سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾،
صحيح گرمي پد ڪنٽرول
چپ جي معيار، ڪارڪردگي، ۽ پيداوار جي پيداوار کي يقيني بڻائڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. گرمي پد ۾ معمولي تبديليون به مادي رويي ۽ عمل جي نتيجن ۾ اهم تبديليون آڻي سگهن ٿيون، ممڪن طور تي خرابين يا ڊوائيس جي ناڪامي جو سبب بڻجن ٿيون.
![Why Temperature Control Is Critical in Semiconductor Manufacturing?]()
حرارتي دٻاءُ جو اثر
سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۾ مواد جي ڪيترن ئي تہن تي مشتمل هوندو آهي جن ۾ حرارتي توسيع جي مختلف کوٽائي (CTE) هونديون آهن. مثال طور، سلڪون ويفر، ڌاتو انٽر ڪنيڪٽ، ۽ ڊائي اليڪٽرڪ پرتون تيز گرمي يا ٿڌي ٿيڻ دوران مختلف شرحن تي وڌنديون يا سڪي وينديون آهن. هي بي ترتيبي حرارتي دٻاءُ پيدا ڪري سگهي ٿي، جنهن جي ڪري سنگين پيداواري مسئلا پيدا ٿي سگهن ٿا جهڙوڪ:
* ٽڪرا:
ويفرز ۾ مٿاڇري يا اندروني دراڙ ميڪيڪل سالميت کي نقصان پهچائي سگهن ٿا ۽ ڊوائيس جي ناڪامي جو سبب بڻجي سگهن ٿا.
* ڊيليمينيشن:
پتلي فلمون، جهڙوڪ ڌاتو يا ڊائي اليڪٽرڪ پرتون، الڳ ٿي سگهن ٿيون، چپ جي برقي ڪارڪردگي ۽ ڊگهي مدت جي اعتبار کي ڪمزور ڪري سگهن ٿيون.
* ساخت جي خرابي:
ڊوائيس جي جوڙجڪ دٻاءُ جي ڪري ٽٽي سگهي ٿي، جنهن جي ڪري بجلي جا مسئلا جهڙوڪ ليڪيج يا شارٽ سرڪٽ پيدا ٿي سگهن ٿا.
اعليٰ درستگي واري درجه حرارت جي ڪنٽرول جو ڪردار
TEYU صنعتي چِلر جهڙا جديد درجه حرارت ڪنٽرول سسٽم غير معمولي درستگي سان درجه حرارت جي استحڪام کي برقرار رکڻ لاءِ ٺاهيا ويا آهن. مثال طور، TEYU جي
الٽرا فاسٽ ليزر چيلر
±0.08°C تائين ڪنٽرول جي درستگي پيش ڪري ٿو، نازڪ سيمي ڪنڊڪٽر سامان لاءِ عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿو، جنهن ۾ ايچر، ڊيپوزيشن سسٽم، ۽ آئن امپلانٽر شامل آهن.
![TEYU Ultrafast Laser Chiller CWUP-20ANP]()
سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ پريسيشن کولنگ جا فائدا
1. حرارتي دٻاءُ جي ڀڃڪڙي کي روڪي ٿو:
هڪجهڙائي واري ٿڌي کي برقرار رکڻ سان، چِلر مختلف مواد جي وچ ۾ CTE جي بي ترتيبي جي اثرن کي گھٽ ڪن ٿا، اثرائتي طور تي ٿرمل سائيڪلنگ دوران دراڙ ۽ ڊيليمينيشن جي خطري کي گھٽ ڪن ٿا.
2. ڊوپنگ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائي ٿو:
آئن امپلانٽيشن ۽ بعد ۾ اينيلنگ ۾، مستحڪم حرارتي حالتون ويفر ۾ مسلسل ڊوپنٽ چالو ڪرڻ کي يقيني بڻائين ٿيون، چپ جي ڪارڪردگي ۽ اعتبار کي وڌائين ٿيون.
3. آڪسائيڊ پرت جي تسلسل کي وڌائي ٿو:
صحيح گرمي پد جي ضابطي آڪسائيڊيشن دوران ڪنڊ کان مرڪز تائين حرارتي گريڊينٽس کي ختم ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي، هڪجهڙائي گيٽ آڪسائيڊ ٿلهي کي يقيني بڻائي ٿي، جيڪا مسلسل ٽرانزسٽر خاصيتن لاءِ اهم آهي.
ٿڪل
سيمي ڪنڊڪٽر جي ٺاھڻ ۾ گرمي پد ڪنٽرول ناگزير آهي. اعليٰ درستگي واري حرارتي انتظام سان، ٺاهيندڙ حرارتي دٻاءُ جي ڪري پيدا ٿيندڙ خرابين کي گهٽائي سگهن ٿا، ڊوپنگ ۽ آڪسائيڊيشن جي عملن ۾ هڪجهڙائي کي بهتر بڻائي سگهن ٿا، ۽ آخرڪار چپ جي وڌيڪ پيداوار ۽ ڊوائيس جي بهتر ڪارڪردگي حاصل ڪري سگهن ٿا.