Чаро назорати ҳарорат дар истеҳсоли нимноқилҳо муҳим аст?

Дар истеҳсоли нимноқилҳо, назорати дақиқи ҳарорат  дар таъмини сифат, кор ва ҳосили истеҳсолот нақши муҳим мебозад. Ҳатто тағйирёбии ночизи ҳарорат метавонад дар рафтори моддӣ ва натиҷаҳои раванд тағйироти ҷиддие ба вуҷуд орад, ки эҳтимолан ба камбудиҳо ё нокомии дастгоҳ оварда мерасонад.

Таъсири фишори гармидиҳӣ

Дастгоҳҳои нимноқилӣ аз қабатҳои сершумори мавод бо коэффисиентҳои гуногуни васеъшавии гармӣ (CTE) иборатанд. Масалан, пластинкаҳои кремний, пайвасткуниҳои металлӣ ва қабатҳои диэлектрикӣ ҳангоми гармкунӣ ё хунуккунии зуд бо суръатҳои гуногун васеъ ё кӯтоҳ мешаванд. Ин номувофиқатӣ метавонад фишори гармиро ба вуҷуд оварад, ки ба мушкилоти ҷиддии истеҳсолӣ, ба монанди:

* Тарқишҳо: Тарқишҳои рӯизаминӣ ё дохилӣ дар вафлиҳо метавонанд тамомияти механикиро вайрон кунанд ва ба шикасти дастгоҳ оварда расонанд.

* Деламинатсия: Плёнкаҳои тунук, аз қабили қабатҳои металлӣ ё диэлектрикӣ метавонанд аз ҳам ҷудо шаванд, ки ин кори барқии чип ва эътимоднокии дарозмуддатро суст мекунад.

* Деформатсияи сохтор: Сохторҳои дастгоҳ метавонанд аз сабаби стресс вайрон шаванд ва боиси мушкилоти барқӣ ба монанди ихроҷ ё ноқилҳои кӯтоҳ гардад.

Нақши назорати ҳарорати баланд дақиқ

Системаҳои пешрафтаи назорати ҳарорат ба монанди хунуккунакҳои саноатии TEYU барои нигоҳ доштани устувории ҳарорат бо дақиқии истисноӣ тарҳрезӣ шудаанд. Масалан, TEYU хунуккунаки лазерии ултра зуд  дақиқии идоракуниро то ± 0,08 ° C пешниҳод мекунад, ки устувории равандро барои таҷҳизоти муҳими нимноқилҳо, аз ҷумла ҷӯйборҳо, системаҳои ҷойгиркунӣ ва имплантатҳои ионҳо таъмин мекунад.

Манфиатҳои хунуккунии дақиқ дар равандҳои нимноқилҳо

1. Креки фишори гармиро пешгирӣ мекунад:  Бо нигоҳ доштани хунуккунии якхела, хунуккунакҳо таъсири номутобиқатии CTE байни маводи гуногунро кам карда, хатари тарқишҳо ва деламинатсияро ҳангоми гардиши гармӣ самаранок коҳиш медиҳанд.

2. Якхелаи допингро беҳтар мекунад:  Ҳангоми имплантатсияи ион ва коркарди минбаъда, шароити гармидиҳии устувор фаъолсозии пайвастаи допантро дар вафли таъмин намуда, кор ва эътимоднокии чипҳоро баланд мебардорад.

3. Мутобиқати қабати оксидро беҳтар мекунад:  Танзими дақиқи ҳарорат кӯмак мекунад, ки градиентҳои гармии канор ба марказ ҳангоми оксидшавӣ бартараф карда, ғафсии якхелаи оксиди дарвозаро таъмин кунад, ки барои хусусиятҳои пайвастаи транзистор муҳим аст.

Хулоса

Назорати ҳарорат дар истеҳсоли нимноқилҳо зарур аст. Бо идоракунии дақиқи баланди гармӣ, истеҳсолкунандагон метавонанд камбудиҳои аз фишори гармӣ ба вуҷудомадаро коҳиш диҳанд, якрангии равандҳои допинг ва оксидшавиро беҳтар созанд ва дар ниҳоят ба ҳосили баландтари чипҳо ва кори беҳтари дастгоҳ ноил шаванд.