Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд яагаад температурын хяналт чухал байдаг вэ?

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд, температурын нарийн хяналт  чипийн чанар, гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн гарцыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Температурын бага зэрэг хэлбэлзэл нь материалын үйл ажиллагаа, үйл явцын үр дүнд ихээхэн өөрчлөлт оруулж, согог, төхөөрөмжийн эвдрэлд хүргэж болзошгүй юм.

Дулааны стрессийн нөлөө

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд нь дулааны тэлэлтийн янз бүрийн коэффициент (CTE) бүхий олон давхар материалаас бүрддэг. Жишээлбэл, цахиур хавтан, металл холболт, диэлектрик давхаргууд нь хурдан халаах эсвэл хөргөх үед янз бүрийн хурдаар өргөжиж эсвэл агшдаг. Энэ үл нийцэл нь дулааны стрессийг үүсгэж, үйлдвэрлэлийн ноцтой асуудалд хүргэдэг:

* Хагарал: Өрөөний гадаргуу эсвэл дотоод хагарал нь механик бүрэн бүтэн байдлыг алдагдуулж, төхөөрөмжийн эвдрэлд хүргэдэг.

* Деламинаци: Металл эсвэл диэлектрик давхарга гэх мэт нимгэн хальс нь салж, чипийн цахилгааны гүйцэтгэл, урт хугацааны найдвартай байдлыг сулруулж болно.

* Бүтцийн хэв гажилт: Төхөөрөмжийн бүтэц нь стрессээс болж эвдэрч, алдагдсан, богино холболт зэрэг цахилгааны асуудал үүсгэж болзошгүй.

Өндөр нарийвчлалтай температурын хяналтын үүрэг

TEYU үйлдвэрийн хөргөгч зэрэг дэвшилтэт температурын хяналтын систем нь температурын тогтвортой байдлыг онцгой нарийвчлалтайгаар хадгалахад зориулагдсан. Жишээлбэл, TEYU-ийнх хэт хурдан лазер хөргөгч  нь ±0.08°С хүртэлх хяналтын нарийвчлалыг санал болгож, нэн чухал хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж, тухайлбал эш татагч, тунадасжуулах систем, ион суулгацын процессын тогтвортой байдлыг хангадаг.

Хагас дамжуулагч процесс дахь нарийн хөргөлтийн ашиг тус

1. Дулааны стресс хагарахаас сэргийлнэ:  Хөргөлтийг жигд байлгаснаар хөргөгч нь янз бүрийн материалуудын хоорондох CTE-ийн үл нийцэх нөлөөг багасгаж, дулааны эргэлтийн үед хагарал, давхарга үүсэх эрсдлийг үр дүнтэй бууруулдаг.

2. Допингийн жигд байдлыг сайжруулна:  Ион суулгац болон дараа нь зөөлрүүлэхэд дулааны тогтвортой нөхцөл нь вафель дээрх нэмэлт бодисыг тогтмол идэвхжүүлж, чипний гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.

3. Оксидын давхаргын тууштай байдлыг сайжруулна:  Температурын нарийн зохицуулалт нь исэлдэлтийн үед ирмэгээс төв рүү чиглэсэн дулааны градиентийг арилгахад тусалдаг бөгөөд транзисторын шинж чанарыг тогтвортой байлгахад чухал ач холбогдолтой хаалганы ислийн жигд зузааныг баталгаажуулдаг.

Дүгнэлт

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд температурын хяналт зайлшгүй шаардлагатай. Өндөр нарийвчлалтай дулааны менежментийн тусламжтайгаар үйлдвэрлэгчид дулааны стрессээс үүдэлтэй согогийг бууруулж, допинг болон исэлдэлтийн үйл явцын жигд байдлыг сайжруулж, эцэст нь чипний бүтээмж өндөр, төхөөрөмжийн илүү сайн гүйцэтгэлд хүрч чадна.