Poukisa kontwòl tanperati enpòtan nan fabrikasyon semi-kondiktè?

Nan fabrikasyon semi-kondiktè, kontwòl tanperati presi  jwe yon wòl enpòtan nan asire kalite chip, pèfòmans, ak rannman pwodiksyon. Menm ti chanjman tanperati ka lakòz chanjman enpòtan nan konpòtman materyèl ak rezilta pwosesis yo, sa ki ka mennen nan domaj oswa echèk aparèy.

Enpak Estrès Tèmik la

Aparèy semi-kondiktè yo konpoze de plizyè kouch materyèl ki gen diferan koyefisyan ekspansyon tèmik (CTE). Pa egzanp, waf silikon, koneksyon metal, ak kouch dyelèktrik elaji oswa kontra nan diferan vitès pandan chofaj oswa refwadisman rapid. Dezekilib sa a ka kreye estrès tèmik, sa ki ka mennen nan pwoblèm fabrikasyon grav tankou:

* Fant: Fant sifas oswa entèn nan wafer yo ka konpwomèt entegrite mekanik epi lakòz echèk aparèy.

* Delaminasyon: Fim mens, tankou metal oswa kouch dyelèktrik, ka separe, sa ki febli pèfòmans elektrik chip la ak fyab li alontèm.

* Defòmasyon estriktirèl: Estrikti aparèy yo ka defòme akòz estrès, sa ki lakòz pwoblèm elektrik tankou flit oswa kous kout.

Wòl Kontwòl Tanperati ki gen Gwo Presizyon

Sistèm kontwòl tanperati avanse tankou refwadisè endistriyèl TEYU yo fèt pou kenbe estabilite tanperati a avèk yon presizyon eksepsyonèl. Pa egzanp, TEYU a refwadisman lazè ultra rapid  ofri yon presizyon kontwòl jiska ±0.08°C, sa ki asire estabilite pwosesis pou ekipman semi-kondiktè kritik, tankou aparèy pou grave, sistèm depozisyon, ak enplantasyon iyon.

Benefis Refwadisman Presizyon nan Pwosesis Semi-kondiktè yo

1. Anpeche krak estrès tèmik:  Lè yo kenbe yon refwadisman inifòm, refwadisè yo minimize efè dezakò CTE ant diferan materyèl yo, sa ki efektivman diminye risk fant ak delaminasyon pandan sik tèmik la.

2. Amelyore inifòmite dopan:  Nan enplantasyon iyon ak rekwit ki vin apre a, kondisyon tèmik ki estab asire yon aktivasyon dopan konsistan atravè wafer la, sa ki amelyore pèfòmans ak fyab chip la.

3. Amelyore konsistans kouch oksid la:  Règleman tanperati ki egzak ede elimine gradyan tèmik soti nan kwen rive nan sant pandan oksidasyon, sa ki asire yon epesè inifòm oksid pòtay la, ki enpòtan pou karakteristik tranzistò ki konsistan.

Konklizyon

Kontwòl tanperati a endispansab nan fabrikasyon semi-kondiktè. Avèk jesyon tèmik ki gen gwo presizyon, manifaktirè yo ka diminye domaj ki koze pa estrès tèmik, amelyore inifòmite nan pwosesis dopan ak oksidasyon, epi finalman reyalize pi gwo sede chip ak pi bon pèfòmans aparèy.