I ndéantúsaíocht leathsheoltóirí,
rialú teochta beacht
tá ról ríthábhachtach aige maidir le cáilíocht, feidhmíocht agus toradh táirgthe sliseanna a chinntiú. Is féidir le fiú luaineachtaí beaga teochta athruithe suntasacha a chur faoi deara in iompar ábhartha agus i dtorthaí próisis, rud a d’fhéadfadh lochtanna nó teipeanna gléasanna a bheith mar thoradh air.
![Why Temperature Control Is Critical in Semiconductor Manufacturing?]()
Tionchar an Struis Theirmigh
Is éard atá i bhfeistí leathsheoltóra ná ilchiseal ábhar a bhfuil comhéifeachtaí leathnú teirmeach (CTE) éagsúla acu. Mar shampla, leathnaíonn nó crapadh sceallóga sileacain, idirnaisc miotail, agus sraitheanna tréleictreacha ag rátaí difriúla le linn téimh nó fuaraithe tapa. Is féidir leis an neamhréir seo strus teirmeach a chruthú, rud a fhágann fadhbanna tromchúiseacha déantúsaíochta amhail:
* Scoilteanna:
Is féidir le scoilteanna dromchla nó inmheánacha i sceallóga sláine mheicniúil a chur i mbaol agus teip gléasanna a bheith mar thoradh orthu.
* Dí-lannú:
Féadfaidh scannáin thanaí, amhail miotail nó sraitheanna tréleictreacha, scaradh, rud a lagóidh feidhmíocht leictreach agus iontaofacht fhadtéarmach na sliseanna.
* Dífhoirmiú struchtúrach:
D’fhéadfadh struchtúir gléasanna lúbadh mar gheall ar strus, rud a chruthaíonn fadhbanna leictreacha amhail sceitheadh nó gearrchiorcaid.
Ról Rialaithe Teochta Ardchruinneas
Tá córais rialaithe teochta chun cinn cosúil le fuaraitheoirí tionsclaíocha TEYU deartha chun cobhsaíocht teochta a choinneáil le cruinneas eisceachtúil. Mar shampla, TEYU
fuaraitheoir léasair ultra-thapa
cuireann sé cruinneas rialaithe suas le ±0.08°C ar fáil, rud a chinntíonn cobhsaíocht phróisis do threalamh leathsheoltóra criticiúil, lena n-áirítear greanadóirí, córais taiscthe, agus ionchlannáin ian.
![TEYU Ultrafast Laser Chiller CWUP-20ANP]()
Buntáistí a bhaineann le Fuarú Beacht i bPróisis Leathsheoltóra
1. Coscann sé scoilteadh struis theirmigh:
Trí fhuarú aonfhoirmeach a choinneáil, íoslaghdaíonn fuaraitheoirí éifeachtaí neamh-mheaitseála CTE idir ábhair éagsúla, rud a laghdaíonn go héifeachtach an baol scoilteanna agus dí-aimíniúcháin le linn timthriall teirmeach.
2. Feabhsaíonn sé Aonfhoirmeacht Dópála:
I n-ionchlannú ian agus san annéalú ina dhiaidh sin, cinntíonn coinníollacha teirmeacha cobhsaí gníomhachtú dópán comhsheasmhach ar fud an sceallóige, rud a fheabhsaíonn feidhmíocht agus iontaofacht na sliseanna.
3. Feabhsaíonn sé Comhsheasmhacht Sraith Ocsaíd:
Cuidíonn rialáil chruinn teochta le grádáin theirmeacha imeall-go-lár a dhíchur le linn ocsaídiúcháin, rud a chinntíonn tiús aonfhoirmeach ocsaíde geata, atá ríthábhachtach do shaintréithe comhsheasmhacha an trasraitheora.
Conclúid
Tá rialú teochta riachtanach i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí. Le bainistíocht theirmeach ardchruinnis, is féidir le monaróirí lochtanna de bharr strus teirmeach a laghdú, aonfhoirmeacht a fheabhsú i bpróisis dópála agus ocsaídiúcháin, agus ar deireadh thiar toradh sliseanna níos airde agus feidhmíocht fheiste níos fearr a bhaint amach.