Carson a tha smachd teothachd deatamach ann an saothrachadh leth-sheoltairean?

Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, smachd teòthachd mionaideach  a’ cluich pàirt chudromach ann a bhith a’ dèanamh cinnteach à càileachd, coileanadh agus toradh cinneasachaidh sliseagan. Faodaidh eadhon atharrachaidhean beaga ann an teòthachd atharrachaidhean mòra adhbhrachadh ann an giùlan stuthan agus builean pròiseas, a dh’ fhaodadh leantainn gu uireasbhaidhean no fàilligidhean innealan.

Buaidh an Struis Teirmeach

Tha innealan leth-sheoltairean air an dèanamh suas de iomadh sreath de stuthan le diofar cho-èifeachdan leudachaidh teirmeach (CTE). Mar eisimpleir, bidh uaifearan silicon, ceanglaichean eadar-cheangailte meatailt, agus sreathan dielectric a’ leudachadh no a’ crìonadh aig diofar ìrean rè teasachadh no fuarachadh luath. Faodaidh an neo-cho-fhreagarrachd seo cuideam teirmeach adhbhrachadh, ag adhbhrachadh chùisean saothrachaidh dona leithid:

* Sgoltaidhean: Faodaidh sgàinidhean uachdar no a-staigh ann an wafers cron a dhèanamh air ionracas meacanaigeach agus leantainn gu fàilligeadh innealan.

* Dì-laminachadh: Dh’ fhaodadh filmichean tana, leithid sreathan meatailt no dielectric, dealachadh, a’ lagachadh coileanadh dealain a’ chip agus earbsachd fad-ùine.

* Deformachadh structarail: Dh’fhaodadh structaran innealan lùbadh air sgàth cuideam, ag adhbhrachadh dhuilgheadasan dealain leithid aodion no cuairtean goirid.

Dreuchd Smachd Teòthachd Àrd-chruinneas

Tha siostaman smachd teothachd adhartach leithid fuaradairean gnìomhachais TEYU air an dealbhadh gus seasmhachd teothachd a chumail suas le mionaideachd air leth. Mar eisimpleir, TEYU fuaradair laser ultra-luath  a’ tabhann cruinneas smachd suas ri ±0.08°C, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd pròiseas airson uidheamachd leth-chonnsachaidh èiginneach, a’ gabhail a-steach innealan-greasaidh, siostaman tasgaidh, agus innealan-implantachaidh ian.

Buannachdan Fuarachadh Mionaideach ann am Pròiseasan Leth-sheoltairean

1. A’ cur casg air sgàineadh cuideam teirmeach:  Le bhith a’ cumail fuarachadh cunbhalach, bidh fuaradairean a’ lughdachadh buaidh mì-chothromachadh CTE eadar diofar stuthan, a’ lughdachadh gu h-èifeachdach cunnart sgàinidhean agus delamination rè cearcall teirmeach.

2. A’ leasachadh èideadh Dòpaidh:  Ann an implantachadh ian agus an teasachaidh às dèidh sin, bidh suidheachaidhean teirmeach seasmhach a’ dèanamh cinnteach à gnìomhachadh dopant cunbhalach air feadh a’ wafer, a’ neartachadh coileanadh agus earbsachd a’ chip.

3. A’ neartachadh cunbhalachd sreath ocsaid:  Bidh riaghladh teòthachd ceart a’ cuideachadh le bhith a’ cuir às do chlaonadh teirmeach bho oir gu meadhan rè ocsaididh, a’ dèanamh cinnteach à tiughas ocsaid a’ gheata aonfhoirmeil, rud a tha deatamach airson feartan cunbhalach an transistor.

Co-dhùnadh

Tha smachd teothachd riatanach ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh. Le riaghladh teirmeach àrd-chruinneas, faodaidh luchd-saothrachaidh lochdan air adhbhrachadh le cuideam teirmeach a lughdachadh, cunbhalachd a leasachadh ann am pròiseasan dopaidh is ocsaididh, agus mu dheireadh toradh nas àirde de chip agus coileanadh innealan nas fheàrr a choileanadh.