ເປັນຫຍັງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຈຶ່ງສໍາຄັນໃນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີ?

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຊິບ, ປະສິດທິພາບແລະຜົນຜະລິດການຜະລິດ. ເຖິງແມ່ນວ່າການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງທີ່ສໍາຄັນໃນພຶດຕິກໍາຂອງວັດສະດຸແລະຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການ, ເຊິ່ງອາດຈະນໍາໄປສູ່ຄວາມຜິດປົກກະຕິຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ.

ຜົນກະທົບຂອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ

ອຸປະກອນ semiconductor ປະກອບດ້ວຍຫຼາຍຊັ້ນຂອງວັດສະດຸທີ່ມີຄ່າສໍາປະສິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE). ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, wafers ຊິລິໂຄນ, ເຊື່ອມຕໍ່ກັນຂອງໂລຫະ, ແລະຊັ້ນ dielectric ຂະຫຍາຍຫຼືເຮັດສັນຍາໃນອັດຕາທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຫຼືຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາ. ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງນີ້ສາມາດສ້າງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ນໍາໄປສູ່ບັນຫາການຜະລິດທີ່ຮ້າຍແຮງເຊັ່ນ:

* ຮອຍແຕກ: ຮອຍແຕກຂອງພື້ນຜິວຫຼືພາຍໃນໃນ wafers ສາມາດທໍາລາຍຄວາມສົມບູນຂອງກົນຈັກແລະນໍາໄປສູ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ.

* Delamination: ຮູບເງົາບາງໆ, ເຊັ່ນ: ຊັ້ນໂລຫະຫຼື dielectric, ອາດຈະແຍກອອກ, ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບໄຟຟ້າຂອງ chip ອ່ອນແອແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ.

* ການຜິດປົກກະຕິຂອງໂຄງສ້າງ: ໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນອາດຈະ warp ເນື່ອງຈາກຄວາມກົດດັນ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດບັນຫາໄຟຟ້າເຊັ່ນ: ການຮົ່ວໄຫຼຫຼືວົງຈອນສັ້ນ.

ບົດບາດຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ລະບົບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແບບພິເສດເຊັ່ນເຄື່ອງເຢັນອຸດສາຫະກໍາ TEYU ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາພິເສດ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ເຄື່ອງເຢັນເລເຊີ ultrafast ຂອງ TEYU ສະຫນອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມສູງເຖິງ ± 0.08 ° C, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການສໍາລັບອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ສໍາຄັນ, ລວມທັງ etchers, ລະບົບ deposition, ແລະ implanters ion.

ຜົນປະໂຫຍດຂອງຄວາມເຢັນທີ່ຊັດເຈນໃນຂະບວນການ Semiconductor

1. ປ້ອງກັນການຮອຍແຕກຂອງຄວາມຮ້ອນ: ໂດຍການຮັກສາຄວາມເຢັນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນຈະຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງ CTE ບໍ່ກົງກັນລະຫວ່າງວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການເກີດຮອຍແຕກ ແລະ ຮອຍແຕກໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ.

2. ປັບປຸງ Doping Uniformity: ໃນ ion implantation ແລະ annealing ຕໍ່ມາ, ສະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງຮັບປະກັນການກະຕຸ້ນ dopant ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວ wafer ໄດ້, ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບ chip ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.

3. ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນ Oxide: ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຖືກຕ້ອງຊ່ວຍກໍາຈັດ gradients ຄວາມຮ້ອນຂອງແຂບຫາສູນກາງໃນລະຫວ່າງການຜຸພັງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນາຂອງປະຕູອອກໄຊທີ່ເປັນເອກະພາບ, ສໍາຄັນສໍາລັບຄຸນລັກສະນະຂອງ transistor ທີ່ສອດຄ່ອງ.

ສະຫຼຸບ

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການຜະລິດ semiconductor. ດ້ວຍການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບໃນຂະບວນການ doping ແລະການຜຸພັງ, ແລະໃນທີ່ສຸດບັນລຸຜົນຜະລິດຂອງຊິບທີ່ສູງຂຶ້ນແລະການປະຕິບັດອຸປະກອນທີ່ດີກວ່າ.