացառիկ ճշգրտությամբ պահպանելու համար։ Օրինակ՝ TEYU-ն գերարագ լազերային սառեցնող սարք  Առաջարկում է մինչև ±0.08°C կառավարման ճշգրտություն՝ ապահովելով կարևորագույն կիսահաղորդչային սարքավորումների, այդ թվում՝ փորագրիչների, նստեցման համակարգերի և իոնային իմպլանտատորների, գործընթացի կայունությունը։

Կիսահաղորդչային գործընթացներում ճշգրիտ սառեցման առավելությունները

1. Կանխում է ջերմային լարվածության ճաքերի առաջացումը:  Միատարր սառեցումը պահպանելով՝ սառեցուցիչները նվազագույնի են հասցնում տարբեր նյութերի միջև CTE անհամապատասխանության ազդեցությունը, արդյունավետորեն նվազեցնելով ճաքերի և շերտավորման ռիսկը ջերմային ցիկլի ընթացքում։

2. Բարելավում է դոպինգի միատարրությունը:  Իոնային իմպլանտացիայի և հետագա թրծման ժամանակ կայուն ջերմային պայմանները ապահովում են դոպանտի կայուն ակտիվացում վեֆերի վրա, բարելավելով չիպի աշխատանքը և հուսալիությունը։

3. Բարելավում է օքսիդային շերտի կայունությունը:  Ջերմաստիճանի ճշգրիտ կարգավորումը օգնում է վերացնել եզրից կենտրոն ջերմային գրադիենտները օքսիդացման ընթացքում՝ ապահովելով դարպասի օքսիդի միատարր հաստություն, որը կարևոր է տրանզիստորի կայուն բնութագրերի համար։

Եզրակացություն

Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ ջերմաստիճանի կարգավորումը անփոխարինելի է։ Բարձր ճշգրտության ջերմային կառավարման շնորհիվ արտադրողները կարող են նվազեցնել ջերմային լարվածության հետևանքով առաջացած թերությունները, բարելավել միատարրությունը խառնուրդների և օքսիդացման գործընթացներում և, ի վերջո, հասնել չիպերի ավելի բարձր արտադրողականության և սարքի ավելի լավ աշխատանքի։