Kedu ihe kpatara njikwa okpomọkụ ji dị oke egwu na nrụpụta Semiconductor?

Na mmepụta nke semiconductor, njikwa okpomọkụ ziri ezi  na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịhụ na mgbawa dị mma, arụmọrụ, na mmepụta mmepụta. Ọbụna obere mgbanwe okpomọkụ nwere ike ime ka mgbanwe dị ukwuu na omume ihe yana nsonaazụ nhazi, nwere ike ibute ntụpọ ma ọ bụ ọdịda ngwaọrụ.

Mmetụta nke nrụgide okpomọkụ

Ngwa semiconductor nwere ọtụtụ ihe dị iche iche nwere ọnụọgụ dị iche iche nke mgbasawanye thermal (CTE). Ọmụmaatụ, silicon wafers, metal interconnects, na dielectric n'ígwé na-agbasa ma ọ bụ nkwekọrịta n'ọnụọgụ dị iche iche n'oge kpo oku ngwa ngwa ma ọ bụ jụrụ oyi. Nkwekọrịta a nwere ike ịmepụta nrụgide thermal, na-eduga na nsogbu nrụpụta dị njọ dị ka:

* Mgbawa: Ihu elu ma ọ bụ mgbawa dị n'ime wafer nwere ike imebi iguzosi ike n'ezi ihe ma bute ọdịda ngwaọrụ.

* Delamination: Ihe nkiri ndị dị gịrịgịrị, dị ka igwe igwe ma ọ bụ akwa dielectric, nwere ike kewapụ, na-ebelata arụmọrụ ọkụ nke mgbawa na ntụkwasị obi ogologo oge.

* Nrụrụ ihe owuwu: Akụkụ ngwaọrụ nwere ike ịgbawa n'ihi nrụgide, na-ebute nsogbu eletrik dịka ntapu ma ọ bụ sekit dị mkpụmkpụ.

Ọrụ nke njikwa okpomọkụ dị elu nke ọma

Sistemụ njikwa okpomọkụ dị elu dị ka TEYU ụlọ ọrụ chillers ka emebere iji dowe nkwụsi ike okpomọkụ na nkenke pụrụ iche. Dịka ọmụmaatụ, TEYU's ultrafast laser chiller  na-enye njikwa ziri ezi ruo ± 0.08 ° C, na-eme ka nkwụsi ike nke usoro maka akụrụngwa semiconductor dị oke egwu, gụnyere etchers, usoro nkwụnye ego, na ntinye ion.

Uru nke ịdị jụụ nke ọma na usoro Semiconductor

1. Na-egbochi mgbawa nrụgide okpomọkụ:  Site n'ịkwado oyi oyi, chillers na-ebelata mmetụta CTE na-adakọghị n'etiti ihe dị iche iche, na-ebelata ihe ize ndụ nke mgbawa na delamination nke ọma n'oge ịgba ígwè ọkụ.

2. Na-akwalite ịdị n'otu Doping:  N'ime ntinye ion na mgbakasị ahụ na-esote, ọnọdụ okpomọkụ kwụsiri ike na-eme ka arụ ọrụ dopant na-agbanwe agbanwe n'ofe wafer, na-eme ka arụmọrụ mgbawa na ntụkwasị obi dịkwuo elu.

3. Na-eme ka nkwekọ nke oyi akwa Oxide:  Nhazi okpomọkụ ziri ezi na-enyere aka iwepụ gradients thermal n'akụkụ ruo na etiti n'oge oxidation, na-ahụ na ọkpụrụkpụ oxide ọnụ ụzọ ámá, dị oke mkpa maka njirimara transistor na-agbanwe agbanwe.

Mmechi

Ijikwa okpomọkụ dị mkpa na nrụpụta semiconductor. Site na njikwa okpomọkụ dị elu nke ọma, ndị na-emepụta nwere ike ibelata ntụpọ nke nrụgide okpomọkụ na-akpata, melite ịdị n'otu na usoro doping na oxidation, na n'ikpeazụ nweta mgbawa dị elu na ịrụ ọrụ ngwaọrụ ka mma.