Carson a tha smachd teothachd deatamach ann an saothrachadh leth-sheoltairean?

Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, tha smachd teòthachd mionaideach a’ cluich pàirt riatanach ann a bhith a’ dèanamh cinnteach à càileachd, coileanadh agus toradh cinneasachaidh sliseagan. Faodaidh eadhon atharrachaidhean beaga ann an teòthachd atharrachaidhean mòra adhbhrachadh ann an giùlan stuthan agus toraidhean pròiseas, a dh’ fhaodadh leantainn gu lochdan no fàilligidhean innealan.

Buaidh an Struis Teirmeach

Tha innealan leth-sheoltairean air an dèanamh suas de iomadh sreath de stuthan le diofar cho-èifeachdan leudachaidh teirmeach (CTE). Mar eisimpleir, bidh wafers silicon, ceanglaichean meatailt, agus sreathan dielectric a’ leudachadh no a’ crìonadh aig diofar ìrean rè teasachadh no fuarachadh luath. Faodaidh an neo-cho-fhreagarrachd seo cuideam teirmeach a chruthachadh, ag adhbhrachadh chùisean saothrachaidh dona leithid:

* Sgoltaidhean: Faodaidh sgoltaidhean uachdar no a-staigh ann an uaifearan cron a dhèanamh air ionracas meacanaigeach agus leantainn gu fàilligeadh innealan.

* Dì-laminachadh: Dh’ fhaodadh filmichean tana, leithid meatailt no sreathan dielectric, dealachadh, a’ lagachadh coileanadh dealain a’ chip agus earbsachd fad-ùine.

* Deformachadh structarail: Dh’ fhaodadh structaran innealan lùbadh air sgàth cuideam, ag adhbhrachadh dhuilgheadasan dealain leithid aodion no cuairtean goirid.

Dreuchd Smachd Teòthachd Àrd-chruinneas

Tha siostaman smachd teothachd adhartach mar fhuaradairean gnìomhachais TEYU air an dealbhadh gus seasmhachd teothachd a chumail suas le mionaideachd air leth. Mar eisimpleir, tha fuaradair leusair ultra-luath TEYU a’ tabhann cruinneas smachd suas ri ±0.08°C, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd pròiseas airson uidheamachd leth-chonnsachaidh èiginneach, a’ gabhail a-steach innealan-greasaidh, siostaman tasgaidh, agus innealan-ion-chuir ian.

Buannachdan Fuarachadh Mionaideach ann am Pròiseasan Leth-sheoltairean

1. A’ cur casg air sgàineadh bho chuideam teirmeach: Le bhith a’ cumail suas fuarachadh cunbhalach, bidh fuaradairean a’ lughdachadh buaidhean mì-cho-fhreagarrachd CTE eadar diofar stuthan, a’ lughdachadh gu h-èifeachdach cunnart sgàinidhean agus delamination rè cearcall teirmeach.

2. A’ leasachadh cunbhalachd dopaidh: Ann an implantachadh ian agus annealing às dèidh sin, bidh suidheachaidhean teirmeach seasmhach a’ dèanamh cinnteach à gnìomhachadh dopant cunbhalach air feadh a’ wafer, a’ neartachadh coileanadh agus earbsachd a’ chip.

3. A’ neartachadh cunbhalachd sreath ogsaid: Bidh riaghladh teòthachd ceart a’ cuideachadh le bhith a’ cuir às do chlaonadh teirmeach bho oir gu meadhan rè ocsaididh, a’ dèanamh cinnteach à tiughas ogsaid geata cunbhalach, rud a tha deatamach airson feartan cunbhalach an transistor.

Co-dhùnadh

Tha smachd teothachd riatanach ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh. Le riaghladh teirmeach àrd-chruinneas, faodaidh luchd-saothrachaidh lochdan air adhbhrachadh le cuideam teirmeach a lughdachadh, cunbhalachd a leasachadh ann am pròiseasan dopaidh is ocsaididh, agus mu dheireadh toradh nas àirde de chip agus coileanadh innealan nas fheàrr a choileanadh.