loading

Cur temperatio temperaturae magni momenti est in fabricatione semiconductorum?

Accurata temperaturae moderatio essentialis est in fabricatione semiconductorum ad tensionem thermalem vitandam, stabilitatem processus augendam, et efficacitatem microplagulae amplificandam. Refrigeratoria altae praecisionis adiuvant ad vitia sicut rimas et delaminationem minuenda, uniformitatem dopandi, et crassitudinem strati oxidi constantem conservandam—factores clavis ad proventum et firmitatem augendam.

In fabricatione semiconductorum, accurata temperaturae moderatio  Munere vitali agit in qualitate, efficacia, et proventu productionis fragmenti curandis. Etiam levissimae fluctuationes temperaturae mutationes significantes in habitu materiae et exitibus processuum efficere possunt, quae fortasse ad defectus vel defectus instrumentorum perducent.

Why Temperature Control Is Critical in Semiconductor Manufacturing?

Impetus Stressi Thermalis

Instrumenta semiconductoria ex multis stratis materiarum cum diversis coefficientibus expansionis thermalis (CTE) constant. Exempli gratia, laminae silicii, nexus metallici, et strata dielectrica diversis celeritatibus expandunt vel contrahunt durante rapida calefactione vel refrigeratione. Haec discrepantia tensionem thermalem creare potest, quae ad graves difficultates fabricationis ducit, ut:

* Rimae: Rimae superficiales vel internae in laminis integritatem mechanicam infringere et ad defectum instrumenti ducere possunt.

* Delaminatio: Pelliculae tenues, ut metalli vel strata dielectrica, separari possunt, ita facultatem electricam et firmitatem diuturnam microplagulae debilitantes.

* Deformatio structurae: Structurae instrumentorum ob vim flectere possunt, problemata electrica ut effusiones vel circuitus breves causantes.

Munus Moderationis Temperaturae Altae Praecisionis

Systema provecta moderationis temperaturae, qualia sunt refrigeratoria industrialia TEYU, ad stabilitatem temperaturae cum praecisione singulari conservandam destinantur. Exempli gratia, TEYU refrigerator lasericus ultravelox  Praecisionem moderationis usque ad ±0.08°C praebet, stabilitatem processus pro apparatu semiconductorum critico, inter quos sunt etchers, systemata depositionis, et implantatores ionici.

TEYU Ultrafast Laser Chiller CWUP-20ANP

Commoda Refrigerationis Praecisae in Processibus Semiconductorum

1. Fissuras Stressi Thermalis Impedit:  Refrigeratione aequabili servata, refrigeratoria effectus discrepantiae CTE inter materias diversas minuunt, periculum fissurarum et delaminationis per cyclos thermales efficaciter minuentes.

2. Uniformitatem Doping Meliorat:  In implantatione ionica et subsequenti recoctione, condiciones thermales stabiles activationem dopantis constantem per laminam (vel crustulum) praestant, efficientiam et firmitatem microplagulae augentes.

3. Consistentiam Strati Oxidi Augmentat:  Accurata moderatio temperaturae adiuvat ad eliminandos gradientes thermicos a margine ad centrum durante oxidatione, crassitudinem oxidi portae uniformem curans, quae ad proprietates transistoris constantes necessaria est.

Conclusio

Temperaturae moderatio in fabricatione semiconductorum necessaria est. Per administrationem thermalem summae praecisionis, fabri vitia a tensione thermali causata minuere, uniformitatem in processibus dopandi et oxidandi augere, et denique maiores proventus microplagularum et meliorem efficaciam machinarum consequi possunt.

prev
Cur Machinae Laser CO2 Refrigeratores Aquae Fideles Egent
Intellegendo Machinas Laser YAG Soldandi et Configurationem Refrigeratoris Earum
deinde

Adsumus tibi cum nobis opus est.

Quaeso, formam imple ut nobiscum communicare possis, et libenter te adiuvabimus.

Ius proprietatis © MMXV TEYU S&Refrigerator | Index situs     Consilium de secreto
Nobis loquere
email
Contact Customer Service
Nobis loquere
email
inrita
Customer service
detect