ولې د تودوخې کنټرول د سیمیکمډکټر په تولید کې خورا مهم دی؟

په نیمه‌سیمکټر تولید کې، د تودوخې دقیق کنټرول  د چپ کیفیت، فعالیت او تولید حاصلاتو په ډاډمنولو کې مهم رول لوبوي. حتی د تودوخې لږ بدلونونه کولی شي د موادو چلند او د پروسې پایلو کې د پام وړ بدلونونه رامینځته کړي، چې په بالقوه توګه د نیمګړتیاوو یا د وسایلو د ناکامۍ لامل کیږي.

د تودوخې فشار اغیزې

د سیمیکمډکټر وسایل د موادو له څو طبقو څخه جوړ شوي دي چې د تودوخې پراخوالي مختلف ضریبونه (CTE) لري. د مثال په توګه، د سیلیکون ویفرونه، د فلزاتو سره نښلونکي، او ډایالټریک طبقې د چټک تودوخې یا یخولو په جریان کې په مختلفو نرخونو کې پراخیږي یا انقباض کوي. دا بې اتفاقي کولی شي د تودوخې فشار رامینځته کړي، چې د جدي تولیدي ستونزو لامل کیږي لکه:

* درزونه: په ویفرونو کې سطحي یا داخلي درزونه کولی شي میخانیکي بشپړتیا زیانمن کړي او د وسیلې د ناکامۍ لامل شي.

* لرې کول: نري فلمونه، لکه فلزي یا ډایالټریک طبقې، ممکن جلا شي، د چپ بریښنایی فعالیت او اوږدمهاله اعتبار کمزوری کړي.

* د جوړښت خرابوالی: د وسایلو جوړښتونه ممکن د فشار له امله تاو شي، چې د بریښنا ستونزې لکه لیک یا لنډ سرکټ رامینځته کوي.

د لوړ دقت د تودوخې کنټرول رول

د تودوخې کنټرول پرمختللي سیسټمونه لکه TEYU صنعتي چلرونه د استثنایی دقت سره د تودوخې ثبات ساتلو لپاره ډیزاین شوي. د مثال په توګه، د TEYU الټرا فاسټ لیزر چیلر  د کنټرول دقت تر ±0.08 درجو سانتي ګراد پورې وړاندې کوي، چې د مهمو سیمیکمډکټر تجهیزاتو لپاره د پروسې ثبات ډاډمن کوي، پشمول د ایچرونو، زیرمو سیسټمونو، او ایون امپلانټرونو.

د سیمیکمډکټر پروسو کې د دقیق یخولو ګټې

1. د تودوخې فشار د درزیدو مخه نیسي:  د یونیفورم یخولو ساتلو سره، یخچالونه د مختلفو موادو ترمنځ د CTE د نه مطابقت اغیزې کموي، په مؤثره توګه د تودوخې سایکل چلولو پرمهال د درزونو او ډیلیمینیشن خطر کموي.

2. د ډوپینګ یونیفورمیت ښه کوي:  د ایون امپلانټیشن او وروسته انیل کولو کې، باثباته حرارتي شرایط د ویفر په اوږدو کې د ډوپینټ دوامداره فعالول ډاډمن کوي، د چپ فعالیت او اعتبار لوړوي.

3. د اکسایډ طبقې تسلسل لوړوي:  د تودوخې دقیق تنظیم د اکسیډیشن په جریان کې د څنډې څخه تر مرکز پورې د تودوخې تدریجي له منځه وړلو کې مرسته کوي، د دروازې اکسایډ یونیفورم ضخامت ډاډمن کوي، چې د دوامداره ټرانزیسټر ځانګړتیاو لپاره خورا مهم دی.

پایله

د تودوخې کنټرول د نیمه هادي جوړولو لپاره اړین دی. د لوړ دقت حرارتي مدیریت سره، تولیدونکي کولی شي د تودوخې فشار له امله رامینځته شوي نیمګړتیاوې کمې کړي، د ډوپینګ او اکسیډیشن پروسو کې یووالي ښه کړي، او په نهایت کې د چپ لوړ حاصلات او د وسیلې غوره فعالیت ترلاسه کړي.