Kini idi ti Iṣakoso iwọn otutu jẹ pataki ni iṣelọpọ Semiconductor?

Ni iṣelọpọ semikondokito, iṣakoso iwọn otutu deede ṣe ipa pataki ni idaniloju didara ërún, iṣẹ ṣiṣe, ati ikore iṣelọpọ. Paapaa awọn iyipada iwọn otutu diẹ le fa awọn ayipada pataki ninu ihuwasi ohun elo ati awọn abajade ilana, ti o le ja si awọn abawọn tabi awọn ikuna ẹrọ.

Ipa ti Wahala Gbona

Awọn ẹrọ semikondokito ni awọn fẹlẹfẹlẹ pupọ ti awọn ohun elo pẹlu awọn onisọdipúpọ oriṣiriṣi ti imugboroosi gbona (CTE). Fún àpẹrẹ, àwọn afárá ohun alumọni, àwọn ìsopọ̀ irin, àti àwọn ìpele dielectric ti fẹ̀ síi tàbí àdéhùn ní àwọn òṣùwọ̀n oríṣiríṣi nígbà gbígbóná yára tàbí itutu agbaiye. Aiṣedeede yii le ṣẹda aapọn igbona, ti o yori si awọn ọran iṣelọpọ pataki bii:

* Awọn dojuijako: Dada tabi awọn dojuijako inu ninu awọn wafers le ba iduroṣinṣin ẹrọ jẹ ki o ja si ikuna ẹrọ.

* Delamination: Awọn fiimu tinrin, gẹgẹbi irin tabi awọn fẹlẹfẹlẹ dielectric, le ya sọtọ, di irẹwẹsi iṣẹ itanna ti chirún ati igbẹkẹle igba pipẹ.

* Awọn abuku igbekale: Awọn ẹya ẹrọ le ja nitori aapọn, nfa awọn iṣoro itanna bi jijo tabi awọn iyika kukuru.

Ipa ti Iṣakoso iwọn otutu ti o ga julọ

Awọn eto iṣakoso iwọn otutu ti ilọsiwaju bii awọn chillers ile-iṣẹ TEYU jẹ apẹrẹ lati ṣetọju iduroṣinṣin iwọn otutu pẹlu konge iyasọtọ. Fun apẹẹrẹ, chiller laser ultrafast ti TEYU nfunni ni deede iṣakoso ti o to ± 0.08°C, ni idaniloju iduroṣinṣin ilana fun ohun elo semikondokito to ṣe pataki, pẹlu awọn etchers, awọn eto ifisilẹ, ati awọn ifibọ ion.

Awọn anfani ti Itutu agbaiye ni Awọn ilana Semikondokito

1. Ṣe idilọwọ Gbigbọn Wahala Gbona: Nipa mimu itutu agbaiye aṣọ, awọn chillers dinku awọn ipa ti aiṣedeede CTE laarin awọn ohun elo oriṣiriṣi, ni imunadoko idinku eewu ti awọn dojuijako ati delamination lakoko gigun kẹkẹ gbona.

2. Ṣe Imudara Aṣọkan Doping: Ni fifin ion ati annealing ti o tẹle, awọn ipo gbigbona iduroṣinṣin ṣe idaniloju imuṣiṣẹ dopant deede kọja wafer, imudara iṣẹ chirún ati igbẹkẹle.

3. Ṣe Imudara Aitasera Layer Oxide: Ilana iwọn otutu deede ṣe iranlọwọ imukuro awọn gradients igbona eti-si-aarin lakoko ifoyina, ni idaniloju sisanra oxide ibode aṣọ, pataki fun awọn abuda transistor deede.

Ipari

Iṣakoso iwọn otutu jẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito. Pẹlu iṣakoso igbona giga-giga, awọn aṣelọpọ le dinku awọn abawọn ti o fa nipasẹ aapọn igbona, mu iṣọkan pọ si ni doping ati awọn ilana ifoyina, ati nikẹhin ṣaṣeyọri awọn eso ti o ga julọ ati iṣẹ ẹrọ to dara julọ.