ເປັນຫຍັງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຈຶ່ງສໍາຄັນໃນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີ?

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ  ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຊິບ, ປະສິດທິພາບແລະຜົນຜະລິດການຜະລິດ. ເຖິງແມ່ນວ່າການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງທີ່ສໍາຄັນໃນພຶດຕິກໍາຂອງວັດສະດຸແລະຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການ, ເຊິ່ງອາດຈະນໍາໄປສູ່ຄວາມຜິດປົກກະຕິຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ.

ຜົນກະທົບຂອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ

ອຸປະກອນ semiconductor ປະກອບດ້ວຍຫຼາຍຊັ້ນຂອງວັດສະດຸທີ່ມີຄ່າສໍາປະສິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE). ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, wafers ຊິລິໂຄນ, ເຊື່ອມຕໍ່ກັນຂອງໂລຫະ, ແລະຊັ້ນ dielectric ຂະຫຍາຍຫຼືເຮັດສັນຍາໃນອັດຕາທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຫຼືຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາ. ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງນີ້ສາມາດສ້າງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ນໍາໄປສູ່ບັນຫາການຜະລິດທີ່ຮ້າຍແຮງເຊັ່ນ::

* ຮອຍແຕກ: ພື້ນຜິວຫຼືຮອຍແຕກພາຍໃນໃນ wafers ສາມາດປະນີປະນອມຄວາມສົມບູນຂອງກົນຈັກແລະນໍາໄປສູ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ.

* Delamination: ຮູບເງົາບາງໆ, ເຊັ່ນ: ຊັ້ນໂລຫະຫຼື dielectric, ອາດຈະແຍກອອກ, ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບໄຟຟ້າຂອງຊິບອ່ອນແອລົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ.

* ການ​ປ່ຽນ​ຮູບ​ແບບ​ໂຄງ​ສ້າງ​: ໂຄງສ້າງອຸປະກອນອາດຈະເສື່ອມເນື່ອງຈາກຄວາມກົດດັນ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດບັນຫາໄຟຟ້າເຊັ່ນ: ການຮົ່ວໄຫຼ ຫຼືວົງຈອນສັ້ນ.

ບົດບາດຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ລະບົບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແບບພິເສດເຊັ່ນເຄື່ອງເຢັນອຸດສາຫະກໍາ TEYU ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາພິເສດ. ຕົວຢ່າງ, TEYU's ເຄື່ອງເຢັນເລເຊີ ultrafast  ສະຫນອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມເຖິງ 0.08 ° C, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການສໍາລັບອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ສໍາຄັນ, ລວມທັງ etchers, ລະບົບ deposition, ແລະ implanters ion.

ຜົນປະໂຫຍດຂອງຄວາມເຢັນທີ່ຊັດເຈນໃນຂະບວນການ Semiconductor

1. ປ້ອງ​ກັນ​ຄວາມ​ກົດ​ດັນ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ແຕກ​:  ໂດຍການຮັກສາຄວາມເຢັນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນຈະຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງ CTE ທີ່ບໍ່ກົງກັນລະຫວ່າງວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຮອຍແຕກແລະ delamination ໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ.

2. ປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ Doping:  ໃນ ion implantation ແລະ annealing ຕໍ່ມາ, ສະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງຮັບປະກັນການກະຕຸ້ນ dopant ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວ wafer, ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບ chip ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.

3. ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນ Oxide:  ລະບຽບການອຸນຫະພູມທີ່ຖືກຕ້ອງຊ່ວຍກໍາຈັດ gradients ຄວາມຮ້ອນຈາກແຂບຫາສູນກາງໃນລະຫວ່າງການຜຸພັງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະຕູຮົ້ວອອກໄຊ, ສໍາຄັນສໍາລັບຄຸນລັກສະນະຂອງ transistor ສອດຄ່ອງ.

ສະຫຼຸບ

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການຜະລິດ semiconductor. ດ້ວຍການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບໃນຂະບວນການ doping ແລະການຜຸພັງ, ແລະໃນທີ່ສຸດບັນລຸຜົນຜະລິດຂອງຊິບທີ່ສູງຂຶ້ນແລະການປະຕິບັດອຸປະກອນທີ່ດີກວ່າ.