سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں،
درست درجہ حرارت کنٹرول
چپ کے معیار، کارکردگی اور پیداواری پیداوار کو یقینی بنانے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ یہاں تک کہ درجہ حرارت کا معمولی اتار چڑھاؤ بھی مادی رویے اور عمل کے نتائج میں نمایاں تبدیلیوں کا سبب بن سکتا ہے، جو ممکنہ طور پر نقائص یا ڈیوائس کی ناکامی کا باعث بن سکتا ہے۔
![Why Temperature Control Is Critical in Semiconductor Manufacturing?]()
تھرمل تناؤ کا اثر
سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز تھرمل ایکسپینشن (CTE) کے مختلف گتانک کے ساتھ مواد کی متعدد تہوں پر مشتمل ہوتی ہیں۔ مثال کے طور پر، سلیکون ویفرز، دھات کے آپس میں جڑے ہوئے، اور ڈائی الیکٹرک پرتیں تیزی سے حرارت یا ٹھنڈک کے دوران مختلف شرحوں پر پھیلتی یا سکڑتی ہیں۔ یہ مماثلت تھرمل تناؤ پیدا کر سکتی ہے، جس سے مینوفیکچرنگ کے سنگین مسائل جیسے جیسے:
* دراڑیں:
ویفرز میں سطح یا اندرونی دراڑیں مکینیکل سالمیت سے سمجھوتہ کر سکتی ہیں اور ڈیوائس کی ناکامی کا باعث بن سکتی ہیں۔
* ڈیلامینیشن:
پتلی فلمیں، جیسے دھاتی یا ڈائی الیکٹرک پرتیں، الگ ہو سکتی ہیں، جو چپ کی برقی کارکردگی اور طویل مدتی اعتبار کو کمزور کر سکتی ہیں۔
* ساختی اخترتی:
ڈیوائس کے ڈھانچے تناؤ کی وجہ سے خراب ہو سکتے ہیں، جس سے برقی مسائل جیسے رساو یا شارٹ سرکٹ ہو سکتے ہیں۔
اعلی صحت سے متعلق درجہ حرارت کنٹرول کا کردار
درجہ حرارت پر قابو پانے کے جدید نظام جیسے TEYU انڈسٹریل چلرز کو غیر معمولی درستگی کے ساتھ درجہ حرارت کے استحکام کو برقرار رکھنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ مثال کے طور پر، TEYU's
انتہائی تیز لیزر چلر
±0.08°C تک کنٹرول کی درستگی پیش کرتا ہے، اہم سیمی کنڈکٹر آلات کے لیے عمل کے استحکام کو یقینی بناتا ہے، بشمول etchers، جمع کرنے کے نظام، اور ion implanters۔
![TEYU Ultrafast Laser Chiller CWUP-20ANP]()
سیمی کنڈکٹر کے عمل میں صحت سے متعلق کولنگ کے فوائد
1. تھرمل اسٹریس کریکنگ کو روکتا ہے۔:
یکساں ٹھنڈک کو برقرار رکھ کر، چلرز مختلف مواد کے درمیان CTE کی مماثلت کے اثرات کو کم کرتے ہیں، جس سے تھرمل سائیکلنگ کے دوران دراڑ اور ڈیلامینیشن کے خطرے کو مؤثر طریقے سے کم کیا جاتا ہے۔
2. ڈوپنگ یکسانیت کو بہتر بناتا ہے۔:
آئن امپلانٹیشن اور اس کے نتیجے میں اینیلنگ میں، مستحکم تھرمل حالات پورے ویفر میں ڈوپینٹ کی مسلسل ایکٹیویشن کو یقینی بناتے ہیں، چپ کی کارکردگی اور بھروسے کو بڑھاتے ہیں۔
3. آکسائیڈ پرت کی مستقل مزاجی کو بڑھاتا ہے۔:
درست درجہ حرارت کا ضابطہ آکسیڈیشن کے دوران کنارے سے درمیان تک تھرمل گریڈینٹ کو ختم کرنے میں مدد کرتا ہے، یکساں گیٹ آکسائیڈ موٹائی کو یقینی بناتا ہے، جو ٹرانزسٹر کی مستقل خصوصیات کے لیے اہم ہے۔
نتیجہ
سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن میں درجہ حرارت کا کنٹرول ناگزیر ہے۔ اعلی درستگی والے تھرمل مینجمنٹ کے ساتھ، مینوفیکچررز تھرمل تناؤ کی وجہ سے پیدا ہونے والے نقائص کو کم کر سکتے ہیں، ڈوپنگ اور آکسیڈیشن کے عمل میں یکسانیت کو بہتر بنا سکتے ہیں، اور بالآخر اعلیٰ چپ کی پیداوار اور ڈیوائس کی بہتر کارکردگی حاصل کر سکتے ہیں۔